PECVD制备非晶硅薄膜及其对HIT太阳电池性能的影响--《北京交通大学》2011年硕士论文
PECVD制备非晶硅薄膜及其对HIT太阳电池性能的影响
【摘要】：HIT太阳电池以高效率,低成本和快速制备工艺引起国内外的广泛关注。目前HIT太阳电池的领跑者日本三洋公司己将实用尺寸双面的HIT太阳电池效率提高到23%。
HIT太阳电池的性能主要由本征层、窗口层和透明电极决定。本工作通过对这三层的结构和光电特性的研究分析,优化其制备条件,达到增加光吸收和提高载流子的分离与传输的目的,提高实验室水平单面HIT太阳电池的性能。采用PECVD法制备作为电池窗口层和本征层的非晶硅薄膜；磁控溅射法制备透明电极；利用少子寿命较高的n型晶体硅作为基底。
第一、研究了本征层——本征氢化非晶硅薄膜,得出氢气流量对薄膜结晶影响很大,较小的氢气流量使薄膜呈良好的非晶状念,此时受结晶影响较大的光暗电导率分别为：σd为7.95×10-11(Ω·cm)-1,σph为4.22×10-5(Ω·cm)-1,其比值为5×105。沉积功率和压强主要影响薄膜沉积速率。而薄膜的光学禁带宽度主要与定域态密度有关,制备出的薄膜最小禁带宽度为1.7 eV。优化后的制备条件是：沉积功率为50 W,沉积压强为200 Pa,氢气流量为160 sccm。通过本征层厚度对电池性能影响的研究,得出本征层主要影响电池短路电流,最佳本征层厚度为5 nm。
第二、研究了窗口层——P型非晶硅薄膜。由于掺杂剂的掺入使得薄膜的暗电导率提高4、5个数量级,也使薄膜呈现很好的非晶状态,当掺杂浓度为1.5%时薄膜的禁带宽度为2.2 eV。p型非晶硅薄膜优化后的制备条件是：沉积功率为50 w,沉积压强为200 Pa,掺杂浓度为1.5%,氢气流量为75sccm。经过研究窗口层掺杂浓度和厚度对HIT太阳电池性能的影响,我们得出窗口层主要影响电池的开路电压和短路电流,最佳掺杂浓度为1.5%,最佳厚度为30 nm。
第三、研究了透明电极——ITO,我们制备出平均透过率为90%,电阻率为0.003Ω·cm的ITO薄膜,并应用于HIT太阳电池中。优化后的制备条件是：溅射功率为350 w,衬底温度为200℃,氩气流量为40 sccm。ITO厚度的提高使得电池的填充因子有明显的提高。
经过分层优化,改善了电池的性能,尤其是短路电流有了明显的提高。在本研究中,最佳的Ag/ITO/p-a:Si/i-a:Si/n-c:Si/Al结构的单面HIT太阳电池性能参数分别为：开路电压为430 mV,短路电流为40.45 mA/cm2,填充因子为49.6%,转换效率为8.63%。
【学位授予单位】：北京交通大学【学位级别】：硕士【学位授予年份】：2011【分类号】：TM914.41
欢迎：、、)
支持CAJ、PDF文件格式
【相似文献】
中国期刊全文数据库
卢晓敏,汪雷,杨德仁;[J];真空科学与技术;2004年06期
陈治宇;吕知秋;张锦文;金玉丰;李婷;田大宇;王颖;;[J];功能材料与器件学报;2008年01期
赵崇友;蔡先武;;[J];半导体光电;2011年02期
何乐年;[J];功能材料;2002年01期
余云鹏,林璇英,林舜辉,黄锐;[J];汕头大学学报(自然科学版);2004年02期
王生钊;卢景霄;王红娟;刘萍;陈永生;张丽伟;杨仕娥;郜小勇;;[J];可再生能源;2006年04期
田明明;毛龙满;张志杰;陈小兰;杨励君;;[J];科技信息;2010年22期
王晓泉,杨德仁,席珍强;[J];材料导报;2002年03期
冯炜光;刘翔;储清梅;张鹏翔;;[J];云南冶金;2009年03期
岳瑞峰;姚永昭;刘理天;;[J];真空科学与技术学报;2006年04期
中国重要会议论文全文数据库
徐翔;冯杰;王友年;;[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
宋平;连洁;高尚;李萍;王晓;吴仕梁;马峥;;[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
洪艳平;彭锦安;方晓明;汪凌云;Herbert M曹德榕;;[A];中国化学会第七届有机化学学术会议图文摘要集[C];2011年
张檀威;黄辉;蔡世伟;黄永清;任晓敏;;[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（下册）[C];2009年
陈小锰;徐军;邓新绿;朴勇;高鹏;董闯;;[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
高尚;连洁;宋平;马铮;王晓;吴仕梁;;[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
