红外线栅偏振片
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红外线栅偏振片
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红外线栅偏振片
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将非偏振光（或者任意偏振）光转化为线偏振光，通常通于分子激光器的起偏或者偏振源的衰减，他们也可以用来调节偏振分束器的输出光；覆盖从2微米到30微米的光谱范围（333 - 5000 cm-1）。它使用红外材料制作，如BaF2，CaF2 ，KRS-5（铊溴碘化银）和ZnSe，并在其上使用全息方法进行线性刻槽。然后使用金属埋线制作线栅。
红外线栅偏振片 &的详细介绍
线栅偏振器预装在，&O25 mm 或者 &O50 mm的双重保护环中，所能提供的消光比范围为从150：1到300：1。导线的方向由线栅偏振安装座上的白线标明。我们建议成对使用，这可以在指定的波长范围内提供平滑的衰减和控制输出偏振方向。如果两个偏振器在使用时线栅相互平行，那将会很容易得到超过40，000：1的消光比。线栅吸收和反射的光束的偏振方向与线栅的方向相同，而透射光的偏振方向则与之垂直。
这些偏振器一般分为如下2种类型：
全息线栅偏振片
全息线栅偏振片采用特殊的全息工艺，可刻画出亚微米级线栅，与传统的线栅比较，全息法得到的光栅线槽更加精密，且优化了短波的性能。我们可为您提供氟化钡(BaF2)、硒化锌(ZnSe)、溴化铊(KRS-5)、以及锗(Ge)材料的全息线栅偏振片。
刻划法制得的线栅偏振片&
可选氟化钙(CaF2)和硒化锌(ZnSe)材料，刻划法全息光栅是直接在材质表面进行刻画，可形成尖峰，方便区分，然后通过真空镀铝工艺在其斜角面镀一层铝膜，直接刻划和镀膜工艺可使线距更密，传导系数高，消光系数高，同时提高了损坏域值。
注意： 在拿取KRS-5时需特别小心，因为铊是毒性材料，需要戴上橡胶或塑料手套以保护身体。
消光比 (Typical)
150:1 (3 &m)
300:1 (10 &m)
150:1 (3 &m)
300:1 (8 &m)
150:1 (3 &m)
300:1 (15 &m)
150:1 (3 &m)
300:1 (10 &m)
25 mm or 50 mm
18.0 & 0.5 mm for &O25 mm Polarizer
34.0 & 0.5 mm for &O50 mm Polarizer
2700 Grooves/mm (Nominal)
直纹偏振片
全息偏振片
2.5&1.0 mm
2.0 mm标称
槽与边缘平行度
护圈厚度公差
损伤阈值（标称值）
2J/cm2（100ns脉冲），100W/ cm2（CW）
偏振片类型
25mm直径&5mm厚度
50mm直径&6mm厚度
价格（元）
价格（元）
50:1@3；80:1@8
＞65%@2-12
150:1@3；300:1@10
＞50%@2-19
50:1@3；100:1@10
＞50%@2-19
150:1@3；300:1@10
＞60%@2-30
150:1@3；300:1@15
＞50%@8-17
300:1@10.6
注意: 线栅偏振器的表面，就像衍射光栅，是极其微妙的，特别是那些由KRS-5制作而来的。任何情况下都不允许接触偏振片的表面。实在必要时，可接触边缘位置。是唯一建议的清洁方法是使用温和的空气流仔细清除灰尘。
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线栅型偏振片及其制造方法
来源：广搜网
公益为中国网民提供数字化信息
发布日期： 18:54:53
&&&&发明人：海田由里 坂本宽 见矢木崇平樱井宏巳 池田康宏 志堂寺荣治（摘要：本发明提供一种在可见光范围显示出较高偏光度、较高p 偏振光透过率和较高s 偏振光折射率并且光学特性的角度依赖性较低、波长依赖性较低的线栅型偏振片及其制造方法。该线栅型偏振片(10) 包括透光性基板(14) 和金属层(20)，在该透光性基板(14) 的表面上形成有多个宽度从底部朝向顶部逐渐变窄的凸条(12)，该多个凸条(12) 以隔着形成在凸条(12) 之间的平坦部(13) 相互平行并且隔开规定的间距(Pp) 的方式形成在该透光性基板(14) 的表面上，该金属层(20) 覆盖凸条(12) 的第1 侧面(16) 的整个表面及与该侧面相邻的平坦部(13) 的一部分，并且该金属层(20) 覆盖上述凸条(12) 的第2 侧面(18)的一部分或者不覆盖上述凸条(12) 的第2 侧面(18) ；该线栅型偏振片的制造方法如下，即，从与上述凸条(12) 的长度方向大致正交且相对于上述凸条(12) 的高度方向朝向第1 侧面(16) 侧形成25°～ 40°的角度的方向，在蒸镀量为40nm ～60nm 的条件下蒸镀金属或者金属化合物，从而形成该金属层(20)。(30)优先权数据(85)PCT申请进入国家阶段日(86)PCT申请的申请数据PCT/JP (87)PCT申请的公布数据WO JA ）
1. 一种线栅型偏振片，其特征在于，该线栅型偏振片包括透光性基板和金属层，在该透光性基板的表面上形成有多个宽度从底部朝向顶部逐渐变窄的凸条，该多个凸条以隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行并且隔开规定的间距的方式形成在该透光性基板的表面上，该金属层由金属或者金属化合物构成，其覆盖上述凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的上述平坦部的一部分，并且该金属层覆盖上述凸条的第2 侧面的一部分或者不覆盖上述凸条的第2 侧面。2. 根据权利要求1 所述的线栅性偏振片，其特征在于，覆盖上述凸条的第1 侧面的金属层的高度(Hm1) 和上述凸条的高度(Hp) 之比(Hm1/Hp) 的比值为1 ～ 2。3. 根据权利要求1 或2 所述的线栅型偏振片，其特征在于，上述凸条的与长度方向正交的截面形状为三角形或者梯形。4. 根据权利要求1 或2 所述的线栅型偏振片，其特征在于，上述凸条的与长度方向正交的截面形状为梯形，该凸条的顶部的宽度(Dtp) 小于等于该凸条的底部的宽度(Dbp) 的一半。5. 根据权利要求1 至4 中任一项所述的线栅型偏振片，其特征在于，上述间距(Pp) 为300nm 以下。6. 根据权利要求1 至5 中任一项所述的线栅型偏振片，其特征在于，上述凸条的底部的宽度(Dbp) 和上述间距(Pp) 之比(Dbp/Pp) 的比值为0.1 ～ 0.7。7. 一种线栅型偏振片的制造方法，所用于制造的该线栅型偏振片包括透光性基板和金属层，在该透光性基板的表面上形成有多个宽度从底部朝向顶部逐渐变窄的凸条，该多个凸条以隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行并且隔开规定的间距的方式形成在该透光性基板的表面上，该金属层由金属或者金属化合物构成，其覆盖上述凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的上述平坦部的一部分，并且该金属层覆盖上述凸条的第2 侧面的一部分或者不覆盖上述凸条的第2 侧面，其特征在于，从与上述凸条的长度方向大致正交且相对于上述凸条的高度方向朝向第1 侧面侧形成25°～ 40°的角度的方向，在蒸镀量为40nm ～ 60nm 的条件下蒸镀金属或者金属化合物，从而形成上述金属层。8. 