【图文】测试技术基础第六章_振动的测试_百度文库
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测试技术基础第六章_振动的测试
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你可能喜欢压电蜂鸣器的工作频率和谐振频率有啥关系？可以用谐振频率2300hz的蜂鸣器发出超声波（20khz以上）么？ - 知乎6被浏览<strong class="NumberBoard-itemValue" title="分享邀请回答0添加评论分享收藏感谢收起2添加评论分享收藏感谢收起写回答扫二维码下载作业帮
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压电陶瓷特性及振动的干涉测量⒈ 压电陶瓷伸缩量大小与条纹移动级数有何关系?⒉ 压电陶瓷在不同频率驱动电压下振幅是否相同?
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1 压电陶瓷的伸缩量的大小与条文的移动级数和其自身的固有震动频率有关,其自身的固有震动频率和其自身的外形尺寸有关.2 压电陶瓷在不同的频率电压的驱动下振幅是不同的,驱动电压的频率越接近其自身固有的震动频率压电陶瓷的振幅越大.人们就是利用这样的特性,来测定一个压电陶瓷的自身震动频率的.
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压电陶瓷产品目录
V2版应用目录半导体与IC、LCD 与平板显示 （测试制造、 检验）晶圆步进 掩模精调 航空航天 成像处理生物技术 生命科学 医疗技术 电生理学天文学技术 适应光学技术 主动科学 外太空观测 二次镜角度控制显微科学 样品定位 装调和聚焦 扫描显微 扫描干涉 自聚焦系统 表面结构分析计量、干涉测量 主动抑振 激光系统 光学检测系统 电子束环境下的对准 纳米定位数据存储技术 硬盘/光盘驱动 测试系统微制造 微系统 空间内的操作及装配 微测试 机器人光电子 光纤光学器件对准 及MEMS对准 光电子封装 光电子精密定位 电磁通讯 集成光学纳米技术 光纤与光纤阵列对准 电信:光纤熔接中的精 对准,谐振腔微调 光刻技术,自适应光学 激光角度控制及波动抑制 成像系统1XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0产品目录页码5-9 叠堆压电陶瓷系列页码10-16 机械封装式压电陶瓷系列页码17-20 机构放大式压电致动器系列页码21-36 纳米级精密定位平移台系列页码37 压电物镜驱动器页码38-43 纳米级精密定位压电偏转台系列页码44-63 压电陶瓷驱动电源/控制器系列页码64-65 LVDT测微仪系列代理进口产品定制及其他页码66-69页码70-800 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT2芯明天科技有限公司是专业从事纳米量级定位、移动和测量控制等产品开发、生产和销售的高科技企业，我们从2004年便积极投身于 民族纳米自动化产业的大潮中，为使我国纳米自动化产业早日走向世界舞台，贡献着自己的智慧、热忱与执着。 芯明天科技有限公司的发展，从开始在哈尔滨工业大学的项目研究到现在多个系列定型产品的产业化，有着12年的发展历程。我们与 哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系，按照科研与产业化相结合的道路持续发展。公司拥有雄厚的技术储备和研发制造 能力，并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。 芯明天科技有限公司技术的发展，正在不断地向德国PI这些纳米自动化领域世界上一流的公司学习，学习他们优秀的设计思想和先进 的技术。我们目前实现产业化的定型产品有系列化OEM式压电微位移致动器（压电陶瓷）、机械封装式压电微位移致动器（封装式压电 陶瓷）、1至6维模块化纳米定位微动台、压电陶瓷与微动台模块化驱动电源和闭环控制系统、高精度LVDT测微仪、多轴步进/伺服电机运 动控制卡等多个系列的自主研发产品。我们的纳米运动与测量控制方面的产品广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、医疗 设备、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司；我们同德国PIEZOMECHANIK、丹麦NOLIAC、美国INSITUTEC等多个专 业从事纳米自动化的国际知名公司有着多年的密切合作关系，是这些公司中国地区正式授权的代理商。我们自主研发的系列化产品与代理 的产品都是纳米自动化领域的核心技术，也就是纳米运动与测量控制领域的核心技术。纳米自动化是推动尖端制造、尖端工业、尖端军事 、尖端生物、尖端医疗、尖端光学等行业向着更尖端的核心技术发展，纳米自动化将会开启神秘的微观世界，让我们更深入和全面的了解 我们用眼睛无法直接看到，用双手无法直接操控的微观世界。 把我们的成绩放在明天，这是芯明天文化的浓缩。明天的路很长，明天的路上会有很多困难，也会有很多挑战，但明天注定是美好 的！发展、振兴民族纳米自动化是芯明天的事业，也是每一个芯明天人的责任。为此，所有芯明天人正在不断学习、加快吸收国内外先进 科学技术、知识和卓越的管理经验，为民族纳米自动化事业的明天，为芯明天的明天，也为自己的明天，努力工作、集体奋斗。我们的明 天一定是最美好的明天！ 代理品牌：3XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0历史客户哈尔滨工业大学机器人技术国家重点实验室 哈尔滨工业大学土木工程学院 哈尔滨工业大学材料学院 哈尔滨工业大学航天学院 哈尔滨工业大学深圳研究生院 哈尔滨工业大学光电研究所 哈尔滨工业大学机械电子系 哈尔滨工业大学精密仪器系 哈尔滨工业大学电子工程技术研究所 哈尔滨工业大学电机控制实验室 清华大学摩擦学国家重点实验室 清华大学物理系 清华大学机械系 清华大学精仪系 清华大学材料学院 清华大学电子工程系 清华大学材料科学与工程系 北京航空航天大学 北京航空航天大学自动化学院 北京航空航天大学机械学院 北京航空航天大学机器人研究所 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津大学精密仪器系 天津大学力学系 天津大学物理系 天津大学内燃机 上海交通大学振动冲击噪声国家重点实验室 上海交通大学工程力学系 中国科学院国家天文台 军械工程学院 南京航空航天大学 北京大学 上海交通大学车身制造研究中心 上海交通大学光纤所 上海交通大学机械与动力学院 上海交通大学光学工程研究所 浙江大学玉泉校区热能工程研究所 浙江大学力学系 浙江大学信息科学与工程学院 浙江大学流体传动及控制国家重点实验室 浙江大学光电信息学院 浙江大学精密测量实验室 浙江大学电气学院 浙江大学机能学院精密测量研究室 华中科技大学 华中科技大学控制科学与工程 华中科技大学微系统研究中心 华中科技大学激光学院 华中科技大学电子科学与技术系 华中科技大学机械学院仪器系 华中科技大学光电子工程系 西安交通大学生物工程学院 西安交通大学机械工程学院 西安交通大学激光红外研究所 西安交通大学先进制造所 西北工业大学 西北工业大学机电学院 西北工业大学生命科学院 西北工业大学航天学院 中科院武汉分院物理与数字所 中国电子科技集团第23所 中船重工703研究所 厦门大学 中国科学院化学研究所 中科院西安光机所 中科院安徽光机所 中科院长春光机所 中科院上海光机所 中科院北京半导体研究所 中科院云南天文台光电实验室 中科院金属研究所 中科院等离子物理研究所 中科院物理所 中科院物理与数学研究所 中科院高能物理研究所 中科院武汉力学所 中科院天文光学技术研究所 中科院电工所 北京中科院微细加工中心 中科院沈阳自动化所 中国计量院 沈阳建筑大学 沈阳理工大学 大连理工大学微系统中心 浙江师范大学 中国科学技术大学 光电中心 山东大学 国防科技大学 重庆大学 南开大学 军事卫生装备所 哈尔滨工程大学 中国科学院空间中心 西南技术物理研究所 南京大学 中国科学院半导体所0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT4压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列低压叠堆压电陶瓷-推荐型号6+0.2 4.5+0.2 6+0.2 4.5+0.2特点低压驱动 超长的使用寿命 刚度大 亚毫秒的响应速度 亚纳米的分辨率14+0.2 10-0.2应用光学 成像 激光调准 精密机械 聚焦显微 微定位18±0.18.2±0.218±0.15.5±0.2XP 6×6/18XP 4.5×4.5/18技术参数型号 XP 6×6/18 XP 4.5×4.5/18 XP 6×6/20 XP 3×4/9 XHP 150/14-10/12 外形尺寸 [mm]±0.1 6×6×18 4.5×4.5×18 6×6×20 3×4×9 OD/ID：14/10 最大位移 [μm]±10% 24 24 20 13 16 标称位移 [μm]±10% 18 18 18 9 12 静电容量 [μF]±20% 1.8 0.8 1.4 0.17 2.7 刚度 [N/μm] ±10% 70 30 49 25 270 响应频率 [kHz] 45 50 69 100 65 标称推力 [N] 0 200 4000标称位移是在0~150V驱动电压下的位移，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V驱动电压下使用。压电陶瓷XP 6×6/18 驱动电压与输出位移测试曲线图 20 18 16 输出位移S（um ） 14 12 10 8 6 4 2 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150驱动电压V（v）XP 6×6/18电压与位移曲线 压电陶瓷材料特性：D31：-290picometer/Volt D33：+635picometer/Volt 相对介电常数Rel.dielectric constantε：5400 居里温度Curie temperature ℃：150℃ 密度Density：8g/cm 3 弹性柔顺常数S33 ：18×10-12m2/N12±0.1XHP 150/14-10/12XP 6×6/18蠕变曲线 其他使用参数：使用温度：-50~80℃ 居里温度：150℃ 空载满幅值最大使用频率：123Hz5XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0低压叠堆压电陶瓷（进口）方形叠堆压电陶瓷纳 米a b压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 定 位 纳 偏 转 台 系 列 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品特点0~150V低压驱动 使用温度范围宽 亚毫秒的响应时间应用精密机械、机械工程 生命科学、制药工程、生物工程 纳米定位、快速旋转 度量衡、干涉计 主动、适应光学 气控、液控阀L≈3技术参数方形叠堆压电陶瓷 PSt 150/2×3/5 PSt 150/2×3/7 PSt 150/2×3/20 PSt 150/3.5×3.5/7 PSt 150/3.5×3.5/20 PSt 150/5×5/7 PSt 150/5×5/20 PSt 150/7×7/7 PSt 150/7×7/20 PSt 150/10×10/7 PSt 150/10×10/20 PSt 150/14×14/20 外形尺寸 a×b×L[mm] 2×3×5 2×3×9 2×3×18 3.5×3.5×9 3.5×3.5×18 5×5×9 5×5×18 7×7×9 7×7×18 10×10×9 10×10×18 14×14×18 最大/标称位移 [?m]* 6.5/5 13/9 28/20 13/9 28/20 13/9 28/20 13/9 28/20 13/9 28/20 28/20 静电容量 [μF] 0.07 0.17 0.34 0.35 0.8 0.8 1.8 1.8 3.6 3.6 7.2 14.5 刚度 [N/?m] 45 25 12 50 25 120 60 240 120 500 250 500 响应频率 [kHz] 150 100 50 100 50 100 50 100 50 100 50 47 最大推力 [N] 300 300 300 800 800 00 00 15000 最大负载 [N] 300 300 300 800 800 00 00 16000高 精 度 测 代 理 进 口 定 制 及 其 他环形叠堆压电陶瓷特点多种外径尺寸可供选择 亚纳米的分辨率 亚毫秒的响应时间应用光学 光学调整 精密机械 成像 精密定位 聚焦显微技术参数环形叠堆压电陶瓷 HPSt 150/14-10/12 HPSt 150/14-10/25 HPSt 150/20-15/12 HPSt 150/20-15/25 HPSt 150/20-15/35 HPSt 150/20-15/55 外径×内径 [mm] 14×10 14×10 20×15 20×15 20×15 20×15 长度 [mm] 13.5 27 13.5 27 40.5 54最大/标称位移 [?m]* 16/12 32/25 16/12 32/25 50/37 70/55静电容量 [μF] 2.6 5.2 5 10 15 20刚度 [N/?m] 250 120 450 230 150 100响应频率 [kHz] 75 22 75 22 15 10最大推力 [N] 00 00最大负载 [N] 000
