主办单位：麦姆斯咨询
协办单位：上海传感信息科技有限公司、华强电子网
一、课程简介
近年来，MEMS技术日臻成熟，新型MEMS产品层出不穷，系统应用数量也呈现爆发性增长趋势。同时，新材料和新工艺的开发“连绵不绝”，以期望为MEMS开拓新疆域！因此，不论是MEMS产业的老牌企业，还是新晋厂商，都需要了解市场发展趋势，并从MEMS器件的研发、设计、制造、封装、测试等环节学习新知识，从而利于开展企业战略布局和产品规划。
全球MEMS产业链
2019年，在全球半导体行业疲软的大环境下，MEMS市场依然有着不错的增长表现。2020年新型冠状病毒肺炎疫情突袭，在抗击病毒的过程中，一些MEMS产品逆势进入了“爆发期”。例如，疫情防控促使了热电堆传感器、微测辐射热计在红外测温应用领域的井喷；病毒检测驱动了微流控芯片在即时检测（POCT）应用领域的繁荣；病人急救推高了压力及流量传感器在呼吸机等医疗设备应用领域的需求。
新型冠状病毒肺炎“引爆”的MEMS细分市场
此外，随着人们对健康重视程度的不断提升，以智能手表为代表的可穿戴设备需求快速增长。通过集成“加速度计 + 陀螺仪”的6轴惯性测量单元（IMU），可穿戴设备可以实现步态分析、运动监测、动作捕捉、姿势识别等功能，在运动健康和康复医疗领域展现出广阔的应用前景。目前，惯性传感器领域的领先者和挑战者都将目光投向了组合式传感器的发展机遇，甚至通过产业链整合的方式攫取市场份额，例如：TDK收购InvenSense，矽睿科技收购Fairchild的MEMS与传感器解决方案部门。
尽管受到疫情冲击，2020年全球MEMS市场总体规模较2019年将略有下滑，但适应疫情并恢复生产之后，MEMS产业仍具有巨大的发展潜力。2020年至2024年期间，预计全球MEMS市场规模的复合年增长率（CAGR）可达两位数。以“热电堆传感器、微测辐射热计”为代表的红外探测器和微流控芯片是MEMS市场中表现较为亮眼的两类产品。
2018年至2024年全球MEMS市场规模（单位：亿元人民币）
由麦姆斯咨询策划并主办的《第24期“见微知著”培训课程：MEMS技术进阶》传承了深受学员欢迎的《MEMS高级培训课程》系列课程（可参考《MEMS高级培训课程-2019年》及相关报道《MEMS高级培训课程：沉淀经典，历久弥新！》）的精髓。本课程以热门MEMS器件为主线，从原理、设计、制造、封测及应用等重要环节入手，并融入了“新鲜血液”——MEMS可靠性分析，同时，本课程还为学员解析MEMS和传感器产业现状以及发展脉络，旨在帮助MEMS从业人员提升专业技能。
《第24期“见微知著”培训课程：MEMS技术进阶》内容主要包括：（1）从MEMS发展到NEMS的启示；（2）惯性MEMS，如组合式惯性传感器、高精尖惯性传感器；（3）光学MEMS，如MEMS可调谐激光器、气体传感器；（4）红外探测器，如微测辐射热计；（5）生物MEMS，如微流控器件；（6）MEMS制造工艺及封装技术；（7）MEMS可靠性分析，如加速度计、陀螺仪、微镜。
二、对象
本次课程主要面向MEMS设计、制造、封测及应用相关企业的工程师和管理人员，也适合高等院校老师和学生，同时欢迎其他希望了解MEMS技术和产业的非MEMS背景人员参加。
三、时间
2020年8月14日 ~ 8月16日，共计3天。
授课结束后，为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。
四、地点
无锡协信维嘉酒店（无锡市新吴区和风路19号星光商业中心1号）
五、内容
一：从MEMS发展到NEMS的启示
讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 研究员 王跃林
“以史为鉴，可以知兴替”。了解MEMS技术起源，总结MEMS器件发展经验，洞悉制造工艺和典型产品，可以让学员在追根寻源的同时，理清MEMS行业脉络、把握传感器发展趋势。本课程讲师深耕MEMS领域40余年，将带领学员回顾过去，解析现在，展望未来。
大纲：
（1）MEMS技术的起源；
（2）MEMS发展历程及其推动力；
（3）典型MEMS制造工艺的发展：各向异性腐蚀技术，硅/玻璃、硅/硅键合技术，表面微机械技术，干法深刻蚀技术；
（4）典型MEMS器件简述：压力传感器、加速度计、陀螺仪、红外热电堆传感器等；
（5）从MEMS压力传感器产业化得到的思考和启示；
（6）NEMS的发展方向分析；
（7）如何结合MEMS的特点做好MEMS的研究与产业化工作。
二：惯性MEMS
讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 研究员 焦继伟
消费电子和汽车电子是惯性MEMS传感器的两大重要应用市场，组合式惯性传感器是其中的增长引擎。而对于高端惯性传感器，虽然国防和商用航空航天领域是该市场的支柱，但随着工业物联网（IIoT）、机器人及微型卫星等应用的高速发展，工业领域已一跃成为驱动该市场蓬勃成长的关键因素。本课程在梳理惯性MEMS传感器的基础知识、设计要点及典型案例的同时，帮助学员分析组合式惯性传感器，了解高精尖惯性传感器，从而掌握惯性MEMS关键技术！
大纲：
（1）惯性MEMS概念、典型器件（加速度计、陀螺仪）及工作原理；
（2）开环/闭环MEMS加速度计的检测方式、设计要点、制造、封测及闭环加速度计典型应用案例；
（3）MEMS陀螺仪的驱动/检测方式、设计要点、制造、封测及高性能陀螺仪典型设计案例；
（4）组合式惯性传感器技术发展趋势及设计要点；
（5）MEMS晶圆级封装技术在惯性传感器领域的应用及挑战；
（6）新材料（如PZT压电材料）和新工艺在惯性传感器的应用；
（7）全球高精尖惯性传感器产业现状及主要供应商；
（8）全球主要惯性传感器MEMS代工厂和封测厂；
（9）国内惯性传感器产业发展的应对策略。
三：光学MEMS
讲师：山东大学 教授 陶继方
光学MEMS是光学技术与MEMS的交叉融合，正是MEMS技术的不断精进弥补了硅基微电子材料在光电特性的不足，使得硅基光电子器件成为光学器件中的“顶梁柱”。随着3D视觉的强势崛起，数据通信、激光雷达以及光纤陀螺等应用的繁荣发展，硅基光电子器件在保持持续增长态势的同时，凭借其集成度高、尺寸小、与微电子工艺相兼容等优势在各应用中体现出了巨大的应用价值。从光学MEMS和硅基光电子器件基础知识的入手，讲师将针对其中激光器、硅基调制器以及MEMS光学气体传感器等热门器件进行详细解析，并辅以典型应用案例。
大纲：
（1）光学MEMS概念、典型器件（光学传感器、光学执行器）及工作原理；
（2）硅基光电子器件基础知识：硅基光波导设计及损耗控制、光耦合问题、光学传感器结构等；
（3）硅基光电子热门器件Ⅰ：MEMS可调谐激光器的设计、制造工艺、封装和测试的主要问题和解决方法；
（4）硅基光电子热门器件Ⅱ：硅基调制器的设计、制造工艺和封测的主要问题和解决方法；
（5）硅基光电子热门器件Ⅲ：MEMS气体传感器（高灵敏度VOCs气体监测、光子型湿度传感器、NDIR气体传感器）的设计、制造工艺、封装和测试的主要问题和解决方法，以及气体传感器产业现状、发展趋势及主要供应商。