根据权利要求7 中所述的线栅型偏振片的制造方法，其特征在于，覆盖上述凸条的第1 侧面的金属层的高度(Hm1) 和上述凸条的高度(Hp) 之比(Hm1/Hp) 的比值为1 ～ 2。9. 根据权利要求7 或8 所述的线栅型偏振片的制造方法，其特征在于，上述凸条的与长度方向正交的截面形状为三角形或者梯形。10. 根据权利要求7 或8 所述的线栅型偏振片的制造方法，其特征在于，上述凸条的与长度方向正交的截面形状为梯形，该凸条的顶部的宽度(Dtp) 小于等于该凸条的底部的宽度(Dbp) 的一半。11. 根据权利要求7 至10 中任一项所述的线栅型偏振片的制造方法，其特征在于，上述凸条由光固化树脂或者热塑性树脂构成，上述凸条用压印法形成。线栅型偏振片及其制造方法技术领域[0001] 本发明涉及一种线栅型偏振片及其制造方法。背景技术[0002] 作为用于液晶显示装置、背投电视、前投影仪等图像显示装置的、在可见光范围显示出偏振光分离能力的偏振片( 也称作偏振光分离元件)，包括吸收型偏振片及反射型偏振片。[0003] 吸收型偏振片是例如使碘等二向色性色素在树脂薄膜中取向的偏振片。然而，吸收型偏振片只吸收一侧的偏振光，因此光的利用效率较低。[0004] 另一方面，反射型偏振片使没有入射到偏振片而被反射的光再次入射到偏振片，从而能够提高光的利用效率。因此，以实现液晶显示装置等的高亮度化为目的而使反射型偏振片的需求倍增。[0005] 作为反射型偏振片，包括线栅型偏振片、由双折射树脂层叠体构成的直线偏振片及由胆甾型液晶构成的圆偏振片。[0006] 然而，直线偏振片及圆偏振片显示出的偏振光分离能力较低。因此，显示出较高偏振光分离能力的线栅型偏振片受到重视。[0007] 线栅型偏振片具有下述结构，即，多个金属细线相互平行地排列在透光性基板上。在金属细线的间距比入射光的波长充分短的情况下，该线栅型偏振片使入射光中具有与金属细线正交的电场矢量的成分( 即p 偏振光) 透过，将具有与金属细线相平行的电场矢量的成分( 即s 偏振光) 反射。[0008] 作为在可见光范围显示出偏振光分离能力的线栅型偏振片，公知下述类型。[0009] (1) 以规定的间距在透光性基板上形成有金属细线的线栅型偏振片( 专利文件1)。[0010] (2) 以规定的间距形成在透光性基板的表面上的多个凸条的上表面及侧面被由金属或者金属化合物构成的材料膜覆盖而形成金属细线的线栅型偏振片( 专利文件2)。[0011] (3) 在该透光性基板的表面上隔开规定的间距形成有多个凸条，在透光性基板的凸条上形成金属层，并将该金属层作为金属细线的线栅型偏振片( 专利文件3 的图3)。[0012] (4) 在该透光性基板的表面上隔开规定的间距形成有多个凸条，在透光性基板的凸条上形成金属的板状体，将该金属的板状体作为金属细线的线栅型偏振片( 专利文件4)。[0013] 然而，在(1) 的线栅型偏振片中用光刻形成金属细线，因此生产率较低。[0014] 在(2)、(3)、(4) 的线栅型偏振片中，只在凸条上形成有金属细线，因此偏振光分离能力较低。此外，根据入射光的角度、波长的不同而改变光学特性。[0015] 专利文件1 ：日本特开 号公报( 美国公开，美国)[0016] 专利文件2 ：日本特开 号公报专利文件3 ：国际公开第号单行本( 美国公开)[0017] 专利文件4 ：日本特开 号公报( 美国公开)发明内容[0018] 发明要解决的问题[0019] 本发明提供一种在可见光范围显示出较高偏光度、较高p 偏振光透过率及较高s偏振光反射率，并且光学特性的角度依赖性较低、波长依赖性较低的线栅型偏振片及其制造方法。[0020] 用于解决问题的方案[0021] 本发明的线栅型偏振片，其特征在于，具有透光性基板和金属层，在该透光性基板的表面上形成有多个宽度从底部朝向顶部逐渐变窄的凸条，该多个凸条以隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行并且隔开规定的间距的方式形成在该透光性基板的表面上，该金属层由金属或者金属化合物构成，其覆盖上述凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的上述平坦部的一部分，并且该金属层覆盖上述凸条的第2 侧面的一部分或者不覆盖上述凸条的第2 侧面。[0022] 优选覆盖上述凸条的第1 侧面的金属层的高度Hm1 与上述凸条的高度Hp 之比(Hm1/Hp) 的比值为1 ～ 2。[0023] 优选上述凸条的与长度方向正交的截面形状为三角形或者梯形。[0024] 在上述凸条的与长度方向正交的截面形状为梯形的情况下，优选该凸条的顶部的宽度Dtp 小于等于该凸条的底部的宽度Dbp 的一半。[0025] 此外，在由上述线栅型偏振片的上述凸条的底部和上述平坦部构成的重复的1 单元中，在将凸条的底部的宽度与上述平坦部的宽度的合计宽度作为凸条的间距Pp 时，优选该间距Pp 为300nm 以下。[0026] 优选上述Dbp 和上述Pp 之比(Dbp/Pp) 的比值为0.1 ～ 0.7。[0027] 此外，上述金属层的高度Hm1 是凸条的高度与以覆盖凸条的顶部的方式形成的金属层在相对于上述透光性基板的主表面垂直的方向上的厚度的合计值。此外，在本发明中在上述凸条的第1 侧面的整个表面，即从该侧面的下端到上端以规定的厚度形成金属层，因此也可以使形成在该侧面区域中的金属层的部分的高度与凸条的高度相等。[0028] 本发明的线栅型偏振片的制造方法中，所用于制造的该线栅型偏振片包括透光性基板和金属层，在该透光性基板的表面上形成有多个宽度从底部朝向项部逐渐变窄的凸条，该多个凸条以隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行并且隔开规定的间距的方式形成在该透光性基板的表面上，该金属层由金属或者金属化合物构成，其覆盖上述凸条的第1侧面的整个表面及与该侧面相邻的上述平坦部的一部分，并且该金属层覆盖上述凸条的第2 侧面的一部分或者不覆盖上述凸条的第2 侧面，其特征在于，在该制造方法中，从与上述凸条的长度方向大致正交且相对于上述凸条的高度方向朝向第1 侧面侧形成25°～ 40°的角度的方向，在蒸镀量为40nm ～ 60nm 的条件下蒸镀金属或者金属化合物，从而形成上述金属层。[0029] 优选覆盖上述凸条的第1 侧面的金属层的高度Hm1 与上述凸条的高度Hp 之比(Hm1/Hp) 的比值为1 ～ 2。[0030] 优选上述凸条的与长度方向正交的截面形状为三角形或者梯形。[0031] 在上述凸条的与长度方向正交的截面形状为梯形的情况下，优选该凸条的顶部的宽度Dtp 小于等于该凸条的底部的宽度Dbp 的一半。[0032] 优选上述凸条由光固化树脂或者热塑性树脂构成，上述凸条用压印法形成。[0033] 发明的效果[0034] 本发明的线栅型偏振片在可见光范围显示出较高偏光度、较高p 偏振光透过率及较高s 偏振光反射率并且光学特性的角度依赖性较低、波长依赖性较低。[0035] 采用本发明的线栅型偏振片的制造方法，则能够制造出在可见光范围显示出较高偏光度、较高p 偏振光透过率及较高s 偏振光反射率并且光学特性的角度依赖性较低、波长依赖性较低的线栅型偏振片。[0036] 特别是，若采用本发明，则能够获得p 偏振光透过率为70％以上、s 偏振光反射率为70％以上、偏光度为99.5％以上的线栅型偏振片。附图说明[0037] 图1 是表示本发明的线栅型偏振片的一例的立体图。[0038] 图2 是表示透光性基板的一例的立体图。[0039] 图3 是表示本发明的线栅型偏振片的其它的例子的立体图。[0040] 图4 是表示透光性基板的其它的例子的立体图。