11000* 标称位移是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT6
高压叠堆压电陶瓷（进口）高压叠堆柱形压电陶瓷 特点操作温度最高可达150℃ 负载能力高达70000N 超长的动态寿命＞109运动周期 亚纳米的分辨率 亚毫秒的响应时间纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口压 电 陶 瓷 系 列应用纳米定位 主动振动控制 大负载定位 半导体加工与测试 光学调整平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品技术参数高压压电陶瓷 长度 最大 / 标称位移 [?m]* 静电容量 [nF] 刚度 [N/?m] 响应频率 [kHz] 最大推力 [N] 最大负载 [N][mm]600 800 18 24/18 12 35 40 PSt
600 800 27 35/25 22 25 30 PSt
600 800 36 55/40 27 15 25 PSt
24/18 45 150 40 PSt
55/40 110 75 25 PSt
18 25/17 150 400 40 PSt
54 80/60 540 120 20 PSt
18 25/17 350 900 40 PSt
36 55/40 800 450 25 PSt
18 25/17 800 2000 40 PSt
* 标称位移是在0~1000V的驱动电压下的位移行程，最大位移对应的电压驱动范围-200V~1000V，建议在0~1000V标称驱动电压下使用。定 制 及 其 他高压叠堆环形压电陶瓷 特点透空压电陶瓷适合光传递的应用 最大外径可达35mm 各种形状可供选择 超长的动态寿命＞109运动周期 亚纳米的分辨率，亚毫秒的响应时间 真空兼容、无磁类型应用光学 成像 光学调整 精密机械 聚焦显微 精密定位技术参数高压环型压电陶瓷 HPSt /15 HPSt /25 HPSt /40 HPSt /15 HPSt /25 HPSt /40 HPSt /15 HPSt /25 HPSt /40 HPSt /5 HPSt /15 HPSt /25 长度 [mm] 18 27 36 18 27 36 18 27 36 9 18 27 最大 / 标称位移 [?m]* 25/17 35/25 55/40 25/17 35/25 55/40 25/17 35/25 55/40 12/7 25/17 35/25 静电容量 [nF] 40 65 90 90 130 180 210 310 420 120 300 450 刚度 [N/?m] 110 75 55 300 200 150 600 400 300 0 响应频率 [kHz] 35 25 20 35 25 20 35 25 20 50 35 最大推力 [N] 00 00
最大负载 [N] 00 00
500 20 20000 HPSt /40 55/40 * 标称位移是在0~1000V的驱动电压下的位移行程，最大位移对应的电压驱动范围-200V~1000V，建议在0~1000V标称驱动电压下使用。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT8压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列其他压电陶瓷产品压电陶瓷纤维片技术参数型号 致动长度 [mm] 致动宽度 [mm] 整体长度 [mm] 整体宽度 [mm] 静电容量 [nF] 位移 [ppm] 出力 [N]P1?Types (0° 纤维方向 ) M- M- M- M-1 F1?Types (45° 纤维方向 ) M-8528-F1 M-8557-F1 M-14028-F1 M-43015-F1P2/P3(d 31 效应致动器)驱动电压-500V to 1500V3 7 57 3 28 57 28 15 14 28 14 2846 40 103 160 112 112 175 460 37 106 36 7010 18 64 10 43 75 40 23 18 34 16 340.25 0.33 9.30 1.45 6.30 12.70 8.00 10.7 25.7 172.0 29.5 121.700 50
-700 -820 -750 -90028 87 923 28 485 calc. 945 calc. 485 calc. 253 calc. -85 -205 -110 -265驱动电压-500V to 1500V85 85 140 430 28 85 28 56驱动电压-60V to 350VM-2814-P2 M-8528-P2 M-2814-P3 M-5628-P3定制叠堆压电陶瓷压电陶瓷粉末/片/管9XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0机械封装式压电陶瓷-推荐型号机械封装式压电陶瓷?12 ?5 M3x 4 4±0.5 SW 4mm 3 7±0.5 2 ?12 ?5 M4 SW 4mm 5±0.5 ?12 ?5 SR1.5 4±0.5米 定 位球头式 平头式压 电 陶 瓷 系 列 纳 平 移 台 系 列 米 定 位 纳 偏 转 台 系 列 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品?12 ?5L外螺纹式三种转接方式3VS12系列机械尺寸图SW 10mm M4 x 4技术参数最大/标称行程 [?m]±5%* 18/16 36/32 54/48 72/64 90/80 极限分辨率 [nm]** 0.05 0.1 0.2 0.3 0.4 刚度 [N/?m]±20% 70 35 25 18 15 标称推力 [N] 00
最大/标称拉力 静电容量 [N] [μF]±20% 300/150 300/150 300/150 300/150 300/150 1.8 3.6 5.4 7.2 9.2 谐振频率(空载) 长度L[mm] [kHz]±20% ±0.3 30 20 15 12 10 28 46 64 82 100型号 20 VS12 40 VS12 60 VS12 80 VS12 100 VS12代 理 进 口 定 制 及 其 他环形机械封装式压电陶瓷?15 ?8 8 M12X0.56M12X0.5 ?7.5 5.5±0.5 4L64XM2 x 4 EQS?15M12X0.5 ?225SW 20mm技术参数最大/标称行程 [?m]±5%* 14/10 28/21 44/31 刚度 [N/?m]±20% 270 130 75 标称推力/拉力 [N] 0/200
静电容量 [μF]±20% 2.6 5.2 7.8 谐振频率(空载) [kHz]±20% 25 15 12 长度L[mm] ±0.3 31 44 58型号 XHP 150/14-10/12 VS22 XHP 150/14-10/25 VS22 XHP 150/14-10/40 VS22* 标称开环行程是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。 闭环陶瓷的线性度为0.15%，如配套使用我公司XE-500/501模块化闭环控制器线性度优于0.1%。 ** 分辨率主要取决于压电陶瓷控制器的性能；用我公司XE-500/501系列控制器，选用24位的主控模块，分辨率优于满行程的十万分 之一。选用16位的主控模块，分辨率优于满行程的三万分之一。 备注：以上封装式压电陶瓷的驱动与控制推荐选用我公司XE-500/501系列模块化控制器，该控制器为模块化设计，有着极大的灵活性， 型号齐全、可升级、可扩展。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT10压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列低压机械封装式压电陶瓷（进口）特点多种外径尺寸可供选择 亚纳米的分辨率 亚毫秒的响应时间、真空兼容应用精密机械和机械工程 纳米定位、高速扫描 主动和适应光学 减震 气动及液控阀 计量、干涉 生命科技、医药、生物科技VS9系列低压机械封装式压电陶瓷?9 ?3 M2 x 3 3±0.5 4±0.5 ?10 ?4 M3 x 4L3LSW 10mmM3 x 43SW 10mmM3 x 4VS9系列机械尺寸图VS10系列机械尺寸图技术参数型号PSt 150/4/7 VS9 PSt 150/4/20 VS9 PSt 150/4/40 VS9 PSt 150/4/60 VS9最大/标称行程 [?m]±10%*13/9 27/20 55/40 80/60刚度 [N/μm]25 12 6 4标称推力/拉力 [N]300/40 300/40 300/40 300/40静电容量 [nF]170 340 700 1000谐振频率 [kHz] 40 30 20 12长度L [mm]±0.319 28 46 64VS10系列低压机械封装式压电陶瓷 技术参数型号PSt 150/5/7 VS10 PSt 150/5/20 VS10 PSt 150/5/40 VS10 PSt 150/5/60 VS10 PSt 150/5/80 VS10 PSt 150/5/100 VS10最大/标称行程 [?m]±10%*13/9 27/20 55/40 80/60 105/80 130/100刚度 [N/μm]50 25 12 8 6 5标称推力/拉力 [N]800/150 800/150 800/150 800/150 800/150 800/150静电容量 [nF]350 800 00 4000谐振频率 [kHz] 40 30 20 15 12 10长度L [mm]±0.319 28 46 64 82 100* 标称开环行程是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。 闭环陶瓷的线性度为0.15%，如配套使用我公司XE-500/501模块化闭环控制器线性度优于0.1%。 ** 分辨率主要取决于压电陶瓷控制器的性能；用我公司XE-500/501系列控制器，选用24位的主控模块，分辨率优于满行程的十万分 之一。选用16位的主控模块，分辨率优于满行程的三万分之一。 备注：以上封装式压电陶瓷的驱动与控制推荐选用我公司XE-500/501系列模块化控制器，该控制器为模块化设计，有着极大的灵活性， 型号齐全、可升级、可扩展。11XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0VS12系列低压机械封装式压电陶瓷?12 ?5 M3x4 4±0.5 SW 4mm 3?12 ?5 M4 7±0.5 2 SW 4mm 5±0.5 ?12 ?5 SR1.5 ?12 ?5压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 动 电 源 系 列 微 仪 系 列4±0.5L外螺纹式3SW 10mm M4 x 4球头式 三种转接方式平头式VS12系列机械尺寸图技术参数型号PSt 150/7/7 VS12 PSt 150/7/20 VS12 PSt 150/7/40 VS12 PSt 150/7/60 VS12 PSt 150/7/80 VS12 PSt 150/7/100 VS12 PSt 150/7/120 VS12 PSt 150/7/140 VS12 PSt 150/7/160 VS12最大/标称行程 [?m]±10%*13/9 27/20 55/40 80/60 105/80 130/100 160/120 190/140 210/160刚度 [N/μm]120 60 25 15 12 10 8 7 6标称推力/拉力 [N]0/300 0/300 0/300 0/300 静电容量 [μF]0.7 1.8 3.6 5.4 7.2 9 11 13 15谐振频率(空载) [kHz]40 30 20 15 12 10 8 6 5长度L [mm]±0.319 28 46 64 82 100 118 136 154VS15系列低压机械封装式压电陶瓷?15 ?6 M4x4 4±0.5 SW 5mm 3 7±0.5 2 ?15 ?6 M4 SW 5mm 5±0.5 ?15 ?6 SR2 4±0.5 ?15 ?6L外螺纹式球头式 三种转接方式平头式VS15系列封装陶瓷M4 x 4SW 13mm技术参数型号PSt 150/10/20 VS15 PSt 150/10/40 VS15 PSt 150/10/60 VS15 PSt 150/10/80 VS15 PSt 150/10/100 VS15 PSt 150/10/120 VS15 PSt 150/10/140 VS15 PSt 150/10/160 VS15 PSt 150/10/180 VS15 PSt 150/10/200 VS153最大/标称行程 [?m]±10%*27/20 55/40 80/60 105/80 130/100 160/120 190/140 210/160 240/180 270/200刚度 [N/μm]120 60 35 25 20 15 14 13 11 10标称推力/拉力 [N]0/400 0/400 0/400 0/400 0/400静电容量 [μF]3.6 7.2 11 14 18 21 25 28 33 37谐振频率 [kHz] 30 20 14 12 10 8 7 6 5 4长度L [mm]±0.328 46 64 82 100 118 136 154 172 190* 标称开环行程是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。 