· 超过96用户采纳过TA的回答
输入金屬的成分加入原材料,机器根据成分印出金属
你对这个回答的评价是?
【摘要】:针对半导体器件微结構侧壁关键尺寸检测需求,设计了一套三维原子力显微镜(3D-AFM)系统.该系统采用针尖末梢为喇叭口形的悬臂梁探针,以扭转谐振模式实现横向轻敲扫描.介绍了该3D-AFM系统的结构组成和工作原理,对系统的横向检测灵敏度进行了标定,获得了喇叭口针尖与样品侧壁横向接近过程中探针扭转振幅的變化曲线.利用该系统对栅格标样侧壁局部形貌进行了线扫描和面扫描,所得轮廓具有较好的重复性,且测量所得形貌特征与常规轻敲模式扫描結果一致,表明本文所述3D-AFM系统及工作模式能够用于微结构侧壁形貌的检测.
|
输入金屬的成分加入原材料,机器根据成分印出金属
你对这个回答的评价是?
下载百度知道APP抢鲜体验
使用百度知道APP,立即抢鲜体验你的掱机镜头里或许有别人想知道的答案。
版权声明:文章内容来源于网络,版权归原作者所有,如有侵权请点击这里与我们联系,我们将及时删除。