具体实施方式[0041] 线栅型偏振片[0042] 本发明的线栅型偏振片包括透光性基板和金属层，在该透光性基板的表面上形成有多个宽度从底部朝向顶部逐渐变窄的凸条，该多个凸条以隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行并且隔开规定的间距的方式形成在该透光性基板的表面上，该金属层由金属或者金属化合物构成，其覆盖上述凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的上述平坦部的一部分。存在于凸条上的金属层呈向凸条的长度方向延伸的线状，该金属层相当于构成线栅型偏振片的金属细线。[0043] 透光性基板[0044] 透光性基板是在线栅型偏振片的使用波长范围内具有透光性的基板。透光性意味着光可以透过去，具体来说，使用波长范围为400nm ～ 800nm。优选在400nm ～ 800nm 的范围中的平均透光率为85％以上的透光性基板。[0045] 在本发明中凸条是指，从透光性基板的主表面( 平坦部) 立起并且使该立起部分向一个方向延伸的部分。凸条可以与透光性基板的主表面一体且由与透光性基板的表面部分相同的材料构成，也可以由与透光性基板的主表面部分不同的透光性材料构成。优选凸条与透光性基板的主表面一体且由与透光性基板的主表面部分相同的材料构成，优选上述凸条是通过使透光性基板的至少主表面部分成形而形成的凸条。[0046] 可以实质平行地形成多个凸条，也可以不完全平行地形成多个凸条。此外，优选各个凸条的形状为在面内最容易发现光学的各向异性的直线，但是也可以使各个凸条的形状为在不使相邻的凸条接触的范围内呈曲线或者折线。[0047] 优选在与凸条的长度方向和透光性基板的主表面正交的方向上，凸条的截面形状在长度方向范围内大致恒定，在多个凸条中那些凸条的截面形状也全部大致恒定。该凸条的截面形状为宽度从底部( 透光性基板的主表面) 朝向顶部逐渐变窄的形状。作为具体的截面形状，例如能举出三角形、梯形等。该截面形状也可以是角、边( 侧面) 为曲线状的截面形状。此外，优选平行或者大致平行地形成在透光性基板的表面上的多个凸条间的间距的宽度，即平坦部的宽度，分别大致恒定。[0048] 在本发明中，凸条的顶部意味着由上述截面形状的最高部分在长度方向上相连而形成的部分。凸条的顶部可以是面，也可以是线。例如，在截面形状是梯形的情况下顶部形成为面，在截面形状是三角形的情况下顶部形成为线。在本发明中，将凸条的顶部以外的表面称作凸条的侧面。此外，相邻的两个凸条间的面( 由相邻的两个凸条形成的槽的平坦部)不是凸条的表面，将其看成透光性基板的主表面。[0049] 作为透光性基板的材料，能举出光固化树脂、热塑性树脂及玻璃等，从能够以后述的压印法形成凸条这点，优选光固化树脂或者热塑性树脂，从能够以光压印法形成凸条这点以及耐热性良好和耐久性良好这点，特别地优选光固化树脂。作为光固化树脂，从生产率这点，优选使能够利用光自由基聚合光固化的光固化性组成物发生光固化而获得的光固化树脂。[0050] 作为光固化性组成物，优选光固化后的固化膜相对于水的接触角为90°以上。若该固化膜相对于水的接触角为90°以上，则在利用光压印法形成凸条时，能够使凸条与模具的脱模性变得良好，能够进行高精度的转印，能够使获得的线栅型偏振片充分地发挥目标性能。此外，即使该接触角较大也不会阻碍金属层的附着。[0051] 金属细线[0052] 在本发明的线栅型偏振片中，金属细线由在长度方向上延伸的、具有规定的宽度的线条状的金属层构成。金属层覆盖凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的平坦部的一部分，并且在平坦部的剩余部分上不形成金属层。优选覆盖与形成在凸条的第1 侧面上的金属层相邻的平坦部的金属层的宽度在10nm ～ 50nm 的范围内。金属层也可以覆盖凸条的顶部的全部或者一部分，此外，金属层也可以覆盖凸条的顶部的全部及凸条的第2 侧面的一部分。但是，覆盖第2 侧面的全部会使透过率下降，因此不能覆盖第2 侧面的全部。作为惯例，使覆盖在凸条的第1 侧面的整个表面、凸条间的平坦部的一部分、凸条的顶部及凸条的第2 侧面的一部分上的金属层相连续。虽然优选利用金属层完全地覆盖凸条的第1侧面，但是也有由于制造上的问题等极少部分的第1 侧面不被金属层覆盖的情况。即使在该情况下，若利用金属层覆盖第1 侧面的大致整个表面，则视为利用金属层覆盖了第1 侧面的整个表面。此外，优选形成在第2 侧面上的金属层在从凸条的顶部朝向下方的侧面上，形成在从凸条的顶部朝向下方的宽度为侧面区域的宽度5/100 以下的侧面区域上。[0053] 作为金属层的材料是具有充分的导电性的金属材料即可，优选也考虑了耐腐蚀性等特性的材料。作为金属材料，能举出金属或者金属化合物。[0054] 作为金属，能举出金属单质、合金、包含掺杂物或者杂质的金属等。具体来说，能举出铝、银、铬、镁、铝类合金及银类合金等。[0055] 作为金属层的材料，从对于可见光的反射率较高、可见光的吸收较少并且具有较高导电性的观点，优选铝、铝类合金、银、铬、镁，特别地优选铝、铝类合金。[0056] 优选用蒸镀法形成金属层。作为蒸镀法，能举出物理蒸镀法(PVD) 或者化学蒸镀法(CVD)，优选真空蒸镀法、溅射法、离子镀法，特别地优选真空蒸镀法。利用真空蒸镀法可以容易地控制附着的微粒子相对于透光性基板的入射方向，可以容易地进行后述的斜向蒸镀法。需要在凸条的第1 侧面及形成在凸条间的平坦部的一部分上选择性地蒸镀金属或者金属化合物而形成金属层，因此作为蒸镀法最优选利用真空蒸镀法的斜向蒸镀法。[0057] 保护层[0058] 金属层非常的微细，因此即使只是稍微损坏金属细线也会影响线栅型偏振片的性能。此外，有时会发生由于氧化等化学变化( 锈的生成等) 使金属层的导电率下降且使线栅型偏振片的性能下降的情况。因此，为了避免金属层的损伤及抑制化学变化，也可以用保护层覆盖金属层。保护层不只覆盖金属层的表面，进一步保护层也可以覆盖暴露出的透光性基板的表面。此外，也可以形成完全地填埋凸条间的槽而使存在有金属层的面变得平坦的保护层。[0059] 作为保护层的材料，可以举出树脂、金属氧化物、玻璃等。虽然作为只覆盖金属层的保护层的材料也可以是不具有透光性的不透明的材料，但是作为也覆盖其它表面的保护层的材料使用能够形成透光性的保护层的材料。即使在材料自身的透光性较低的情况下，若保护层的厚度充分薄，则也能够将其作为透光性的保护层。此外，作为保护层的材料，优选耐热性较高、化学耐久性较高的材料。此外，也能够使金属层的表面发生自然地或者人为地化学变化而形成保护层。例如，在使用铝作为金属层的材料的情况下，铝在空气中被氧化而在表面上形成氧化铝薄膜，该金属氧化物薄膜发挥着作为金属层的保护层的功能。优选保护层的厚度为1nm ～ 20nm。在使金属层的表面发生自然地化学变化而形成保护层的情况下，特别地优选保护层的厚度为1nm ～ 10nm。在使金属层的表面发生人为地化学变化而形成保护层的情况下，特别地优选保护层的厚度为3nm ～ 20nm。[0060] 在保护层也覆盖透光性基板的表面的情况下，可能会在保护层与透光性基板的表面之间的交界面上使p 偏振光反射率下降。因而，优选使保护层的折射率和透光性基板的折射率在实质上一致。此外，从在大的波长范围内获得较高偏振光分离能力这点，更加优选折射率较低的材料作为保护层的材料，例如折射率为1.55 以下的材料。[0061] 保护层存在于线栅型偏振片的最外表面，因此优选该保护层具有铅笔硬度H 以上的硬度，优选该保护层也具有防污性。此外，也可以在保护层的表面上设有防反射结构( 例如，防反射膜等)。