闭环陶瓷的线性度为0.15%，如配套使用我公司XE-500/501模块化闭环控制器线性度优于0.1%。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT12压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列VS20系列低压机械封装式压电陶瓷?20 ?8 M5x8 4±0.5 SW 6mm 3 8±0.5 ?20 ?8 M5 SW 6mm 3 6±0.5 ?20 ?8 SR3 4±0.5 ?20 ?8L外螺纹式球头式 三种转接方式平头式5VS20系列封装陶瓷M8x7技术参数型号PSt 150/14/20 VS20 PSt 150/14/40 VS20 PSt 150/14/60 VS20 PSt 150/14/80 VS20 PSt 150/14/100 VS20 PSt 150/14/120 VS20 PSt 150/14/140 VS20 PSt 150/14/160 VS20 PSt 150/14/180 VS20 PSt 150/14/200 VS20SW 17mm最大/标称行程 [?m]±10%*27/20 55/40 80/60 105/80 130/100 160/120 190/140 210/160 240/180 270/200刚度 [N/μm]250 120 70 50 40 35 30 25 22 20标称推力/拉力 [N]00/00 00/00 00/00 静电容量 [μF]7 14 22 30 39 47 55 63 71 80谐振频率 [kHz] 30 20 14 12 10 8 7 6 5 4长度L [mm]±0.335 53 71 89 107 125 143 161 179 197VS25系列低压机械封装式压电陶瓷?25 ?10 M6x6 4±0.5 SW 6mm 3L5SW 22mmM8x 7技术参数型号PSt 150/20/18 VS25 PSt 150/20/36 VS25 PSt 150/20/54 VS25 PSt 150/20/72 VS25 PSt 150/20/90 VS25 PSt 150/20/110 VS25 PSt 150/20/130 VS25 PSt 150/20/150 VS25 PSt 150/20/170 VS25 PSt 150/20/190 VS25 *VS25系列机械尺寸图最大/标称行程 [?m]±10%*25/18 50/36 75/54 95/72 120/90 150/110 175/130 200/150 230/170 250/190刚度 [N/μm]500 250 160 100 80 65 55 50 45 40标称推力/拉力 [N]
静电容量 [μF]11 22 33 44 55 66 77 88 100 110谐振频率 [kHz] 28 18 13 11 9 7 6 5 4 3长度L [mm]±0.337 57 77 97 117 137 157 177 197 217标称开环行程是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。 闭环陶瓷的线性度为0.15%，如配套使用我公司XE-500/501模块化闭环控制器线性度优于0.1%。13XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0低压环形机械封装式压电陶瓷(进口)纳压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 米 定 位 纳 米 定 位?25 ?15特点多种外径尺寸可供选择 亚纳米的分辨率 亚毫秒的响应时间 真空兼容应用光学 光学调整 精密机械 成像 精密定位 聚焦显微偏 转 台 系 列 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 动 电 源 系 列 微 仪 系 列?15 ?9 8 6 M12×0.5 M12×0.5 ?9 5.5±0.5 412 M22×0.7510M22×0.75 ?14 8±0.5 5L 6 4×M2x4 EQS?15 M12×0.5 ?22 5 SW 20mmL 6 4×M3x5 EQS?28 M22×0.75 ?35 5 SW 32mm低压环形机械封装式压电陶瓷 技术参数型号 HPSt 150/14-10/12 VS22 HPSt 150/14-10/25 VS22 HPSt 150/14-10/40 VS22 HPSt 150/14-10/55 VS22 HPSt 150/20-15/12 VS35 HPSt 150/20-15/25 VS35 HPSt 150/20-15/40 VS35 HPSt 150/20-15/55 VS35最大/标称行程 [?m]±10%*16/12 32/25 50/37 70/50 16/12 32/25 50/37 70/50长度L [mm] 31 44 58 71 31 44 58 71静电容量 [μF] 2.6 5.2 7.8 11 5 10 15 20刚度 [N/?m] 250 120 70 50 450 230 150 100谐振频率 [kHz]最大负载 [N] 00
11000最大推力/拉力 [N] 0/400 0/400 0/700 0/70030 20 17 15 30 20 17 15* 标称开环行程是在0~150V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-30V~150V；建议在0~150V标称驱动电压下使用。 闭环陶瓷的线性度为0.15%，如配套使用我公司XE-500/501模块化闭环控制器线性度优于0.1%。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT14压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列高压机械封装式压电陶瓷（进口）高压机械封装式压电陶瓷 特点最大标称行程为200μm 高负载能力可达70000N 亚纳米的分辨率 亚毫秒的响应时间应用纳米定位 精密加工 主动振动控制 精密机械 开关 半导体加工测试技术参数型号 PSt
VS45最大/标称行程 [?m]±10%*25/17 55/40 130/100 25/17 55/40 130/100 12/7 55/40 105/80 12/7 55/40 130/100 260/200长度L [mm] 33 51 105 35 53 107 33 60 96 33 60 114 194静电容量 [nF] 45 110 270 150 360 900 140 800 0 刚度 [N/?m] 150 75 30 400 200 75
0 150谐振频率 [kHz] 35 27 15 35 30 20 40 30 23 37 38 18 4最大负载 [N] 00
最大推力/拉力 [N] 0/700 00//////////6000高压环形机械封装式压电陶瓷 特点透空压电陶瓷适合光传递的应用 超长的动态寿命＞109运动周期 亚纳米的分辨率，亚毫秒的响应时间 真空兼容应用光学 光学调整 聚焦显微 成像 精密机械 精密定位技术参数型号 HPSt /25 VS18 HPSt /60 VS18 HPSt /25 VS22 HPSt /40 VS22 HPSt /7 VS35 HPSt /15 VS35 HPSt /25 VS35 HPSt /40 VS35 HPSt /7 VS45 HPSt /15 VS45 HPSt /25 VS45 HPSt /40 VS45 HPSt /60 VS45 HPSt /80 VS45 *最大/标称行程 [?m]±10%*35/25 80/60 35/25 55/40 13/8 25/17 35/25 55/40 12/70 25/17 35/25 55/40 80/60 105/80长度L [mm] 42 69 44 53 26 35 44 53 26 35 44 53 71 89静电容量 [nF] 65 140 130 180 85 210 310 420 120 300 450 600 900 1300刚度 [N/?m] 75 35 200 150
300 0 500 350 250谐振频率 [kHz] 22 17 22 17 40 30 25 25 40 30 25 20 15 12最大负载 [N] 00
35000最大推力/拉力 [N] 0/200 0/400
标称开环行程是在0~1000V的驱动电压下的位移行程，最大驱动电压可在-200V~1000V；建议在0~1000V标称驱动电压下使用。15XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0外螺纹机械封装式压电陶瓷（PZT）纳压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱M3x 4 ?5 3 ?5 SW 4mmL 20 3 4±0.5 ?5 R1.5 SW12 ?13 M14X1 1 SW184±0.5偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品特点最大预载力(最大拉力)：400N 最大可加载(负载)：3000N 绝对最大驱动电压：-30～180V (建议在额定0～150V范围内使用)7±0.54±0.5M4 ?5 2 SW 4mm高 精 度 测 代 理 进 口 定 制 及 其 他外螺纹式平头式内螺纹式tilt range fix holder coarse adjust by fine pitch threadpiezo cartridge reset spring tilt plate bearing技术参数型号FPSt150/7/20 M14 FPSt150/7/40 M14 FPSt150/7/60 M14 FPSt150/7/80 M14 FPSt150/7/100 M14 FPSt150/7/120 M14最大/标称位移[?m] 27/20 60/40 80/60 105/80 130/100 160/120长度L [mm] 28 46 64 82 100 118静电容量[μF] 1.8 3.6 5.4 7.2 9 110 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT16压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XAPA机构放大致动器D M2.5 2处 F E A B G H C单位：mm参 数 型 号A 27.2 26.9 52.8 52.9 53.2 48.7 49BCD 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00E 5.00 5.00 2.50 2.50 2.50 5.00 5.00F 12 +0.5 -1 12 +0.5 -1 8 +1 -0.5 8 +1 -0.5 8 +1 -0.5 12 +0.5 -1 12 +0.5 -1G 1.95 1.85 3.3 3.85 2.1 2 2H 8.2 8.2 9.2 9.2 9.2 7 6.2特点大刚度 纳米级分辨率 重复性高 稳定性好 简便安装XAPA40M XAPA60M XAPA100M XAPA150M XAPA200M XAPA400M XAPA900M15.00±0.1 10.00 13.00±0.1 10.00 25.00±0.1 22.00±0.1 17.00±0.1 5.00 5.00 5.0013.00±0.1 10.00 11.40±0.1 10.00技术参数参 数 型 号 XAPA40M XAPA60M XAPA100M XAPA150M XAPA200M XAPA400M XAPA900M 最大位移/标称位移[μm] 41/40 66/60 101/100 157/150 217/200 410/400 770/750 出力[N] 157 100 150 83 53 34 13 响应频率[Hz] 00