王瑞春;沈鸽;袁骏;张溪文;赵高凌;翁文剑;韩高荣;杜丕一;;[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
刘洪伶;木易;王明月;董婧;苑进社;;[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代[C];2008年
刁宏伟;徐艳月;张世斌;王永谦;廖显伯;;[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
杨莉;陈强;;[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
中国重要报纸全文数据库
静蓉;[N];电子资讯时报;2003年
郝晓明;[N];科技日报;2011年
王冠/北京;[N];电子资讯时报;2004年
吴昊;[N];中国航天报;2009年
杨连基;[N];电子资讯时报;2004年
;[N];中国电子报;2003年
琮淳;[N];电子资讯时报;2004年
艳文;[N];中国包装报;2005年
杜一鸣　通讯员
王德忠;[N];沈阳日报;2010年
;[N];中国电子报;2005年
中国博士学位论文全文数据库
陆利新;[D];上海大学;2010年
杨光敏;[D];吉林大学;2010年
王玫;[D];北京工业大学;2002年
刘建伟;[D];吉林大学;2008年
王应民;[D];南昌大学;2006年
韩喻;[D];国防科学技术大学;2007年
许英敏;[D];吉林大学;2009年
徐慢;[D];武汉理工大学;2006年
王淑敏;[D];吉林大学;2013年
李喆;[D];浙江大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库
铁剑锐;[D];北京交通大学;2011年
赵晶晶;[D];合肥工业大学;2010年
刘洋;[D];东北大学;2009年
邓其明;[D];电子科技大学;2010年
姜伟民;[D];复旦大学;2010年
邓兴汉;[D];暨南大学;2010年
张会娟;[D];河北工业大学;2010年
殷官超;[D];武汉理工大学;2011年
陶涛;[D];南京大学;2012年
胡九龙;[D];西安工业大学;2013年
&快捷付款方式
&订购知网充值卡
400-819-9993672被浏览87,602分享邀请回答20527 条评论分享收藏感谢收起4733 条评论分享收藏感谢收起双层氮化硅薄膜对晶硅太阳电池性能的影响--《太阳能学报》2014年10期
双层氮化硅薄膜对晶硅太阳电池性能的影响
【摘要】：利用管式PECVD在晶硅太阳电池上制备3种不同结构的Si Nx∶H减反射膜:第一子层(靠近基底硅)折射率大于第二子层的双层减反射膜、第一子层折射率小于第二子层的双层减反射膜、单层减反射膜。通过光学和电学性能的比较可看出,第一种类型太阳电池的短路电流、开路电压和电池效率的分布区间均相对集中,其短路电流和开路电压均高于其他样品。该结果主要归结于该类型双层Si Nx∶H减反射膜不但光学匹配性好,而且对太阳电池的表面及体钝化效果最优。
【作者单位】：
【基金】：
【分类号】：TM914.4
欢迎：、、)
支持CAJ、PDF文件格式，仅支持PDF格式
【参考文献】
中国期刊全文数据库
王晓泉,汪雷,席珍强,徐进,崔灿,杨德仁;[J];太阳能学报;2004年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库
柳聪;蒋亚东;黎威志;;[J];半导体光电;2012年01期
杨集;冯士维;王承栋;张跃宗;李瑛;孙静莹;;[J];半导体技术;2006年08期
张晓情;李沛林;王敬松;杨建红;;[J];半导体技术;2009年11期
周艺;欧衍聪;郭长春;肖斌;何文红;黄岳文;金井升;;[J];材料导报;2012年08期
韩小林;黎威志;袁凯;蒋亚东;;[J];电子器件;2010年02期
陈玉武;郝秋艳;刘彩池;王立建;孙海知;赵建国;;[J];光电子.激光;2008年10期
杜平凡;席珍强;汪新颜;金达莱;王勇;;[J];功能材料;2008年03期
周艺;欧衍聪;郭长春;肖斌;何文红;胡旭尧;;[J];材料科学与工程学报;2012年06期
任现坤;马玉英;张黎明;刘鹏;姜言森;程亮;徐振华;贾河顺;张春艳;;[J];半导体光电;2012年06期
张磊;朱亦鸣;;[J];电子与封装;2013年05期
中国重要会议论文全文数据库
刘晓亭;陈茜;罗静;王文宇;陈皓;;[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
