一些化合物具有很高的沸点要使这类化合物沸腾，最好是降低化合物沸腾时的压力而不是提高温度一旦压力降低到化合物的蒸汽压（在一定的温度下），化合物就开始沸腾蒸馏作用就可进行。这项技术被称为真空蒸馏且以真空汽化器的形式常见于实验室。这项技术对于大气压下沸点超过其分解温喥的化合物是很有用的在大气压下让这类化合物沸腾的尝试，都会使其分解

因为环境中的真空度越低，真空环境空间中的杂质越少蒸馏的质量也会越好。

但是真空度越高在真空获得上的代价越大，成本越贵所以在实际生产中需要综合考虑质量和成本综合而定。