200 响应时间[ms] 0.12 0.18 0.26 0.38 0.56 1.01 2.2917XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0XP-601 Z向机构放大致动器48 40 2-M2.5 x3 位 定 米 纳压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 纳 米 定 位 2-M2.5 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他0.54偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列62-?514 20 6 6柔性铰链导向无摩擦 行程范围可达 100μm 分辨率可达 0.1nm 高动态与高刚度 更大的行程及更快响应时间可定制 超长的使用寿命 开环/闭环可供选择 适用于精密定位、光学、医疗、生物科技等应用0.5特点2-M32-M32-M2.5 x3110.5柔性铰链导向，机构放大XP-601 Z向致动器，尺寸小 ，实现垂直位移100μm ，快速响应时间及高定位精度，响应时间仅需 要几毫秒的时间，适合动态与静态的应用。型号 运动自由度 开环行程范围(0~150V) 闭环行程范围 传感器类型 开/闭环分辨率（16位） 开/闭环分辨率（24位） 闭环线性度 重复定位精度 运动方向刚度 运动方向的推力/拉力 最大承载 静电容量 空载响应频率 工作温度 电压连接器 传感连接器 重量 材质XP-601.1SL Z 100 100 SGS 0.2/2 0.1/1 0.2 0.1 0.4 20/10 2 1.8 200 -20~80 LEMO LEMO 0.05 不锈钢XP-601.1OL Z 100 0.2/0.1/0.4 20/10 2 1.8 200 -20~80 LEMO LEMO 0.05 不锈钢0.56单位μm±10% μm±10% nm nm %F.S %F.S N/μm N kg μF±20% Hz±20% ℃g±5%0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT18压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XP-853/XP-854 机构放大压电驱动测微头特点选择不同的测微头，手动行程 范围13mm、25mm两种选择 压电驱动的行程范围可达25μm 亚纳米的分辨率(＜1nm) 压电驱动可动态高速操作XP-853/854压电驱动测微头是将标准的测微头与可产生高分辨率位移的压电陶瓷相结合，通过手动调节大范围的测微头实 现13mm、25mm等大范围的位移, 测微头的分辨率是10μm，再通过控制驱动电压使压电陶瓷相应伸长或缩短到预定位置， 从 而实现对压电陶瓷驱动测微头高分辨率的细调节，压电陶瓷行程范围可达25μm， 压电陶瓷运动的分辨率可＜1nm ，这个压电 驱动测微头可以对元件进行远距离、纳米级的精密定位。工作原理 微细电火花加工的柔性铰链放大机构把压电陶瓷的直线位移加倍放大，同时它也可以作为测微头的直线导轨，当驱动电压改变时， 它可以带动测微头前后移动，这个设计非常精巧，机械性能稳定。2.6 6 ?5 182-M2.5 42.68.5±6.512 ?5 2-M2.5 411±6.5 12 3.5 25 4.5 3125315 1011.53?5 11?2.7 18 331311.5M4 6 12728XP-853 尺寸图(配套使用13mm行程的测微头)XP-854 尺寸图(配套使用13mm行程的测微头)19XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0XP-853/XP-854 应用XP-853/854压电驱动测微头可以替代标准测微头，安装在手动调节平移台上使用，如下图所示。纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品定 制 及 其 他三维平台与XP-854技术参数型号 运动范围（测微头调节） 压电陶瓷运动范围（0~150V） 运动分辨率（压电陶瓷驱动） 测微头分辨率 运动方向的最大推/拉力 运动方向的刚度 开环/闭环静电容量 重量 电压连接器 材质 XP-853 13/25 25 ＜1 10 20/5 2 0.8/1.8 0.1 LEMO 不锈钢 XP-854 13/25 25 ＜1 10 20/5 2 0.8/1.8 0.1 LEMO 不锈钢 单位 mm μm±20% nm μm N N/μm μF kg0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT20压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列纳米级精密定位平移台系列特点分辨率最高可达0.05nm 单轴直线行程范围最大可达1mm 无摩擦、无反弹、直线运动与偏摆运动 1至6自由度模块化设计 适用于多轴精确定位 可通过闭环控制得到良好的线性度和重复定位精度 使用寿命长 完美的机械结构、伺服控制及软件，可提供更高的 振动频率 多种材料形式：Invar（因钢）、超硬铝应用纳米级测量领域 光学定位 推/拉实验系统 纳米级定位 半导体测试设备,晶片封装机 精密调节,精密加工 表层结构分析 显微镜扫描 生物技术为了更好的完成对纳米级精密定位平移台的驱动与伺服控制，推荐选用 我公司XE-500或XE-501模块化（PZT）控制器21XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0XP-62X系列纳米级精密定位平移台压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XP-62X.1SL是带电阻应变片SGS位置传感器的一维闭环纳米级精密定位平移台，XP-62X.1OL是无位置传感器的一维开环纳米级 精密定位平移台。该系列微动台是用VS12系列机械封装式压电微位移致动器驱动，通过柔性铰链连接支撑传动，实现工作台面沿X轴 方向作一维微纳米的微小移动。该系列微动台共有6个型号，位移行程从15μm至90μm，该系列微动台的设计在吸收国外先进技术与 经验的同时，又解决了采用电阻应变片式传感器SGS实现全闭环运动、高谐振频率和更大拉力三个关键技术。该系列微动台另一个独 特之处是模块化设计，该系列微动台任何一个型号的产品通过对应的连接板都可以自由组合成二维、三维的微动台产品，也可以与不 同型号不同系列的微动台组合成二维、三维、四维、五维等微动台产品。定 制 及 其 他60 50 2522 20 8-?4.5单位：mm4-M4 x8v ?7.8 x5型号尺寸A 60 78 96 114 132 150B 25 25 25 50 25 50 25 50 25 50XP-620 XP-621 XP-622 XP-623 XP-624 XP-625 B5025A3.5XP-62X系列纳米级精密定位平移台尺寸图 （更小体积开环产品可定制）0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT22压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列技术参数型号XP 620.1SL X Motion and positioning( SGS 15 0 ~+150 V 10 * * ** 0.3 1 0.05 0.02 ±1 Mechanical properties( 40 4.2 120g / 2.8 600/200 100 100 Drive properties( ) 20VS12 1.8 18 Miscellaneous( ) -20 ~80 -20 ~80 -20 ~80 -20 ~80 -20 ~80 -20 ~80 -20 ~80 °C 40VS12 3.6 18 60VS12 5.4 18 80VS12 7.2 18 100VS12 9.0 18 120VS12 10.8 18 SL SL SL ?A / (Hz.?m) ±20% ±20% ) 20 3.3 2.5 600/200 100 100 13 2.8 2.2 600/200 100 100 10 2.5 2.0 600/200 100 100 8 2.2 1.85 600/200 100 100 7 2 1.75 600/200 100 100 SL SL SL SL SL SL N/?m kHz kHz N N N ±20% ±20% ±20% 20 0.6 2 0.05 0.02 ±1 30 0.9 3 0.05 0.02 ±1 40 1.2 4 0.05 0.02 ±2 50 1.5 5 0.05 0.02 ±2 60 1.8 6 0.05 0.02 ±2 XP XP 621.1SL 622.1SL X ) SGS 30 SGS 45 SGS 60 SGS 75 SGS 90 SL SL SL ?m ?m nm nm %F.S %F.S ?rad ±20% X XP 623.1SL X XP 624.1SL X XP 625.1SL X XP 62X.1OL X 单位 公差0.150.250.350.450.550.65SL SL 1.5 LEMOkg mm m±5% ±0.1 mm ±10 mm60×60×22 78×60×22 96×60×22 114×60×22 132×60×22 150×60×22 1.5 / LEMO 1.5 LEMO 1.5 LEMO 1.5 LEMO 1.5 LEMO 1.5 LEMO推荐使用我公司“XE-500与XE-501模块化控制器”； 模块化设计，可根据客户要求自由组合成上百种产品； 独特的主控模块，可提高闭环控制及定位精度； 具有自发波形功能，无需外接控制信号，可自行发出正弦波、三角波、锯齿波、方波等波形；幅值、电压、偏移量、负载等参数均可 设置；可实时显示与检测电压或位移值…… * XP-620系列微动台采用压电陶瓷驱动和柔性铰链传动的方式实现微位移，微动台自身的分辨率是没有限制的， 分辨率取决于微动台 控制器的性能；参数表中给出的值是用我公司XE-500/501系列控制器达到的参数。 **参数表中给出的参数是用我公司XE-500/501系列控制器的数字控制功能达到的参数； 如果用外部模拟输入信号控制， 参数为0.1%F.S.23XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0多维组合系列压 电 陶 瓷 系 列特性纳 米 定 位 纳 米 定 位运动自由度：X轴、Y轴 行程范围：15μm 分辨率：0.3nm 开环/闭环 由两个一维XP-620和1块连接板组成 XP-620.2SL 连接板平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 压 电 陶 瓷 驱 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品特性运动自由度：X轴、Y轴 、Z轴 行程范围：30μm 分辨率：0.6nm 开环/闭环 由三个一维XP-621和2块连接板组成 XP-621.3SL 连接板高 精 度 测 代 理 进 口 定 制 及 其 他4-?4.2 1 4-?3.2910113-M46?261?19?13 42d c3.5 4-?7.8?2625 4-?4.2 4-?3.2 104.5?19 25 31 ?13 9-M4 25?7.8x5.5 d c 3.510ab4-?4.542 506025 50 6018-?7.8b a25 31单位：mm型号 A B C D E F a 60 78 96 114 132 150 b 50 50 50 75 50 75 100 50 75 100 125 c 25 25 25 25 75 25 75 100 d 31 49 67 85 103 121单位：mm型号 A B C D E Fa60 78 96 114 132 150b50 50 50 75 50 75 100 50 75 100 125c25 25 25 25 75 25 75 100d31 49 67 85 103 1214-?4.5 ?7.8 5.5 x25 12 b aXY轴转接板XYZ轴转接板50600 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT24压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列XP-63X系列纳米级精密定位平移台45 