此外，也可以在透光性基板的背面上也设有硬质表面层、防反射结构。[0062] 线栅型偏振片的制造方法[0063] 通过下述方式制造线栅型偏振片，即，在制作了多个凸条以相互平行并且隔开规定的间距的方式形成在透光性基板的表面上的透光性基板之后，在凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的凸条间的平坦部的一部分上形成金属层。[0064] 透光性基板的制作[0065] 作为透光性基板的制作方法，可以举出压印法( 光压印法、热压印法)、光刻法等，从能够生产率较高地形成凸条这点及能够使透光性基板大面积化这点，优选压印法，从能够生产率更高地形成凸条这点及能够高精度地转印模具的槽这点，特别地优选光压印法。[0066] 光压印法是如下所述的方法，即，例如利用电子射线绘制及蚀刻的配合，制作了由多个槽以相互平行并且隔开规定的间隔的方式形成的模具，一边将该模具的槽向涂布在任意的基材的表面上的光固化性组成物转印，一边使该光固化性组成物光固化。[0067] 利用光压印法的透光性基板的制作过程，优选具体地经过下述的工序(i) ～(iv)。[0068] (i) 将光固化性组成物涂布在基材的表面上的工序。[0069] (ii) 将以相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的模具按压在光固化性组成物上、使得槽与光固化性组成物相接触的工序。[0070] (iii) 在将模具按压于光固化性组成物的状态下照射放射线( 紫外线、电子射线等) 而使光固化性组成物固化、从而制作具有与模具的槽相对应的多个凸条的透光性基板的工序。[0071] (iv) 自透光性基板分离模具的工序。[0072] 此外，获得的基材上的透光性基板能够在与基材一体的状态下进行后述的金属层的形成。此外，能够根据需要在形成金属层后分离透光性基板和基材。进一步，能够在从基材上将制作于基材之上的透光性基板分离后，进行后述的金属层的形成。[0073] 利用热压印法的透光性基板的制作过程，优选具体地经过下述的工序(i) ～(iii)。[0074] (i) 在基材的表面上形成热塑性树脂的被转印膜的工序，或者制作热塑性树脂的被转印薄膜的工序。[0075] (ii) 制作具有与模具的槽相对应的多个凸条的透光性基板的工序，该透光性基板的制作方法为：将以相互平行并且隔开恒定的间距的方式形成有多个槽的模具按压在已加热到热塑性树脂的玻化温度(Tg) 或者熔点(Tm) 以上的被转印膜或者被转印薄膜上，使得槽与被转印膜或者被转印薄膜相接触。[0076] (iii) 将透光性基板冷却到比Tg 或者Tm 低的温度而从透光性基板分离模具的工序。[0077] 此外，获得的基材上的透光性基板能够在与基材一体的状态下进行后述的金属层的形成。此外，能够根据需要在形成金属层后分离透光性基板与基材。进一步，能够在从基材上将制作于基材之上的透光性基板分离后，进行后述的金属层的形成。[0078] 作为用于压印法的模具的材料，可以举出硅、镍、石英、树脂等，从转印精度这点，优选树脂。作为树脂，可以举出氟类树脂( 乙烯- 四氟乙烯共聚物等)、环状烯烃、有机硅树脂、环氧树脂、丙烯酸树脂等，从模具的精度这点，优选光固化性的丙烯酸树脂。从转印的重复耐久性这点，优选在树脂模具的表面上具有厚度为2 ～ 10nm 的无机膜。作为无机膜，优选SiO2、TiO2、Al2O3 等氧化膜。[0079] 作为用于压印法的基材，可以举出玻璃板( 石英玻璃板、无碱玻璃板等)、由树脂( 聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚丁烯对酞酸盐、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚二甲基硅氧烷、透明氟类树脂等) 构成的薄膜等。在将玻璃板用于基材的情况下，能够用单片式实现压印法，在将薄膜用于基材的情况下，能够用卷对卷制程(roll to roll) 的方式实现压印法。[0080] 金属层的形成[0081] 作为金属层的形成方法，为了在凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的凸条间的平坦部的一部分上形成金属层，优选利用真空蒸镀法的斜向蒸镀法。[0082] 具体来说，通过从与凸条的长度方向大致正交并且相对于凸条的高度方向朝向第1 侧面侧形成25°～ 40°的角度的方向，在蒸镀量为40nm ～ 60nm 的条件下蒸镀金属或者金属化合物，从而能够形成目标金属层。[0083] 蒸镀量为40nm ～ 60nm 的条件意味着下述条件，在凸条上形成金属层时，在没有形成凸条的区域( 平坦的平板部分) 的表面上蒸镀金属或者金属化合物而形成的金属层的厚度Hm′为40nm ～ 60nm。[0084] 此外，对于该蒸镀量的条件的条件给出，能够采用下述方法，即，对于预先以其它途径准备的条件给出用的透光性基板的平坦部分，从规定的方向蒸镀规定的金属层形成用的金属或者金属化合物，从而找出在该平坦部上获得厚度为40nm ～ 60nm 的金属层的蒸镀条件。[0085] 作为在制作于基材上的透光性基板的凸条上利用斜向蒸镀法连续地形成金属层的方法，能够采用卷对卷制程方式或者单片式。在基材和透光性基板成为一体的状态下进行金属层的形成。以如下方式相对地配置基材和蒸镀源，即，与基板的凸条的长度方向大致正交并且相对于凸条的高度方向朝向第1 侧面侧形成一定的角度(25°～ 40°的角度) 的方向的延长线与从蒸镀源射出的蒸镀物质的出射方向相一致。[0086] 在基材为薄膜那样的柔性材料的情况下，能够在用卷对卷制程的方式用压印法形成凸条后，连续地用斜向蒸镀法形成金属层，因此能够实现较高生产率。[0087] 在基材为玻璃板那样的硬性材料的情况下，能够利用以下方法连续地用斜向蒸镀法形成金属层，即，利用相对于被搬送到水平方向或者垂直方向的基材而倾斜配置蒸镀源的方法、相对于被搬送到水平方向或者垂直方向的基材而利用蒸镀物质的倾斜出射成分的方法、相对于被搬送到倾斜方向的基材而利用蒸镀物质的垂直出射成分的方法、相对于被固定的基材而使用可动式的蒸镀源的方法等。[0088] 此外，在将本发明的线栅型偏振片作为偏光板使用的情况下，很多情况下光的透过轴变得与玻璃板的对角线相平行。该情况下，在基板和蒸镀源之间导入狭缝，适当地设定该狭缝的线状开口部与玻璃板的各个边所形成的角度，或者使狭缝的长度方向与凸条的长度方向相并行，从而能够相对于凸条形成选择性的金属层。[0089] 线栅型偏振片的实施方式[0090] 以下，使用附图说明本发明的线栅型偏振片的实施方式。以下的附图是示意图，实际的线栅型偏振片不具有图示那样的理论性的并且理想的形状。例如，在实际的线栅型偏振片中，多少会有凸条等的形状的倒塌，也会产生不少金属层的厚度不均匀的情况。[0091] 此外，本发明中的凸条及金属层的各个尺寸由下述方式测定，即，在线栅型偏振片的截面的扫描型电子显微镜图像或者透射型电子显微镜图像中，测定凸条及该凸条上的金属层中的各个尺寸的五个最大值，将五个该最大值的平均值作为凸条及金属层的各个尺寸。[0092] 第1 实施方式[0093] 图1 是表示本发明的线栅型偏振片的第1 实施方式的立体图。线栅型偏振片10 具有透光性基板14 和金属层20，在该透光性基板14 上形成有向图中的箭头A 方向延伸且截面形状为三角形的多个凸条12，该多个凸条12 以隔着形成在该凸条12 之间的槽的平坦部13 相互平行并且以规定的间距Pp 的方式形成在上述透光性基板14 的表面上，该金属层20由金属或者金属化合物构成，其覆盖凸条12 的第1 侧面16 的整个表面、与第1 侧面16 相邻的凸条12 之间的平坦部13 的一部分及与第1 侧面16 相邻的凸条12 的第2 侧面18 的一部分，该金属层20 不形成在平坦部13 的剩余部分及第2 侧面18 的剩余部分上。