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快中子辐照直拉硅的红外吸收分析
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主题：【讨论】硅片中碳氧含量的测试
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发表于： 15:43:56
我想了解一些，关于硅片中碳氧含量测试的问题。希望做过相关工作的大侠们指点指点！！问题例如自己做的碳氧含量有多少？硅片做什么用等等！！期待大家的回答啊！！
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ID：kingber
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& & & & 这个有国家标准，参考国家标准做就可以。有专门的红外光谱仪测试就可以。& & & & 要求测试试样 经双面研磨/单面抛光/双面抛光（机械/化学抛光）硅晶片均可。& 要求试样在室温下电阻率＞0.1Ω.cm,试样的厚度范围为2.00mm―3.00mm。& & & & & 参样要求：参样的厚度约为2.00mm，双面抛光呈镜面，并且参样中的氧、碳含量均小于1×1016 cm-3。& & & &
对于低碳含量样品,多个实验室测量碳含量精密度，按照“硅中代位碳含量的红外吸收测量方法”国家标准(GB/T )
16:53:08 Last edit by ghcily
happyalife
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有具体的标准内容么？
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ID：fyrebecca
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一般的FTIR 就可以阿，需要买ASTM标准硅片，这个标准片很贵，前几年我们去询过价钱，好像是2500美金一片，一般要买个三片以上吧，后来项目变动，就没买了 原文由 kingber(kingber) 发表:& & & & 这个有国家标准，参考国家标准做就可以。有专门的红外光谱仪测试就可以。& & & & 要求测试试样 经双面研磨/单面抛光/双面抛光（机械/化学抛光）硅晶片均可。& 要求试样在室温下电阻率＞0.1Ω.cm,试样的厚度范围为2.00mm―3.00mm。& & & & & 参样要求：参样的厚度约为2.00mm，双面抛光呈镜面，并且参样中的氧、碳含量均小于1×1016 cm-3。& & & &
对于低碳含量样品,多个实验室测量碳含量精密度，按照“硅中代位碳含量的红外吸收测量方法”国家标准(GB/T )
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你要测这个吗这个含量很少很少的，其他方法都不好测，也就IR好发挥作用原文由 slenna(slenna) 发表:我想了解一些，关于硅片中碳氧含量测试的问题。希望做过相关工作的大侠们指点指点！！问题例如自己做的碳氧含量有多少？硅片做什么用等等！！期待大家的回答啊！！
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大家有做过的嘛！！来分享下经验啊！！
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原文由 slenna(slenna) 发表:我想了解一些，关于硅片中碳氧含量测试的问题。希望做过相关工作的大侠们指点指点！！问题例如自己做的碳氧含量有多少？硅片做什么用等等！！期待大家的回答啊！！硅片中碳氧含量测试很容易,根据国标测试就可以了.抛光后透射测试,标准曲线法定量,不需要低温附件也可以得到很好的结果.如果想测试氮硫磷就一定要用低温附件了.硅片现在最火的领域就是作为太阳能电池基板了,其他在半导体\光存储\通信也有很多应用
luxiaobin2008
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ASTM标准硅片和参比硅片，哪里可以买到？急需呀！邮箱，,tel,
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原文由 luxiaobin2008(luxiaobin2008) 发表:ASTM标准硅片和参比硅片，哪里可以买到？急需呀！邮箱，,tel,去做硅片碳氧含量的红外仪器厂商咨询吧！！他们要做这一块的话，肯定会有买的！！这些就应该不用分国产还是进口了！
luxiaobin2008
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上海BRUKER去问了，他们也不是很清楚。不知道其它红外经销商怎么样？有消息的兄弟一定要挺我一把呀
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ID：ghcily
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原文由 luxiaobin2008(luxiaobin2008) 发表:上海BRUKER去问了，他们也不是很清楚。不知道其它红外经销商怎么样？有消息的兄弟一定要挺我一把呀卖仪器并不一定知道怎么去测试样品，仪器厂家注重的是自己的仪器是不是合格的，至于怎么去测试还得客户根据标准或者其他甚至经验来的。&#xe621; 上传我的文档
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光学表征技术
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内容提示：光学表征技术。 。光学基本知识。引子：。这章将介绍在半导体工业中最常见的光学表征技术。由于光学表征是非接触式的，而接触式的方法总式破坏性的，因此这个优点使得它成为一个另人关注的方法。。光学方法可分成三大块：光度测量方法——测量反射或投射光的幅度；干涉法——测量反射或投射光的相位；偏振法——测量反射光椭圆率。。主要光学技术可以用这个图表示：发射，发射，吸收，透射。都将在这章得到讨论。。光学方法采用紫外光到外红外光段的电磁谱。参数有：波长——?，能量——E/h?，波数——WN。。基本公式：。1.97?E?h?????(eV) ??(nm)?(?m)?(A)hc。光学显微镜。光学显微镜的简单结构如下图所示，有物镜和目镜组成。。光学显微镜有几个重要概念：分辨率，放大率和对比度。。先来看分辩率。由于光具有波粒二相性，解释很多实验现象就可以通过两方面来解释。。Airy最先计算出了衍射图象，对于一个直径为d的圆形光圈，第一个最小光区的角度可由下式计算。sin(?)?1.22? d。中心区域包含主要光线的，叫做Airy或者是衍射盘。。可以通过一些实验来观察这一现象，让光源透过一个小孔来照射到纸板上，就能观看到这一有趣的现象，当然是要在一个暗室里进行。在足够的光照下，可以被检测的物体并没有最小尺寸的限制。。当有两个点光
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