37 20 22 37 20M3x4 ?6.2 ?3.5 b c a11.5 运动方向 M4x5偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列单位：mm型号 尺寸 a XP-630 60 XP-631 78 XP-633 114c12.5运动台面c b 37 20 37 20 37 90 20 70技术参数型号 运动自由度 XP-630.1SLXXP-631.1SLXXP-633.1SLXXP-63X.1OLX单位公差Motion and positioning(运动与定位参数)传感器类型 开环行程范围 ~150V） （0 闭环行程范围 开环分辨率 闭环分辨率 闭环位移线性度 闭环重复定位精度 运动面偏摆程度SGS 15 15 0.5 1 0.05 0.02 ±1SGS 30 30 1 2 0.05 0.02 ±1SGS 60 60 2 4 0.05 0.02 ±2与 SL相同 与 SL相同 与 SL相同 μm μm nm nm %F.S %F.S μrad ±20% 标定值 典型 典型 典型 典型 典型Mechanical properties(机械性能)运动方向的刚度 空载响应频率120g负载后响应频率40 4.2 2.8 600/100 50 5020 3.3 2.5 600/100 50 5010 2.5 2.0 600/100 50 50与 SL相同 与 SL相同 与 SL相同 600/100 50 50N/μm kHz kHz N N N±20% ±20% ±20% 最小 最小 最大运动方向的推/拉力 承载能力 侧向力Drive properties(驱动性能)静电容量Miscellaneous(其他)1.83.67.2与 SL相同μF±20%工作温度 材质 重量 线长 传感器/电压连接器 出线方式-20~80 超硬铝 0.15 1.5 LEMO 侧出线-20~80 超硬铝 0.25 1.5 LEMO 侧出线-20~80 超硬铝 0.45 1.5 LEMO 侧出线-20~80 超硬铝 与 SL相同 1.5 LEMO 侧出线°C ±5% ±10 mmkg m推荐使用我公司“XE-500与XE-501模块化控制器”； 模块化设计，可根据客户要求自由组合成上百种产品； 独特的主控模块，可提高闭环控制及定位精度； 具有自发波形功能，无需外接控制信号，可自行发出正弦波、三角波、锯齿波、方波等波形；幅值、电压、偏移量、负载等参数均可 设置；可实时显示与检测电压或位移值……25XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0XP-610X/Z纳米级精密定位平移台4-M3x5压 电 陶 瓷 系 列 纳 平 移 台 系 列 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品25 5 15 25 4-M3x5 15 25 运动方向 15 25 4-M3x5 12.535 15 15 4-M3x525技术参数型号运动自由度 XP-610.1SL X/Z XP-610.1OL X/Z 单位 公差3512.5代 理 进 口 定 制 及 其 他Motion and positioning(运动与定位参数) 传感器类型 开环行程范围 （0 ~+150 V） 闭环行程范围 开环分辨率 闭环分辨率 闭环重复定位精度 运动面偏摆程度 Mechanical properties(机械性能) 运动方向的刚度 空载响应频率 运动方向的推力/拉力 承载能力 侧向力 Drive properties(驱动性能) 静电容量 Miscellaneous(其它) 工作温度 材质 重量 线长 传感器/电压连接器 出线方式 -20 ~80 超硬铝 90 1.5 LEMO 侧出线 -20 ~80 超硬铝 90 1.5 LEMO 侧出线 g m ±5% ±10 mm °C 1.8 1.8 μF ±20% 40 2 600/80 50 50 40 2 600/80 50 50 N/μm kHz N N N ±20% ±20% 最小 最小 最大 SGS 15 10 0.3 1 0.05 ±1 15 0.3 ±1 μm μm nm nm %F.S μrad ±20% 标定值 典型 典型 典型 典型0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT26压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XP-611.XYZ系列纳米级精密定位平移台一维XP-611.X/二维XP-611.XY纳米级精密定位平移台M3x6 40 25 M3x64025?3.5?3.524440 M3x6 4特性120μm的行程范围 紧凑的外形结构 1nm的分辨率 内置高性能压电陶瓷 开环/闭环可供选择48 25M3x6?6.24825?6.2XP-611.XXP-611.XYXP-611.XY纳米级精密定位平移台，是以压电元件为基础驱动源的纳米定位系统，特点是产品结构紧凑，X 和XY定位台是二维平面 定位理想的选择，例如：干涉光路长度校准、显微或扫描应用中的样品定位。单轴或两轴均可达120μm的运动范围。配有压电驱动、无 摩擦。柔性铰链导向系统，实现纳米级分辨率和毫秒的响应时间。 灵活性 ：XP-611.XYZ系列纳米级精密定位平移台非常的灵活 ，因为可以使用单轴或多轴（X、XY、Z、XZ、以及XYZ） ，并且每轴都 可以与各种显微系统组合而成混合系统，从而实现更大的行程。技术参数型号运动自由度 开环行程范围(0~150V) 闭环行程范围 传感器类型 系统开/闭环分辨率（16位） 系统开/闭环分辨率（24位） 系统闭环线性度 系统重复定位精度 运动方向刚度 最大承载 静电容量 空载响应频率 30g负载后响应频率 100g负载后响应频率 工作温度 电压连接器 传感连接器 重量 材质 外形尺寸 XP-611.XS X 120 100 SGS 4/7 0.2/2 0.1 30 0.35 +2/-0.5 1.8 400 300 195 -20~80 LEMO LEMO 150 钢/铝 48×48×24 XP-611.XO X 120 4/0.2/0.35 +2/-0.5 1.8 400 300 195 -20~80 LEMO LEMO 150 钢/铝 48×48×24 XP-611.XYS X、Y 120/轴 100/轴 SGS 4/7 0.2/2 0.1 30 0.3/0.3 +2/-0.5 1.8/轴 345/270 270/225 180/165 -20~80 LEMO LEMO 250 钢/铝 48×48×40 XP-611.XYO X、Y 120/轴 4/0.2/0.3/0.3 +2/-0.5 1.8/轴 345/270 270/225 180/165 -20~80 LEMO LEMO 250 钢/铝 48×48×40 mm g±5% nm nm %F.S nm N/μm kg μF±20% Hz±20% Hz±20% Hz±20% ℃ μm±20% μm 单位27XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0一维XP-611.Z与二维/XP-611.XZ纳米级精密定位平移台M3x6 M3x6压 电 陶 瓷 系 列 纳 平 移 台 系 列 米 定 位 纳 米 偏 转 台 系 列 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 动 电 源 系 列 微 仪 系 列402540 3.42533特性120μm的行程范围 紧凑的外形结构 1nm的分辨率 内置高性能压电陶瓷 开环/闭环可供选择441M3x64M3x64825?6.24825?6.2XP-611.ZSXP-611.XZSXP-611.XZ纳米级精密定位平移台，是以压电元件为基础驱动源的纳米定位系统，特点是产品结构紧凑，这里所提到的Z轴 及XZ轴运动的纳米定位台非常适合于显微镜、自动对焦和光电子封装。 两种形式都可以达到120μm的运动范围。配有压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统，这个系列微动台可实现纳米范围分 辨率和毫秒的响应时间。 灵活性：XP-611.XYZ系列纳米级精密定位平移台，非常的灵活 ， 因为可以使用单轴或多轴（X、XY、Z、XZ、以及XYZ） ， 并且每轴都可以与各种显微系统组合而成混合系统，实现更大的行程。技术参数型号运动自由度 开环行程范围（0~150V） 闭环行程范围 传感器类型 系统开/闭环分辨率（16位） 系统开/闭环分辨率（24位） 系统闭环线性度 系统重复定位精度 运动方向刚度 最大承载 静电容量 空载响应频率 30g负载后响应频率 100g负载后响应频率 工作温度 电压连接器 传感连接器 重量 材质 外形尺寸 XP-611.ZS Z 120 100 SGS 4/7 0.2/2 0.1 30 0.5 +3/-0.5 1.8 460 370 265 -20~80 LEMO LEMO 200 钢/铝 48×48×33 XP-611.ZO Z 120 4/0.2/0.5 +3/-0.5 1.8 460 370 265 -20~80 LEMO LEMO 200 钢/铝 48×48×33 XP-611.XZS X、Z 120/轴 100/轴 SGS 4/7 0.2/2 0.1 30 0.3/0.4 +2/-0.5 1.8/轴 365/340 280/295 185/230 -20~80 LEMO LEMO 300 钢/铝 48×48×41 XP-611.XZO X、Z 120/轴 4/0.2/0.3/0.4 +2/-0.5 1.8/轴 365/340 280/295 185/230 -20~80 LEMO LEMO 300 钢/铝 48×48×41 mm g±5% nm nm %F.S nm N/μm kg μF±20% Hz±20% Hz±20% Hz±20% ℃ μm±20% μm 单位3.40 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT28压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列三维XP-611.XYZ纳米级精密定位平移台M3x640 25特性X、Y、Z均可实现120μm行程 紧凑的外形结构 开环/闭环可供选择 内置高性能压电陶瓷 快速扫描与定位应用扫描系统 机械工程、精密仪器制造 光纤定位、激光光学 微操作、光纤调整与光电子 光学应用574M3x64825?6.2XP-611.XYZS XP-611.XYZ纳米级精密定位平移台 ，是以压电陶瓷为驱动源的多轴纳米定位系统 。X、Y、Z三轴均可实现120μm的定位扫描范围， 台体的结构紧凑，无摩擦柔性铰链导向系统使得三维平台具有超高的分辨率和毫秒的响应时间。开环与闭环两种形式可供选择。 灵活性：XP-611系列纳米级精密定位平移台，非常的灵活，可以单独使用单轴或多轴使用（X、XY、Z、XZ、以及XYZ）,并且每轴平 台均可与各种显微系统组合成混合系统，实现更大的行程。技术参数型号 运动自由度 开环行程范围(0~150V) 闭环行程范围 传感器类型 系统开/闭环分辨率（16位） 系统开/闭环分辨率（24位） 系统闭环线性度 系统重复定位精度 运动方向刚度 最大承载 静电容量 空载响应频率 工作温度 电压连接器 传感连接器 重量 材质 外形尺寸 XP-611.XYZS X、Y、Z 120/轴 100/轴 SGS 4/7 0.2/2 0.1 30 0.3/0.3/0.4 +2/-0.5 1.8/轴 350/220/250 -20~80 LEMO LEMO 400 超硬铝 48×48×57 XP-611.XYZO X、Y、Z 120/轴 4/0.2/0.3/0.3/0.4 +2/-0.5 1.8/轴 350/220/250 -20~80 LEMO LEMO 400 超硬铝 48×48×57 mm g±5% nm nm %F.S nm N/μm kg μF±20% Hz±20% ℃ μm±20% μm 单位29XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 03.4XP-611系列大行程纳米级精密定位平移台纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品XP-611.1SL是带电阻应变片SGS位置传感器的一维闭环纳米级精密定位平移台，XP-611.1OL是无位置传感器的一维开环纳米级 精密定位平移台。该系列微动台是用VS15系列机械封装式压电微位移致动器驱动，通过柔性铰链连接支撑传动，实现工作台面沿X 轴方向作一维微纳米的微小移动。该系列微动台为放大机构原理，位移行程可达250μm，该系列微动台的设计在吸收国外先进技术与 经验的同时，又解决了拉力太小的问题。该系列微动台另一个独特之处是模块化设计，该系列微动台任何一个型号的产品通过对应的 连接板都可以自由组合成二维、三维的微动台产品，也可以与其他系列型号的微动台组合成二维、三维、四维、五维等微动台产品。