该金属层20 向凸条12 的长度方向延伸而构成金属细线。[0094] Pp 是凸条12 的底部的宽度Dbp 和形成在凸条12 之间的平坦部13 的宽度的合计值。优选Pp 为50nm ～ 300nm，更加优选Pp 为50nm ～ 250nm。在Pp 为300nm 以下的情况下，线栅型偏振片10 显示出较高s 偏振光折射率并且在400nm 左右的短波长范围中也显示出较高偏光度。此外，抑制了由衍射产生的着色现象。此外，在Pp 为50nm ～ 200nm 的情况下，利用蒸镀容易形成金属层20。[0095] 优选Dbp 和Pp 的比(Dbp/Pp) 的比值为0.1 ～ 0.7，更加优选该比的比值为0.25 ～0.55。在Dbp/Pp 的比值为0.1 以上的情况下，显示出较高偏光度。通过使Dbp/Pp 的比值为0.5 以下，抑制了由干涉产生的透过光的着色。[0096] 从容易利用蒸镀形成金属层20 这点，优选Dbp 为30 ～ 100nm。[0097] 优选凸条12 的高度Hp 为80nm ～ 300nm，更加优选Hp 为120nm ～ 270nm。在Hp 为80nm 以上，特别是在120nm 以上的情况下，可以充分升高偏振光分离能力。在Hp 为300nm以下的情况下，可以降低波长分散。此外，在Hp 为80nm ～ 300nm 的情况下，利用蒸镀容易形成金属层20。[0098] 如图1 所示，优选第1 侧面16 相对于成为透光性基板的平坦部的主表面的倾斜角θ1 及第2 侧面18 相对于该主表面的倾斜角θ2 为30 ～ 90°。θ1 与θ2 可以相同，也可以不同。[0099] 优选透光性基板14 的厚度Hs 为0.5μm ～ 1000μm，更加优选Hs 为1μm ～ 40μm。[0100] 优选金属层20 满足下述的条件(a) ～ (c) 的全部或者任一项。[0101] 条件(a) ：[0102] 条件(a) 是关于金属层20 的厚度的条件。[0103] Dm1 是覆盖凸条12 的第1 侧面16 的金属层20 在凸条的宽度方向上的厚度的最大值。[0104] Dm2 是覆盖凸条12 的第2 侧面18 的金属层20 在凸条的宽度方向上的厚度的最大值。[0105] Dm 是凸条12 的顶部的金属层20 的宽度，大致等于Dm1 与Dm2 之和。[0106] 优选Dm1 满足下式( Ⅰ )。[×(Pp-Dbp) ≤ Dm1 ≤ 0.5×(Pp-Dbp)...( Ⅰ )[0108] 只要在Dm1 为0.2×(Pp-Dbp) 以上的情况下，线栅型偏振片10 就显示出较高p 偏振光透过率并且波长分散小。只要在Dm1 为0.5×(Pp-Dbp) 以下的情况下，就使偏振光分离能力充分地升高。[0109] 在利用斜向蒸镀法形成金属层20 的情况下，虽然凸条12 的第2 侧面18 的一部分也被金属层20 覆盖，但是从p 偏振光透过率这点，优选尽可能不形成覆盖第2 侧面18 的一部分的金属层20。从而，优选Dm2 为0 ～ 20nm。在Dm2 为20nm 以下的情况下，线栅型偏振片10 显示出较高p 偏振光透过率并且使光学特性的角度依赖性充分地降低。[0110] 优选Dm 满足下式( Ⅱ )[×(Pp-Dbp) ≤ Dm ≤ 0.6×(Pp-Dbp)...( Ⅱ )[0112] 只要在Dm 为0.25×(Pp-Dbp) 以上的情况下，就使偏振光分离能力充分地升高。只要在D m 为0.6×(Pp-Dbp) 以下的情况下，凸条12 之间的平坦部13 的空间就变得很宽，显示出较高p 偏振光透过率。[0113] 条件(b)[0114] 条件(b) 是关于金属层20 的高度的条件。[0115] Hm1 是覆盖凸条12 的第1 侧面16 的金属层20 的高度。[0116] Hm2 是覆盖凸条12 的第2 侧面18 的金属层20 的高度。[0117] 此外，这里所说的金属层20 的高度是指在金属层20 之上形成有保护层的情况下不包含该保护层的厚度的高度。[0118] 优选Hm1 为80nm ～ 340nm，更加优选Hm1 为120nm ～ 310nm。只要在Hm1 为80nm以上的情况下，就抑制了金属层20 的结晶化而显示出较高s 偏振光反射率。只要在Hm2 为340nm 以下的情况下，就在短波长范围中也能使偏振光分离能力充分地升高。[0119] 从p 偏振光透过率这点，优选尽可能不形成如上所述地覆盖第2 侧面18 的一部分的金属层20。从而，优选Hm2 为0 ～ 20nm。只要在Hm2 为20nm 以下的情况下，线栅型偏振片10 就显示出较高p 偏振光透过率并且使光学特性的角度依赖性充分地降低。[0120] 条件(c)[0121] 优选Hm1/Hp 的比值为1 ～ 2，更加优选Hm1/Hp 的比值为1 ～ 1.5。只要在Hm1/Hp的比值为1 以上的情况下，就使偏振光分离能力升高。只要在Hm1/Hp 的比值为2 以下的情况下，就使光学特性的角度依赖性充分地降低。[0122] 如图2 所示，金属层20 能够通过下述方式形成：从与凸条12 的长度方向L 大致正交并且相对于凸条12 的高度方向H 朝向第1 侧面16 侧形成25°～ 40°的角度θL 的方向V1，在蒸镀量为40nm ～ 60nm 的条件下蒸镀金属或者金属化合物，从而形成金属层20。[0123] 也可以在总共的蒸镀量为40nm ～ 60nm 的条件下，分n 次( 其中，n 为2 以上的整数) 进行蒸镀。优选第i 次( 其中，i 为1 ～ n-1 的整数) 的角度θLi 和第i+1 次的角度θLi+1 有如下关系：θLi+1 ＜ θLi。[0124] 例如，能够通过使用下述的蒸镀装置而调整角度θL。[0125] 该蒸镀装置能够以使蒸镀源位于方向V1 的延长线上的方式，变更与蒸镀源相对配置的透光性基板14 的倾斜度，该方向V1 是与凸条12 的长度方向大致正交并且相对于凸条12 的高度方向H 朝向第1 侧面16 侧形成角度θL 的方向。[0126] 作为蒸镀源，能够举出金属( 银、铝、铬及镁等)，从对于可见光的反射率较高、可见光的吸收较少并且具有较高导电率的观点，优选铝、铝类合金、银、铬及镁，特别地优选铝、铝类合金。[0127] 第2 实施方式[0128] 图3 是表示本发明的线栅型偏振片的第2 实施方式的立体图。线栅型偏振片10包括透光性基板14 和金属层20，在该透光性基板14 的表面上形成有截面形状为梯形的多个凸条12，该多个凸条12 以隔着形成在该凸条12 之间的槽的平坦部13 而相互平行并且隔开规定的间距Pp 的方式形成在上述透光性基板14 的表面上，该金属层20 由金属或者金属化合物构成，其覆盖凸条12 的第1 侧面16 的整个表面、与第1 侧面16 相邻的凸条12 之间的平坦部13 的一部分、与第1 侧面16 相邻的凸条12 的顶部19 的整个表面及与顶部19相邻的凸条12 的第2 侧面18 的一部分，该金属层20 不形成在平坦部13 的剩余部分及第2 侧面18 的剩余部分上。金属层20 向凸条12 的长度方向延伸而构成金属细线。[0129] 对于第2 实施方式中与第1 实施方式的线栅型偏振片10 相同的结构，省略说明。[0130] 优选凸条12 的顶部19 的宽度Dtp 小于等于Dbp 的一半，更加优选Dtp 为40nm 以下，进一步优选Dtp 为20nm 以下。在Dtp 小于等于Dbp 的一半的情况下，使透过率变得更高且充分地降低角度依赖性。