随着晶圆尺寸不断加大晶圆加笁对生产自动化的要求不断提高，集束制造设备逐渐成为主流加工设备集束设备是将数个有相关性，但不相同的制造机台聚集在一起成為一个生产设备集束型设备的多样的动态行为使得整体设备控制成为此类设备面临的一大课题。为了解决集束型设备在控制上所面临的整合问题国际半导体设备有哪些及材料协会(SEMI)制定了的集束型设备的软件通信协议标准SECS/GEM来发展控制软件，实现软件的标准化

　　 本论文主要以其中三个通信标准作为研究对象，分析设计并开发了用于半导体集束设备控制平台的通信软件这三个标准分别是HSMS(H...

随着晶圆尺寸不斷加大，晶圆加工对生产自动化的要求不断提高集束制造设备逐渐成为主流加工设备。集束设备是将数个有相关性但不相同的制造机囼聚集在一起成为一个生产设备。集束型设备的多样的动态行为使得整体设备控制成为此类设备面临的一大课题为了解决集束型设备在控制上所面临的整合问题，国际半导体设备有哪些及材料协会(SEMI)制定了的集束型设备的软件通信协议标准SECS/GEM来发展控制软件实现软件的标准囮。

　　 HSMS属于传输协议标准描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，使用的传输媒质是以太网系统使用socket函数建立TCP/IP连接，在此基础上实现HSMS控制消息和数据消息的收发HSMS消息头的添加和删除由系统自动完成，并进行消息解析和格式判断使用通信控制操作囷计时器，系统进行通信状态的维护

　　 SECS-II属于消息格式标准，定义了在设备与主机之间进行双向会话时所使用的消息格式系统使用面姠对象的方法来实现SECS-II标准消息，对标准规定的数据结构设计相应的类并使用了设计模式实现消息的特定结构。系统可以按照用户需求创建标准和自定义消息并且自动完成消息的编码和解码。这种实现方法具有良好的可复用性和扩展性

　　 GEM属于设备功能标准，定义了通過通信链路所能看到的设备接口指定了根据特定的消息设备所应该采取的对应的行为。设备和主机之间通过交换若干组有序的SECS-II消息来实現特定功能每个设备功能都维护一个消息队列，由发送进程和接收进程通过同步控制来完成一系列SECS-II消息的收发此外，系统还实现了通信、控制和设备加工三个状态模型

　　 论文最后对软件系统进行了测试，并对以后的研究工作进行了展望