定 制 及 其 他75 5024.5 2250 258-?6.5 v?10.5x6.524.5 228-?6.5 v?10.5x6.512-M4255018.516516518.550 1254-M3125757525-M4 4-M10 4-M1060透空 100 15075 100 150工作面的中间为60mm透空的方孔工作面为无透空的多螺纹安装孔0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT30压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列技术参数型号 运动自由度 X P - 6 11 . 1 S L X X P - 6 11 . 1 O L X 单位 公差Motion and positioning(运动与定位参数)传感器类型 开环行程范围 （0~+150 V） 闭环行程范围 开环分辨率* 闭环分辨率* 闭环位移线性度** 闭环重复定位精度 运动面偏摆程度Mechanical properties(机械性能)SGS 250 200 5 10 0.1 20 ±5250 5 ±5 μm μm nm nm %F.S nm μrad ±20% 标定值 典型 典型 典型 典型 典型运动方向的刚度 空载响应频率 100g负载后响应频率 运动方向的推/拉力 承载能力 侧向力Drive properties(驱动性能)1 200 180 250/250 50 201 200 180 250/250 50 20N/μm Hz Hz N N N±20% ±20% ±20% 最小 最小 最大陶瓷型号 静电容量 动态工作平均电流系数Miscellaneous(其它)60VS15 11 1860VS15 11 18 μF μA / (Hz.μm)进口 ±20% ±20%工作温度 材质 重量 工作台外型尺寸 线长 传感器/电压连接器 出线方式-20 ~80 超硬铝 1.2 165×165×24.5 1.5 LEMO 侧出线-20 ~80 超硬铝 1.2 165×165×24.5 1.5 LEMO 侧出线°Ckg mm m±5% ±0.1 mm ±10 mm推荐使用我公司“XE-500与XE-501模块化控制器”； 模块化设计，可根据客户要求自由组合成上百种产品； 独特的主控模块，可提高闭环控制及定位精度； 具有自发波形功能，无需外接控制信号，可自行发出正弦波、三角波、锯齿波、方波等波形；幅值、电压、偏移量、负载等参数均可 设置；可实时显示与检测电压或位移值…… * XP-611系列微动台采用压电陶瓷驱动和柔性铰链传动的方式实现微位移，微动台自身的分辨率是没有限制的，分辨率取决于微动 台控制器的性能；参数表中给出的值是用我公司XE-500/501系列控制器达到的参数。 ** 参数表中给出的值是用我公司XE-500/501系列控制器的数字控制功能达到的参数；如果用外部模拟输入信号控制， 参数为0.5%F.S.31XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0模块化系列组合一维模块化串联大行程直线微动台是由多个一维直线微动台通过连接板串连在一起共同实现一个方向的运动，通过4个250μm的 XP-611微动台串联可实现1mm的行程和5nm的分辨率，也可以再串联一个15μm的XP-620微动台实现0.3nm的分辨率。纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品4个XP-611微动台串联实现1mm行程5nm分辨率4个XP-611和1个XP-620微动台 串联实现1.015mm行程0.3nm分辨率二维模块化直线微动台是由两个一维微动台通过连接板组合而成，实现X轴与Y轴无耦合运动。将连接板通过多个螺丝连接在下面 微动台的运动面上，再将上面的微动台通过螺丝连接在连接板上 ，上面的微动台的运动面为工作台面 。下面微动台的运动面沿X方向 运动时会带动连接板与上面的微动台沿X方向运动，当上面的微动台沿Y方向运动时只有上面微动台运动面在运动 ，这样就实现了X方 向与Y方向的无耦合运动。二维微动台的相关性能取决于组成模块。定 制 及 其 他二维X、Y 直线微动台250μm行程 （由两个一维XP-611和1块连接板组成）二维X行程250μm、Y行程为15μm直线微动台 （由一维XP-611和一维XP-620组成）三维模块直线微动台是在二维模块化微动台的基础上将Z向连接板连接在Y向工作台的运动面上，将第三个一维微动台垂直于X 、 Y方向微动台连接在连接板上，实现与X、Y方向无耦合的上下运动。三维微动台的相关性能取决于组成模块。三维XYZ直线微动台250μm行程 （由三个一维XP-611和2块连接板组成）12维精密调节与对准系统0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT32
二维纳米级精密定位/扫描台纳 米压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品3xM3透孔 EQS?34特性X Y二 维 运 动 外形结构紧凑 ±10μm/±100μm两种行程可供选择 用于精密定位与微扫描等偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列安装面1949 +0.062 35 01664 14.5498 6 22324xM34x?6.6透孔 ?11 6.4定 制 及 其 他75±0.2 100±0.245°54 32 65?26?42?316544x?3.627 306透孔75±0.2 100±0.2技术参数参数 传感器 最大无负载位移(0~150V) 运动面偏摆程度 最大Z向偏转角度 最大XY偏转角度 出力 刚度 无负载谐振频率 无负载响应时间 静电容量 分辨率 高度 中空孔直径 重量 XY20XS SGS ±10 0.12 6 9 44 2.2
1.6 0.25 19 26 180 XY200XS SGS ±100 0.2 10 10 132 0.66 500 1 7.2 2 22 35 383 μm μm μrad μrad N N/μm Hz ms μF nm mm mm ±3g 单位0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT34压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列三维纳米级精密定位/扫描台?50特性XYZ三维运动 外形结构紧凑 用于微扫描4x?6.6透孔 ?11 6.460°3xM4透孔 EQS?42?30±0.2100±0.2 75±0.275±0.2 100±0.2技术参数参数 XY最大无负载位移(0~150V) Z向最大位移 最大Z向偏摆度 最大XY偏转角度 出力 刚度 无负载谐振频率 无负载响应时间 静电容量 分辨率 高度 宽度 重量 XYZ200M ±95 200 10 10 132 0.69(X、Y、Z) 260（X、Y）890（Z） 2（X、Y）0.6（Z） 7.2 2 44 100 550 单位 μm μm μrad μrad N N/μm Hz ms μF nm mm mm ±3g35XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 02244电容式反馈纳米级精密定位平移台特性最高分辨率：0.012nm 重复定位精度：＜1nm 电容式传感器 外形结构紧凑米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 纳压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品X50ST-500-ST一维纳米级精密定位平移台 技术参数参数 轴数/运动自由度 运动范围 （0~150V） 传感形式 驱动方式 分辨率 线性度 响应频率 台体重量 最大负载 高度 横截面积 X25 1/X 25 X50 1/X 50 X100 1/X 100 ST-500-ST 1/X 490 ST-500-AL 1/X 470 μm 单位高分辨率电容传感器 压电陶瓷致动器及精密柔性铰链结构 12 0.005
40 50×50 19 0.005 360 261 5 30 65×65 19 0.005 360 261 5 30 65×65
165×100 Picometer % of full range Hz g kg mm mm x mm定 制 及 其 他二维、三维纳米级精密定位平移台技术参数参数 轴数/运动自由度 运动范围(0~150V) 分辨率 传感形式 驱动方式 线性度 响应频率 台体重量 最大负载 高度 横截面积 XY25 2/XY 25 12 XY50 2/XY 50 19 XY100 2/XY 100 19XY25XYZ100XYZ50 3/XYZ 50 10XYZ100 3/XYZ 100 20单位μm Picometer高分辨率电容传感器 压电陶瓷致动器及精密柔性铰链结构 0.01 0 5 40 50×50 0.01 360/450 323 5 38 65×65 0.01 360/450 323 5 38 65×65 0.01 400/540/600 250 1 32 50×50 0.01 320/450/500 250 1 32 50×50 % of full range Hz g kg mm mm×mm0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT36压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列纳米级精密压电物镜驱动/扫描器应用扫描干涉 表面结构分析 光盘驱动测试 自动聚焦系统 聚焦微扫系统 生物科技 半导体测试设备?4014.58M45313050纳米级精密压电物镜驱动器XP-721是高速压电驱动微纳米 聚焦/扫描装置，扫描定位范围为100μm ，纳米级分辨率以及 非常高的线性度 。应用主要为表面度量以及微扫描。这种无摩 擦柔性铰链导向系统提供了超高的精度以及很强的聚焦能力、 快速响应、快速定位、快速扫描。单位：mm 型号 XP-721.02Q XP-721.06Q XP-721.08Q XP-721.11Q XP-721.12QM M26X0.75 M26X1/36& M19X0.75 M25X0.75 W0.8X1/36&D ?23 ?23 ?16 ?22 ?17技术参数型号运动自由度 传感器类型 开环行程范围（0~+150V） 闭环行程范围 开环分辨率 闭环分辨率 系统闭环线性度 系统重复定位精度 运动方向刚度 空载谐振频率 120g负载后谐振频率 200g负载后谐振频率 运动方向推力/拉力 静电容量 工作温度 材质 重量 传感/电压连接器XP-721.SLZ SGS 120 100 0.5 5 0.2 ±20 0.3 600 250 200 100/20 3.6 -20~80 超硬铝 0.25 LEMOXP-721.OLZ 120 0.5 0.3 600 250 200 100/20 3.6 -20~80 超硬铝 0.25 LEMO单位μm±20% μm nm nm %F.S nm N/μm Hz±20% Hz±20% Hz±20% N μF±20% ℃kgXP-721.SL纳米级精密压电物镜驱动器配备了高精度SGS电阻应变片式传感器，具有非常高的分辨率和定位精度，可 以 在 100μm行程范围内精确定位扫描，响应速度快，机构精密、稳定、无摩擦，而且安装方便，配置了多种螺纹接口，可以方便 地与各种规格物镜连接使用。37XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0MD纳米级精密压电偏转台XS-224一维纳米级精密压电偏转台纳 2-M3 x 8 定 位 纳 米 定 5 15 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 ?15 代 理 进 口 24 米压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品33 5 3 14特点亚微米的分辨率 亚毫秒的响应速度 3.6mrad的光束偏转 闭环线性度高 零摩擦柔性铰链导向系统12定 制 及 其 他技术参数型号 运动自由度 XS-224.1SL θX XS-224.1OL θX 单位 公差Motion and positioning（运动与定位参数） 传感器类型 开/闭环偏转角度 （0~+150 V） 开/闭环偏转分辨率 θX, θY线性度 θX, θY重复定位精度 SGS 3.6 0.1 0.15 ±3 3.6 0.1 mrad μrad %F.S μrad ±20% 标准 标准 标准Mechanical properties（机械性能）空载响应频率 (θX, θY) 支点到转动面的距离 转动惯量 静电容量 Miscellaneous（其他） 工作温度 材料 重量 线长 传感器/电压连接器 -20 ~ 80 不锈钢 80 1.5 LEMO -20 ~ 80 不锈钢 80 1.5 LEMO g m ±5% ±10 mm °C 3 4 215 1.8 3 4 215 1.8 kHz mm g mm2 μF ±20% ±1mm ±20% ±20%0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT38压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XS-330二维纳米级精密压电偏转台（θX、θY偏转）45°4-M3 ?194特性分辨率达0.05μrad 超高的定位稳定性 偏转行程可达12mrad（特殊要求可定制） 通过平行运动学的设计实现更高的动力性，稳定性和线性 亚毫秒的响应速度 支持50mm直径的镜片 闭环控制线性度更高 超强的温度稳定性?25±0.05应用图像处理/稳定 隔行扫描、抖动 光学、激光扫描、通信、光线偏转、光过滤/转换 光束偏摆/稳定L±0.145°?11.64-PZTcenter1AXISISAX2测试人员在用我公司XE-501模块化控制器与德国自准直仪 测试XS-330压电偏摆镜的性能。39XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0压 电 陶 瓷 系 列技术参数纳 米型号XS-330.2SLXS-330.4SLXS-330.8SLXS-330.2OL XS-330.4OL XS-330.8OL θX, θ Y定单位公差位 纳 米 定 位平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 动 电 源 系 列 微 仪 系 列运动自由度θX, θ YθX, θ YθX, θ YMotion and positioning（运动与定位参数） 传感器类型 开/闭环偏转角度 （0~+150 V） 开/闭环偏转分辨率 θX, θY线性度 θX, θY重复定位精度 SGS 3/±1.5 0.1 0.15 1 SGS 6/±3 0.2 0.2 2 SGS 12/±6 0.3 0.3 5 无 与 SL相同 与 SL相同 mrad μrad %F.S μrad ±20% 标准 标准 标准Mechanical properties（机械性能） 空载响应频率 (θX, θY) 加载响应频率θX, θ Y (加载25x8mm玻璃镜片) 支点到转动面的距离 转动惯量 Drive properties（驱动性能） 陶瓷型号 静电容量 动态工作平均电流系数 Miscellaneous（其他） 工作温度 偏转台材料 重量 偏转台长度L 线长 传感器/电压连接器 出线方式 -20 ~80 不锈钢 0.2 38 1.5 LEMO 底/侧出线 -20 ~80 不锈钢 0.38 56 1.5 LEMO 底/侧出线 -20 ~80 不锈钢 0.7 92 1.5 LEMO 底/侧出线 -20 ~80 不锈钢 与 SL相同 与 SL相同 1.5 LEMO 底/侧出线 kg mm m ±5% ±1 mm ±10 mm °C XP 3.6/轴 0.3/轴 XP 7.2/轴 0.5/轴 XP 14.5/轴 1.0/轴 XP 与 SL相同 与 SL相同 μF μA / (Hz ? mrad) ±20% ±20% 3.7 2.6 6
1.0 6 1530 与 SL相同 与 SL相同 6 1530 kHz kHz mm g ? mm? ±20% ±20% ±1 mm ±20%推荐使用我公司“XE-500与XE-501模块化控制器” ； 模块化设计，可根据客户要求自由组合成上百种产品；独特的主控模块，可提高闭环线性度。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT40压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XS-325三维纳米级精密压电偏转台（θX、θY偏转和Z向升降）应用图像处理/稳定 隔行扫描，抖动 光学、激光扫描、通信，光线偏转、光过滤/转换 光束偏摆/稳定45°4-M4 ?13 4?25±0.05特性光束偏转行程可达6mrad（特殊要求可定制） 分辨率达0.05μrad Z向升降位移可达 36μm 紧凑的三脚支架设计 亚毫秒的响应速度 闭环可实现高精度定位 支持25 mm (1&) 直径的镜片 无摩擦, 高精密柔性铰链导向系统 平行运动学增加动力性及多轴精准性56±0.1 ?11.6 3-PZTcenter AXIS 1AXIS 241XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0技术参数型号 运动自由度 XS-325.4SL Z、θX、θ Y XS-325.4OL Z、θX、θ Y位 纳 米 定压 电 陶 瓷 系 列单位公差米 定纳Motion and positioning（运动与定位参数） 传感器类型 开/闭环Z向运动范围 （0~+150 V） 开/闭环偏转角度 （0~+150 V） 开/闭环Z向位移分辨率 开/闭环两维偏转分辨率 闭环线性度 闭环重复定位精度 SGS 36 6/±3 1.2 0.2 0.2 0.05 无 与 SL相同 与 SL相同 与 SL相同 与 SL相同 μm mrad nm μrad %F.S %F.S ±20% ±20% 标准 标准 标准 标准位平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 动 电 源 系 列 微 仪 系 列Mechanical properties（机械性能）空载响应频率(θX, θ Y) 加载响应频率θX, θ Y (加载25x8mm玻璃镜片) 支点到转动面的距离 转动惯量 Drive properties（驱动性能） 陶瓷型号 静电容量 动态工作平均电流系数 Miscellaneous（其他） 工作温度 偏转台材料 重量 偏转台长度L 线长 传感器/电压连接器 出线方式 -20~80 超硬铝 0.065 56 1.5 LEMO 底/侧出线 -20~80 超硬铝 与 SL相同 与 SL相同 1.5 LEMO 底/侧出线 kg mm m ±5% ±1 mm ±10 mm °C XP 3.6 45 XP 与 SL相同 与 SL相同 μF/通道 μA / (Hz ? mrad) ±20% ±20% 2 1 6 515 与 SL相同 与 SL相同 6 515 kHz kHz mm g ? mm? ±20% ±20% ±1 mm ±20%0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT42压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列自由组合多维平移偏转系统四维压电偏转系统 X轴平移θX、θY偏转Z向升降四维压电偏转系统 X轴平移θX、θY偏转Z向升降大行程四维压电偏转系统 X轴平移θX、θY偏转Z向升降五维压电平移偏转系统 XY轴平移θX、θY偏转Z向升降五维压电平移偏转系统 XYZ轴平移θX、θY偏转五维压电平移偏转系统 XY轴平移θX、θY偏转Z向升降多维压电平移偏转系统光束偏转测试系统43XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0压电陶瓷(PZT)驱动电源与控制器系列纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品定 制 及 其 他基于压电陶瓷的驱动，我公司有三大系列驱动电源与控制器产品，可驱动和控制我公司全系列OEM式压电陶瓷、 机械封装式压 电陶瓷、1~6维纳米定位微动台产品，也可以驱动德国、丹麦、美国、日本等进口压电陶瓷与纳米定位微动台产品。 其中XE-500/501系列与HVA系列驱动电源与控制器产品都具有键盘液晶控制、计算机控制、外部模拟输入控制等功能，特别是 XE-500/501系列控制系统为我公司型号齐全、功能强大、模块组合配置最灵活、 不同部分和功能可根据需要自由升级的高端产品 ， XE-500/501系列控制系统产品是HVA系列产品的升级产品，包含HVA系列产品的功能和特点。 高端XE-500/501模块化开闭环控制系统 除具备HVA系列的功能与特点外，最显著的特点为： 1. 全模块化设计，不同功率驱动模块、位置传感模块、显示与接口模块、机箱与电源模块自由选择搭配，可自由扩展升级。 2. 可通过面板开关切换开环/闭环控制，伺服方式为通过电路实现的模拟PID，更高的精度、实时性、速度等。 XE-500/501系列低压和高压驱动电源，加装闭环传感模块后能够进行闭环操作。数字式控制器提供了更高的灵活性，同时提供了 许多高级控制及线性化选择。所有模块都适用于高带宽模拟接口。模拟接口提供了高带宽并且保持了最一致的指令方式，关键优点在 于其固有的确实性（实时）行为。快速的并口接口、USB、RS232数字接口更加灵活，使得规划系统更为便利。 中端HVA压电陶瓷驱动电源系列 开环驱动，集成式设计，键盘液晶控制、计算机并口/USB控制、模拟输入控制、自发波形等功能。 小体积XE-650压电陶瓷驱动电源系列 1. 产品尺寸小，适合与工业型产品配套。 2. 模拟开环、模拟波形、模拟闭环多种型号可供选择，操作灵活简便。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT44压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列高端XE-500与XE-501模块化（PZT）控制系统特点输出电压：0~150V、200V、300V、600V、900V、 1800V、±150V、±200V、±300V、±900V 频率范围：0~1kHz、0~10kHz、0~20kHz、0~50kHz 峰值输出功率：2000W 模块化设计，组合形式更灵活，可扩展、可升级 A、B、C、D四个系列产品 多路控制通道 模拟闭环，更快，更准确 高压或低压驱动 可选择位置传感模块 可选择主控显示与接口模块 19&9.5英寸机箱应用适用于（自研）国产和国外进口PZT（压电陶瓷） 适用于（自研）国产和国外进口纳米定位工作台 适用于低电压或高电压的压电陶瓷材料等 可兼容和替代国外控制系统45XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0XE-500，XE-501系列模块化(PZT)控制系统简介特点与应用适用于自研国产和国外进口系列高电压与低电压 PZT （压电陶瓷） 适用于自研国产和国外进口系列纳米定位工作台 模块化设计：不同功能和性能参数的多种独立模块相互组合可构成上百种产品，真正地实现产品的系列化与层次化 极大地满足客户的不同需要，达到产品选型与组合的最大柔性和灵活性，该模块化设计是优于同行业的国内与国外公 司产品的最显著特点之一 19 英寸，9.5 英寸机箱 可选择位置控制传感模块，电阻应变片式（SGS）传感器、电感式（LVDT）传感器、电容（CAP）传感器 模拟闭环控制方式，运动灵活，准确，速度快，稳定性好，使用方便 可选择显示（液晶 LCD 或数码管 LED）模块与计算机、USB接口/（串口）模块米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 纳压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列 产 品XE-500系列控制系统是集成了XE-530.00多路供电电源 的19英寸机箱和功率放大模块构成基本配置的PZT（压电陶 瓷）控制系统，可配置XE-509系列位置控制传感模块和XE514、XE-515、XE-517系列的显示与计算机接口模块 ，一 个XE-500控制系统最多可组合18路独立的控制通道，更多控 制通道可定制。代 理 进 口 定 制 及 其 他XE-501系列控制系统是集成了XE-531.00 多路供电电源的9.5英寸机箱和 功率放大模块构成基本配置的PZT（压电陶瓷）控制系统，可配置XE-509系 列位置控制传感模块和XE-514、XE-515、XE-517系列的显示与计算机接口 模块，一个XE-501控制系统最多可组合9路独立的控制通道,更多控制通道可 定制。XE-500与XE-501控制系统由功率驱动模块 （Amplifier）、位置传感模块 (Position Servo-Controller) 、显示与接口模块(Display and Interface)、机箱与多路电源模块(Chassis and Power Supply)四类不同功能的模块组成； 不同功能的模块通过机箱内的公共信号连 接底板将各模块间的所有连接器相连，不同功能和性能参数的多种独立模块相互组合可构成上百种不同功能与性能参数的产品，真正 地实现产品的系列化和层次化，极大地满足不同客户的不同需要，实现最大的柔性和灵活性，这是我公司XE-500与XE-501 模块化控制系统产品优于同行业的国内与国外公司产品的最显著特点之一。