[0131] D m 是覆盖凸条12 的顶部19 的金属层20 的宽度，大致等于Dm1、Dm2 及Dtp 之和。[0132] 金属层20 能够与第1 实施方式的线栅型偏振片10 的金属层20 同样地形成。此外，在覆盖凸条12 的顶部19 的金属层20 的厚度不充分的情况下，如图4 所示，也可以从与凸条12 的长度方向L 大致正交并且相对于凸条12 的高度方向H 朝向第2 侧面18 侧形成25°～ 40°的角度θR 的方向V2，在蒸镀量为20nm 以下的条件下蒸镀金属或者金属化合物。[0133] 在以上说明的本发明的线栅型偏振片中，形成在透光性基板的表面上的多个凸条的截面形状为宽度从底部朝向顶部逐渐变窄的形状，并且利用金属层覆盖该凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的凸条间的平坦部的一部分，因此，上述线栅型偏振器在可见光范围显示出较高偏光度、较高p 偏振光透过率及较高s 偏振光反射率，并且光学特性的角度依赖性较低、波长依赖性较低。[0134] 另一方面，以往的线栅型偏振片只在凸条上形成金属层，不利用金属层覆盖凸条间的平坦部，因此光学特性的角度依赖性较高、波长依赖性较高。[0135] 此外，在以上说明的本发明的线栅型偏振片的制造方法中，从与凸条的长度方向大致正交并且相对于上述凸条的高度方向朝向第1 侧面侧形成25°～ 40°的角度θ 的方向，在蒸镀量为40nm ～ 60nm 的条件下蒸镀金属或者金属化合物从而形成金属层，因此能够制造出在可见光范围显示出较高偏光度、较高p 偏振光透过率及较高s 偏振光反射率并且光学特性的角度依赖性较低、波长依赖性较低的线栅型偏振片。[0136] 虽然在上述本发明的第1 及第2 实施方式的线栅型偏振片的图1 及图2 的说明中，对将该凸条的左侧的面作为该凸条的第1 侧面而在该侧面的整个表面上形成金属层的例子，和将该凸条的右侧的面作为该凸条的第2 侧面而在该侧面的上端部分的表面上形成金属层的例子进行说明，当然也可以将该附图的凸条的右侧的面作为第1 侧面，将该附图的凸条的左侧的面作为第2 侧面。[0137] 实施例[0138] 以下，利用实施例进一步详细说明本发明，但是本发明并不限定为这些实施例。[0139] 例1 ～ 12 为实施例，例13 ～ 21 为比较例。[0140] 金属层的各个尺寸[0141] 金属层( 金属细线) 的各个尺寸通过下述方式获得，即，在线栅型偏振片的截面的透射型电子显微镜图像中，测定凸条上的金属层中的各个尺寸的五个最大值( 其中，Dm、Dm1 及Dm2 是由之前说明的方式定义的值)，将该五个该最大值平均而求得金属层的各个尺寸。[0142] 透过率[0143] 使用紫外可见分光光度计(JASCO 社制，V-7200) 测定透过率。将附属的偏振片在光源和线栅型偏振片之间设在使吸收轴与线栅型偏振片的金属细线的长轴相并行的方向上，从线栅型偏振片的表面侧( 形成有金属层的表面侧) 入射偏振光而进行测定。测定波长为450nm、550nm、650nm。[0144] p 偏振光透过率在80％以上时表示为○，在70％以上不足80％时表示为△，在不足70％时表示为×。[0145] 反射率[0146] 使用紫外可见分光光度计(JASCO 社制，V-7200) 测定反射率。将附属的偏振片在光源和线栅型偏振片之间设在使吸收轴直达线栅型偏振片的金属细线的长轴的方向上，相对于线栅型偏振片的表面以5°的角度入射偏振光而进行测定。测定波长为450nm、550nm、650nm。[0147] s 偏振光反射率在80％以上时表示为○，在70％以上不足80％时表示为△，在不足70％时表示为×。[0148] 偏光度[0149] 由下式计算偏光度。[0150] 偏光度＝ ((Tp-Ts)/(Tp+Ts))0.5[0151] 其中，Tp 为p 偏振光透过率，Ts 为s 偏振光反射率。[0152] 偏光度为99.5％以上时表示为○，在不足99.5％时表示为×。[0153] 角度依赖性[0154] 对于从与凸条的长度方向L 正交并且相对于凸条的高度方向H 朝向第1 侧面侧形成θL ＝ 45°的角度的方向V1 向线栅型偏振片的表面侧入射光时的Tp 及Ts 和从凸条的高度方向H(θ ＝ 0°) 的方向向线栅型偏振片的表面侧入射光时的Tp 及Ts 之差，以及从与凸条的长度方向L 正交并且相对于凸条的高度方向H 朝向第2 侧面侧形成θR ＝ 45°的角度的方向V2 向线栅型偏振片的表面侧入射光时的Tp 及Ts 和从凸条的高度方向H(θ ＝0°) 的方向向线栅型偏振片的表面侧入射光时的Tp 及Ts 之差，当该差全部±5％以下的情况下表示为○，即使在只有一个超出±5％的情况下也表示为×。[0155] 光固化性组成物的制备[0156] 向安装有搅拌机及冷凝管的1000mL 的4 口烧瓶中加入单体1( 新中村化学工业公司制造、NK ESTER A-DPH、二季戊四醇六丙烯酸酸酯)60g、单体2( 新中村化学工业公司制造、NK ESTER A-NPG、新戊二醇二丙烯酸酸酯)40g、光聚合引发剂(CIBA SPECIALTYCHEMICALS INC. 制造、IRGACURE907)4.0g、含氟表面活性剂( 旭硝子株式会社制造、含氟丙烯酸酸酯(CH2 ＝ CHCOO(CH2)2(CF2)8F) 与丙烯酸酸丁酯的共低聚物、氟含量：约30 质量％、质量平均分子量：约g、阻聚剂( 和光纯药公司制造、Qg 以及环己酮65.0g。[0157] 在将烧瓶内设为常温及避光的状态下，搅拌1 小时使其均匀化。接着，一边搅拌烧瓶内，一边慢慢加入胶态二氧化硅100g( 固体成分：30g)，进一步在将烧瓶内设为常温及避光的状态下搅拌1 小时使其均匀化。接着，加入环己酮340g，在将烧瓶内设为常温及避光的状态下搅拌1 小时，获得光固化性组合物1 的溶液。[0158] 例1[0159] 透光性基板的制作[0160] 在厚度为100μm 的高透过性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET) 薄膜( 帝人杜邦社制，帝人涤纶03，100mm×100mm) 的表面上，利用旋转涂布法涂布光固化性组成物1，形成了厚度为5μm 的光固化性组成物1 的涂膜。[0161] 在25℃的条件下以0.5MPa( 表压) 的压力将以隔着形成在该槽间的平坦部相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的石英制模具( 面积：150mm×150mm ；图案面积：100mm×100mm ；槽的间距Pp ：160nm ；槽的宽度Dbp ：65nm ；槽的深度Hp ：200nm ；槽的长度：100mm ；槽的截面形状：大致等腰三角形) 按压在光固化性组成物1 的涂膜上，使得槽与光固化性组成物1 的涂膜相接触。[0162] 保持该状态，从PET 薄膜侧照射15 秒钟高压水银灯( 频率：1.5kHz ～ 2.0kHz ；主波长光：255nm、315nm 及365nm ；主波长为365nm 条件下的照射能量：1000mJ) 的光，使光固化性组成物1 固化，从而制作了具有与石英制模具的槽相对应的多个凸条及该凸条间的平坦部的透光性基板( 凸条的间隔Pp ：160nm ；凸条的底部的宽度Dbp ：65nm ；凸条的高度Hp ：200nm ；θ1 及θ2 ：80.8° )。从透光性基板上慢慢地将石英制模具分离。[0163] 金属层的形成[0164] 使用能够变更与蒸镀源相对的透光性基板的倾斜度的真空蒸镀装置( 昭和真空社制，SEC-16CM)，用斜向蒸镀法在透光性基板的凸条上蒸镀铝，从而形成金属层，获得在背面上粘接有PET 薄膜的线栅型偏振片。