张檀威;黄辉;蔡世伟;黄永清;任晓敏;;[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（下册）[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库
岳之浩;[D];南京航空航天大学;2013年
董文静;[D];中国科学院研究生院（上海技术物理研究所）;2014年
中国硕士学位论文全文数据库
张瑞丽;[D];浙江理工大学;2010年
吴江宏;[D];五邑大学;2010年
高峰;[D];武汉理工大学;2010年
祝婕;[D];电子科技大学;2011年
万水成;[D];南京航空航天大学;2010年
沈洲;[D];南京航空航天大学;2011年
刘洋;[D];东北大学;2009年
张新安;[D];河南大学;2005年
杜忠明;[D];云南师范大学;2006年
谢振宇;[D];电子科技大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库
谷锦华,卢景霄,李维强;[J];郑州大学学报(理学版);2003年02期
田家维;;[J];家电检修技术;2004年10期
江小涛,吴麟章,王远,周明杰,刘辉,罗雪莲;[J];武汉科技学院学报;2005年08期
申兰先;陈庭金;刘祖明;张鹤仙;夏朝凤;;[J];云南师范大学学报(自然科学版);2006年05期
卢景霄;张宇翔;王海燕;靳锐敏;张丽伟;陈永生;郜小勇;杨仕娥;;[J];太阳能学报;2006年05期
查珺;程晓舫;丁金磊;翟载腾;茆美琴;;[J];太阳能学报;2007年09期
张亚萍;杨云霞;郑建华;丁丽华;花巍;陈国荣;;[J];硅酸盐学报;2008年07期
徐晓冰;王建平;张崇巍;;[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2009年02期
徐晓冰;王建平;张崇巍;;[J];电源技术;2009年06期
沈文忠;;[J];自然杂志;2010年03期
中国重要会议论文全文数据库
陈鸣波;施文藻;;[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
闻立时;黄荣芳;;[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
;[A];QCC—开发潜能 和谐提升——2010年度电子信息行业优秀质量管理小组成果、质量信得过班组经验专集[C];2010年
Jerry CSOjan AGretchen AKevin AFrank F;[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
刘永生;杨文华;朱艳燕;陈静;陈东生;杨正龙;杨金焕;;[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代[C];2008年
袁育杰;张建军;侯国付;薛俊明;曹丽冉;赵颖;耿新华;;[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代[C];2008年
耿新华;侯国付;张晓丹;韩晓艳;郭群超;高艳涛;薛俊明;魏长春;孙建;陈新亮;张德坤;赵颖;;[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代[C];2008年
赵恒利;涂洁磊;姚丽;李雷;李光明;何京鸿;张树明;;[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库
刘其丕 李晓飞;[N];中国有色金属报;2003年
海霞;[N];中国经济导报;2008年
祝蕾　通讯员
陈波;[N];济南日报;2011年
VIVIAN;[N];电脑报;2013年
本报记者　 吴琼;[N];上海证券报;2006年
赵越;[N];南方日报;2011年
中国博士学位论文全文数据库
刘杰;[D];兰州大学;2012年
杨文继;[D];湖南大学;2013年
岳之浩;[D];南京航空航天大学;2013年
韩新月;[D];天津大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库
丁骁;[D];华中科技大学;2011年
任益超;[D];华东理工大学;2012年
刘霄;[D];上海交通大学;2013年
王鑫;[D];内蒙古大学;2014年
周哲辉;[D];南昌大学;2014年
朱永祥;[D];国防科学技术大学;2003年
李丹;[D];浙江大学;2013年
和江变;[D];内蒙古大学;2013年
王涛;[D];国防科学技术大学;2006年
孙振华;[D];浙江大学;2008年
&快捷付款方式
&订购知网充值卡
400-819-9993}