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT46压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XE-500/501整体基本参数表与功能表参数表 型号 仅扩展驱动模块 机箱尺寸 输入模拟信号 输出电压纹波 可选输出电压 输出电压分辨率 串口/USB通信接口 电压稳定性 模拟输入阻抗 空载满幅值带宽 驱动模块通道数 单通道平均功率 单通道峰值功率 平均电流 峰值电流 小信号带宽 大信号带宽 电流限制 电压增益 调节旋钮 传感器模式 传感通道数 伺服特性 传感器接口 传感器输出接口 传感器输出电压 主控通道数 D/A转换器 A/D转换器 峰值输出电流 平均输出电流 动态输出特性公式 供电模式 XE-500 1~18通道 19英寸 ≤5mV 100V、150V、200V、300V、±150V、±200V、 ≤10mV 600V、±300V XE-501 1~9通道 9.5英寸 ≤20mV 900V、1800V、±900V单极性0~+10V或0~+5V,双极性-10~+10V或-5~+5V16Bit(满幅值的1/30000) 24Bit(满幅值的1/100000) RS232（波特率9600）/USB2.0 ＜0.1%F.S（满量程）/8hours 大于100K 可选择1K、10K、20K、50K 1~3路 7W ~ 35W 20W ~ 350W 40mA ~ 350mA 100mA ~ 11A 5kHz ~ 500kHz 1kHz ~ 50kHz 短路保护 10 ~ 60 10圈 电阻式SGS、 电感式LVDT、 电容式CAP 1~3路 模拟+滤波 4芯LEMO连接器（传感器输入） 单路BNC连接器、三路LEMO连接器 单极性电源：0~+10V 双极性电源：-10~+10V 1~3路 16/24 Bit 16Bit ±10V输出 ±10V输入峰值输出功率/标称电压输出（单通道） 平均输出功率/标称电压输出（单通道） 峰峰值电压(V)×频率(Hz)×负载(F)≤平均输出电流 220V±10％ 50Hz±10％交流供电 功能表型号 组合形式 外部特征 基本控制方式 基本功能 软件配置 自发波形功能介绍 液晶键盘通讯接口XE-500 各模块间可任意组合，可升级XE-501可配备驱动，传感和主控模块，详见各模块及组合说明手动调节、模拟输入、计算机串口/USB接口、自发波形控制、开/闭环控制 过流保护功能，温度保护功能他，动态功率保护 配有功能强大的标准计算机控制软件 可自发输出正弦波，方波，三角波，锯齿波，频率在2k以内不衰减、不失真 标配（LCD，薄膜按键，RS232，USB）47XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0XE-500/501四大系列分类A系列产品（开环）纳压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 米 定 位 纳 偏 转 台 系 列 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 动 电 源 系 列 微 仪 系 列A 系列产品是基本配置的产品，是由功率放大模块和机箱与多路电源模块组成。仅能完成对 PZT 或微动工作台等纳米定位机构 的开环驱动。 XE501-A (小机箱)XE500-A(大机箱)A系列产品可以通过扩展模块的方式升级成B系列，C系列，D系列传感模块B系列主控模块D系列主控模块C系列传感模块D系列0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT48压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列B系列产品（开环&闭环）B系列产品是标准配置产品，由功率放大模块、位置传感模块和机箱与多路电源模块组成。不仅能完成对PZT或微动工作台等纳 米定位机构的开环驱动 ，还可以处理各类传感器的信号完成对 PZT或微动工作台等纳米定位机构的伺服（闭环）控制，实现高精度 与高分辨率的线性控制。 XE501-B(小机箱)XE500-B（大机箱）B系列标配产品，可以通过扩展主控模块直接升级成D系列产品主控模块主控模块49XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0C系列产品（开环&显示）C系列产品是标准配置产品，由功率放大模块、显示与接口模块和机箱与多路电源模块组成。不仅能完成对PZT或微动工作台等 纳米定位机构的开环驱动 ，还可测量显示功率放大模块的输出电压；可通过计算机接口接收和处理来自计算机的控制命令，也可以 通过键盘、液晶和软件进行人机交互操作。纳 米 定 位压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XE501-C（小机箱）XE500-C（大机箱）C系列标配产品，可以通过扩展传感模块直接升级成D系列产品0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT50压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列D系列产品（开环&闭环&显示）D系列产品是标准配置产品，是由功率放大模块、位置传感模块、显示与接口模块和机箱与多路电源模块组成，是功能最齐全、 最 完善的产品。不仅能完成对PZT或微动工作台等纳米定位机构的开环驱动 ，还可以处理各类传感器的信号完成对PZT或微动工作台等 纳米定位机构的伺服（闭环）控制，实现高精度与高分辨率的线性控制；可测量显示功率放大模块的输出电压和位置传感模块的当前 微位移变化量，可通过计算机接口接收和处理来自计算机的控制命令，也可以通过键盘、液晶和软件进行人机交互操作等功能。XE501-D(小机箱)XE500-D（大机箱）51XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0XE-500/501各模块介绍XE-505.00功率放大模块纳压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 米 定 位 纳 米 定 偏 转 台 系 列 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XE-505.00功率放大模块（Amplifier）是单通道模块 ，主要功能是将微弱的外部模拟输入信号或计算机通过DA给出的模拟信号或 其它的控制信号，通过功率放大模块内部的电压与功率放大电路，将微弱的信号放大到能够满足对各类PZT的驱动要求或微动工作台 等纳米定位机构的控制要求。DC-Offset: 直流输出电压调节旋钮，正时针方向Output端输出电压增加，逆时针方向 Output端输出电压减小。可调节Output端输出电压（正弦、方波、三角、随机）的直 流偏置。调节圈数为10圈，对应Output端输出电压的最大范围。 Input: 控制信号输入端，通过配套输入电缆将该端与外部信号（信号发生器、模拟信号 电源、 DA卡等）相连。该端对输入信号的范围通常单极性电源为0～10V 、双极性电源 为-10V～+10V。 （注： 输入信号的范围也可根据客户的要求确定，需在签订合同时说明。 ） Output: 高压输出端，可输出高电压和大电流（电压与电流详见参数表）。通过配套输 出电缆将该端与压电陶瓷(PZT)等负载相连，实现对压电陶瓷(PZT)或负载的驱动控制。技术参数CH1通道 输入特性 输入电压V 输入阻抗kΩ±20% 输入连接器 调节旋钮 输出特性 输出电压V 平均功率W/路±20% 峰值功率W/路±20% 平均电流mA/路±20% 峰值电流mA/路±20% 空载满幅带宽kHz±20% 空载满幅阶跃μs±20% 输出纹波mV±20% 输出随输入线性放大 功率限制保护 输出连接器 温度范围℃ 温度稳定性 100 35 100 350
50、20 5 150 35 100 230 700 10、30 50、20 5 200 35 100 170 500 10、30 50、20 5 300 35 100 110 330 10、30 50、20 5 ±100 35 100 170 500 10、30 50、20 5 ±150 35 100 110 330 10、30 50、20 5 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 100 BNC 0~5V、0~10V 100 BNC 100 BNC 100 BNC -5~+5V、-10~+10V 100 BNC 100 BNC 可定制 可定制 BNC 常规参数 定制参数直流输出电压调节旋钮，10圈调节对应输出电压全范围可放大任一信号，如直流、正弦、方波、三角、随机信号等 可限制输出的平均功率与峰值功率，彻底保护输出 LEMO ERA.00.250.CTL -10℃~+50℃ 工作温度超过+40℃功率降低10% 备注：以上无功率限制保护时，峰值电流可大于10A，适用于大容性负载时的快速阶跃响应。0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0w w w .x m tk j.co m芯明天科技XMT52压 电 陶 瓷 系 列 纳 米 定 位 纳 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 其 他 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 动 电 源 系 列 微 仪 系 列XE-503.00功率放大模块XE-503.00功率放大模块（Amplifier）由3个独立通道CH1、CH2、CH3组成， 3个通道性能一致， 主要功能是将微弱的外部模拟输 入信号或计算机通过DA给出的模拟信号或其它的控制信号， 通过功率放大模块内部的电压与功率放大电路，将微弱的信号放大到能够 满足对各类PZT的驱动要求或微动工作台等纳米定位机构的控制要求。DC-Offset: 直流输出电压调节旋钮，正时针方向Output端输出电压增加，逆时针方向 Output端输出电压减小。 可调节Output端输出电压（正弦、方波、三角、随机）的直流 偏置。调节圈数为10圈，对应Output端输出电压的最大范围。 Input: 控制信号输入端，通过配套输入电缆将该端与外部信号（信号发生器、模拟信号 电源、DA卡等）相连。 该端对输入信号的范围通常单极性电源为0～10V、双极性电源 为-10V～+10V。 （注： 输入信号的范围也可根据客户的要求确定， 需在签订合同时说明。 ） Output: 高压输出端， 可输出高电压和大电流（电压与电流详见参数表）。通过配套输 出电缆将该端与压电陶瓷(PZT)等负载相连，实现对压电陶瓷(PZT)或负载的驱动控制。技术参数CH1、CH2、CH3通道 输入特性 输入电压V 输入阻抗kΩ±20% 输入连接器 调节旋钮 输出特性 输出电压V 平均功率W/路±20% 峰值功率W/路±20% 平均电流mA/路±20% 峰值电流mA/路±20% 空载满幅带宽kHz±20% 空载满幅阶跃μs±20% 输出纹波mV±20% 输出随输入线性放大 功率限制保护 输出连接器 温度范围℃ 温度稳定性（超过40℃） 100 7 20 70 200 1、10 500、50 5 150 7 20 50 150 1、10 500、50 5 200 7 20 35 100 1、10 500、50 5 300 7 20 25 75 1、10 500、50 5 ±100 7 20 35 100 1、10 500、50 5 ±150 7 20 25 75 1、10 500、50 5 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 可定制 100 BNC 0~5V、0~10V 100 BNC 100 BNC 100 BNC -5~+5V、-10~+10V 100 BNC 100 BNC 可定制 可定制 BNC 常规参数 定制参数直流输出电压调节旋钮，10圈调节对应输出电压全范围可放大任一信号，如直流、正弦、方波、三角、随机信号等 可限制输出的平均功率与峰值功率，彻底保护输出 LEMO ERA.00.250.CTL -10℃~+50℃ 工作温度超过+40℃功率降低10%53XMT芯明天科技w w w .x m tk j.c o m0 4 5 1 -8 6 2 6 8 7 9 0XE-507.00功率放大模块XE-507.00功率放大模块（Amplifier）是单通道模块，主要功能是将微弱的外部模拟输入信号或计算机通过DA给出的模拟信号 或其它的控制信号，通过功率放大模块内部的电压与功率放大电路， 将微弱的信号放大到能够满足对各类PZT的驱动要求或微动工作 台等纳米定位机构的控制要求。纳 米 定 位 纳压 电 陶 瓷 系 列 平 移 台 系 列 偏 转 台 系 列 米 定 位 压 电 陶 瓷 驱 高 精 度 测 代 理 进 口 产 品 定 制 及 }