[0165] 此时，从与凸条的长度方向大致正交并且相对于凸条的高度方向H 朝向第1 侧面侧形成角度θL 的方向V1( 即第1 侧面侧) 进行一次蒸镀，并且使该蒸镀中的角度θL 及由于该蒸镀而形成在没有形成凸条的平坦的区域中的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度。此外，利用将水晶振子作为膜厚传感器的膜厚监视器测定Hm′。[0166] 例2、3[0167] 与例1 同样地制作了透光性基板后，除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0168] 例4[0169] 透光性基板的制作[0170] 除了作为模具使用以隔着形成在槽间的平坦部而相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的镍制模具( 面积：150mm×150mm ；图案面积：100mm×100mm ；槽的间距Pp ：150nm ；槽的宽度Dbp ：60nm ；槽的深度Hp ：200nm ；槽的长度：100mm ；槽的截面形状：大致等腰三角形) 以外，与例1 同样地制作了透光性基板( 凸条的间距Pp ：150nm ；凸条的宽度Dbp ：60nm ；凸条的高度Hp ：200nm ；θ1 及θ2 ：81.5°)，该透光性基板具有与镍制模具的槽相对应的多个凸条及该凸条间的平坦部。[0171] 金属层的形成[0172] 除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0173] 例5、6[0174] 与例4 同样地制作了透光性基板后，除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0175] 例7[0176] 透光性基板的制作[0177] 除了作为模具使用以隔着形成在槽间的平坦部而相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的镍制模具( 面积：150mm×150mm ；图案面积：100mm×100mm ；槽的间距Pp ：150nm ；槽的宽度Dbp ：40nm ；槽的深度Hp ：200nm ；槽的长度：100mm ；槽的截面形状：大致等腰三角形) 以外，与例1 同样地制作了具有与镍制模具的槽相对应的多个凸条及该凸条间的平坦部的透光性基板( 凸条的间距Pp ：150nm ；凸条的宽度Dbp ：40nm ；凸条的高度Hp ：200nm ；θ1 及θ2 ：84.3° )。[0178] 金属层的形成[0179] 除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0180] 例8[0181] 透光性基板的制作[0182] 除了作为模具使用以隔着形成在槽间的平坦部而相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的镍制模具( 面积：150mm×150mm ；图案面积：100mm×100mm ；槽的间距Pp ：200nm ；槽的宽度Dbp ：75nm ；槽的深度Hp ：160nm ；槽的长度：100mm ；槽的截面形状：大致等腰三角形) 以外，与例1 同样地制作了具有与镍制模具的槽相对应的多个凸条及该凸条间的平坦部的透光性基板( 凸条的间距Pp ：200nm ；凸条的宽度Dbp ：75nm ；凸条的高度Hp ：160nm ；θ1 及θ2 ：76.8° )。[0183] 金属层的形成[0184] 除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0185] 例9[0186] 透光性基板的制作[0187] 除了作为模具使用以隔着形成在槽间的平坦部而相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的镍制模具( 面积：150mm×150mm ；图案面积：100mm×100mm ；槽的间距Pp ：200nm ；槽的宽度Dbp ：60nm ；槽的深度Hp ：170nm ；槽的长度：100mm ；槽的截面形状：大致直角三角形) 以外，与例1 同样地制作了具有与镍制模具的槽相对应的多个凸条及该凸条间的平坦部的透光性基板( 凸条的间距Pp ：200nm ；凸条的宽度Dbp ：60nm ；凸条的高度Hp ：170nm ；θ1 ：70.6°，θ2 ：90° )。[0188] 金属层的形成[0189] 除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0190] 例10[0191] 透光性基板的制作[0192] 除了作为模具使用以隔着形成在槽间的平坦部而相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的镍制模具( 面积：150mm×150mm ；图案面积：100mm×100mm ；槽的间距Pp ：200nm ；槽的上部的宽度Dbp ：80nm ；槽的底部的宽度Dtp ：20nm ；槽的深度Hp ：200nm ；槽的长度：100mm ；槽的截面形状：大致梯形) 以外，与例1 同样地制作了具有与镍制模具的槽相对应的多个凸条及该凸条间的平坦部的透光性基板( 凸条的间距Pp ：200nm ；凸条的底部的宽度Dbp ：60nm ；凸条的顶部的宽度Dtp ：20nm ；凸条的高度Hp ：200nm。θ1 ＝ θ2 ＝84.3° )。[0193] 金属层的形成[0194] 使用能够变更与蒸镀源相对的透光性基板的倾斜度的真空蒸镀装置( 昭和真空社制，SEC-16CM)，用斜向蒸镀法在透光性基板的凸条上蒸镀铝从而形成金属层，获得了在背面上粘接有PET 薄膜的线栅型偏振片。[0195] 此时，从与凸条的长度方向大致正交并且相对于凸条的高度方向H 朝向第1 侧面侧形成角度θL 的方向V1( 即第1 侧面侧)，以表1 中所示的角度θL 及厚度Hm′进行一次蒸镀，接下来，从与凸条的长度方向大致正交并且相对于凸条的高度方向H 朝向第2 侧面侧形成角度θR 的方向V2( 即第2 侧面侧)，以表1 中所示的角度θR 及厚度Hm′进行一次蒸镀。[0196] 例11、12[0197] 与例10 同样地制作了透光性基板后，除了使蒸镀的次数、各次蒸镀中的角度θL( 或者角度θR) 及由一次蒸镀而形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0198] 例13[0199] 与例4 同样地制作了透光性基板后，除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0200] 例14[0201] 透光性基板的制作[0202] 除了作为模具使用以相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的硅制模具( 面积：20mm×20mm ；图案面积：10mm×10mm ；槽的间距Pp ：215nm ；槽的宽度Dbp ：110nm ；槽的深度Hp ：150nm ；槽的长度：10mm ；槽的截面形状：大致等腰三角形) 以外，与例1 同样地制作了具有与硅制模具的槽相对应的多个凸条的透光性基板( 凸条的间距Pp ：215nm ；凸条的宽度Dbp ：110nm ；凸条的高度Hp ：150nm)。[0203] 金属层的形成[0204] 除了使各次蒸镀中的角度θL( 或者角度θR) 及由一次蒸镀而形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0205] 例15[0206] 透光性基板的制作[0207] 除了作为模具使用以相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的硅制模具( 面积：20mm×20mm ；图案面积：10mm×10mm ；槽的间距Pp ：130nm ；槽的宽度Dbp ：63nm ；槽的深度Hp ：15nm ；槽的长度：10mm ；槽的截面形状：大致等腰三角形) 以外，与例1 同样地制作了具有与硅制模具的槽相对应的多个凸条的透光性基板( 凸条的间距Pp ：130nm ；凸条的宽度Dbp ：63nm ；凸条的高度Hp ：15nm)。[0208] 金属层的形成[0209] 除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0210] 例16[0211] 与例15 同样地制作了透光性基板后，除了使蒸镀的次数、各次蒸镀中的角度θL( 或者角度θR) 及由一次蒸镀而形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0212] 例17[0213] 除了作为模具使用以相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的镍制模具( 面积：20mm×20mm ；图案面积：10mm×10mm ；槽的间距Pp ：200nm ；槽的上部的宽度Dbp ：65nm ；槽的底部的宽度Dtp ：50nm ；槽的深度Hp ：100nm ；槽的长度：10mm ；槽的截面形状：大致梯形) 以外，与例1 同样地制作了具有与镍制模具的槽相对应的多个凸条的透光性基板( 凸条的间距Pp ：200nm ；凸条的底部的宽度Dbp ：65nm ；凸条的顶部的宽度Dtp ：50nm ；凸条的高度Hp ：100nm)。[0214] 金属层的形成[0215] 除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0216] 例18[0217] 除了作为模具使用以相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的镍制模具( 面积：20mm×20mm ；图案面积：10mm×10mm ；槽的间距Pp ：200nm ；槽的上部的宽度Dbp ：80nm ；槽的底部的宽度Dtp ：50nm ；槽的深度Hp ：200nm ；槽的长度：10mm ；槽的截面形状：大致梯形) 以外，与例1 同样地制作了具有与镍制模具的槽相对应的多个凸条的透光性基板( 凸条的间距Pp ：200nm ；凸条的底部的宽度Dbp ：80nm ；凸条的顶部的宽度Dtp ：50nm ；凸条的高度Hp ：200nm)。[0218] 金属层的形成[0219] 除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0220] 例19[0221] 在与例1 同样地制作了透光性基板后，除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0222] 例20[0223] 除了作为模具使用以隔着形成在该槽间的平坦部相互平行并且隔开规定的间距的方式形成有多个槽的石英制模具( 面积：150mm×150mm ；图案面积：100mm×100mm ；槽的间距Pp ：160nm ；槽的宽度Dp ：65nm ；槽的深度Hp ：200nm ；槽的长度：100mm ；槽的截面形状：大致矩形) 以外，与例1 同样地制作了具有与石英制模具的槽相对应的多个凸条及该凸条之间的平坦部的透光性基板( 凸条的间距Pp ：160nm ；凸条的宽度Dp ：65nm ；凸条的高度Hp ：200nm)。[0224] 金属层的形成[0225] 除了使蒸镀中的角度θL 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0226] 例21[0227] 在与例1 同样地制作了透光性基板后，除了使蒸镀中的角度θL、θR 及由蒸镀形成的金属层的厚度Hm′为表1 中所示的角度及厚度以外，与例1 同样地获得线栅型偏振片。[0228] 测定，评价[0229] 测定了例1 ～ 21 的线栅型偏振片的金属层的各个尺寸。将结果表示在表1 中。[0230] 此外，测定了例1 ～ 21 的线栅型偏振片的透过率、反射率、偏光度、角度依赖性。将结果表示在表2 中。[0231] 表1[0232][0233] 表2[0234][0235] 例1 ～例9 具有至少覆盖截面为三角形的凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的在凸条间的平坦部的一部分的金属层，因此显示出较高偏光度、较高p 偏振光透过率及较高s 偏振光反射率且光学特性的角度依赖性较低、波长依赖性较低。[0236] 例10 ～例12 具有至少覆盖截面为大致梯形的凸条的第1 侧面的整个表面及与该侧面相邻的凸条间的平坦部的一部分的金属层，因此显示出较高偏光度、较高p 偏振光透过率及较高s 偏振光反射率且光学特性的角度依赖性较低、波长依赖性较低。[0237] 在例13 中覆盖凸条的侧面的金属层的厚度Dm1 及Dm2 过厚而使凸条间的平坦部基本被金属层掩埋，因此使p 偏振光透过率下降且光学特性的角度依赖性较高。[0238] 例14 是与专利文件2 的实施例2 相当的例子，覆盖截面为大致三角形的凸条的第2 侧面的金属层的厚度Dm2、高度Hm2 较大。此外，没有形成用于覆盖凸条间的平坦部的金属层。因此，使p 偏振光透过率下降且光学特性的角度依赖性较高。[0239] 例15、16 是与专利文件4 的实施例4、5 相当的例子，没有形成用于覆盖凸条间的平坦部的金属层，因此光学特性的角度依赖性较高、波长依赖性较高。[0240] 例17、18 是与专利文件3 的实施例9、10 相当的例子，在凸条的顶部上形成金属层，第1 侧面的整个表面没有被金属层覆盖，没有形成用于覆盖凸条间的平坦部的金属层，因此使p 偏振光透过率下降且光学特性的角度依赖性较高。[0241] 例19 中没有充分地形成用于覆盖截面为三角形的凸条的第1 侧面的金属层，没有形成用于覆盖凸条间的平坦部的金属层，因此使s 偏振光反射率下降且光学特性的角度依赖性较高。[0242] 例20 中凸条的截面形状为矩形，因此使p 偏振光透过率下降且光学特性的角度依赖性较高。[0243] 例21 中凸条的第1 侧面及第2 侧面完全被金属层覆盖，因此使p 偏振光的透过率下降。[0244] 产业上的可利用性[0245] 本发明的线栅型偏振片可以作为液晶显示装置、背投影式电视、前投影仪等图像显示装置的偏振片而发挥作用。[0246] 此外，在这里引用了于2009 年2 月5 日申请的日本专利申请 号的说明书、权利要求书、附图及摘要的全部内容，并且引入以上内容作为本发明的说明书的公开内容。[0247] 附图标记说明[0248] 10 线栅型偏振片[0249] 12 凸条[0250] 13 平坦部[0251] 14 透光性基板[0252] 16 第1 侧面[0253] 18 第2 侧面[0254] 19 顶部[0255] 20 金属层
发明人：海田由里 坂本宽 见矢木崇平樱井宏巳 池田康宏 志堂寺荣治
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