四：红外探测器
讲师：上海巨哥电子科技有限公司 总经理 沈憧棐
新冠疫情的肆虐让红外探测器成为2020年MEMS市场中最炙手可热的传感器之一。其原因便是红外探测器能以非接触的方式测量体温，建立起疫情的第一道防线。但是，测温仅是红外探测器的典型应用之一，红外探测器的热门应用还有哪些？红外探测器究竟涵盖哪些核心技术？热电堆传感器与微测辐射热计有哪些异同？红外探测器市场的霸主有谁？沈憧棐博士将为学员一一解答。
提纲：
（1）红外探测器概念、分类及技术路线分析（制冷/非制冷、热探测器/光子探测器）；
（2）微测辐射热计工作原理、结构及材料体系（非晶硅、氧化钒）；
（3）微测辐射热计设计要点、制造工艺、封装和测试主要问题和解决方法；
（4）非制冷红外阵列探测器技术对比分析；
（5）红外探测器市场产业现状、技术趋势及主要供应商；
（6）红外探测器热门应用领域产品剖析：医疗防疫、智能手机、安防监控、车载夜视仪。
五：生物MEMS
讲师：北京大学 教授 王玮
生物MEMS是生物医学与MEMS技术的交叉领域，正是MEMS技术的加持，生物医疗领域涌现了众多先进的微型器件。2015年被誉为“十大技术突破的”液体活检，就是微流控技术在精准医疗领域的重要应用。正值新冠病毒“全民检测”的趋势下，微流控技术所具有的无创性、实时检测等特点将可能为检测技术带来革新。通过学习本课程，学员将了解生物MEMS原理及微流控基底材料，掌握液态活检的核心技术。同时，课程还将介绍微流控技术在新型冠状病毒检测方面的应用。
大纲：
（1）生物MEMS概念、典型器件及工作原理；
（2）微流控器件的主要基底材料，例如玻璃、聚合物、金属；
（3）基于微流控技术、滤膜技术的液态活检技术；
（4）新兴液态活检对象：循环肿瘤DNA（ctDNA）与外泌体（exosome）；
（5）微流控技术在新型冠状病毒检测方面应用。
六：MEMS制造及封装技术
讲师：苏州美图半导体技术有限公司 总经理 王云翔
MEMS制造工艺及封装技术是MEMS产业链不可或缺的重要环节。相比于传统IC器件，MEMS器件的三维立体结构（如梳齿、悬臂梁、通孔、流道、膜、腔等）更为复杂且更具多样性，因此对MEMS制造工艺和封装技术有着非常苛刻的要求。本课程将为学员重点讲解MEMS特殊工艺和典型工艺流程，以及MEMS器件级封装与晶圆级封装技术，同时还将梳理MEMS制造及封装产业链情况。
大纲：
（1）单步特殊制造工艺详解：深硅刻蚀、双面光刻、键合、释放工艺、磁控溅射等；
（2）典型制造工艺流程详解：体微加工技术、表面微加工技术和CMOS MEMS技术；
（3）全球MEMS制造产业链介绍；
（4）MEMS封装概论：MEMS结构特点、加工工艺分类、MEMS封装与IC封装差异等；
（5）MEMS器件级封装技术：引线键合、塑料封装、陶瓷封装、金属封装、QFN封装、LGA封装及其他封装技术；
（6）MEMS晶圆级封装技术：扇出型/扇入型晶圆级封装技术、晶圆级三维封装技术；
（7）全球MEMS封装产业链介绍。
七：MEMS可靠性分析
讲师：东南大学 副研究员 王磊
MEMS器件的机械结构由微米/纳米材料制备而成，其中薄膜材料的使用最为频繁。评价这些材料的力学性能对MEMS器件实用化有着显著的意义。随着技术的发展，薄膜材料在越来越多的机械结构中得到应用，其力学和机电性能对MEMS器件的工作特性都会产生显著影响。因此很有必要像测量半导体器件电学特性那样精确测量薄膜的力学性能。王磊博士在MEMS可靠性分析方面拥有多年的实战经验，将带领学员认识常见的失效模式及机理，并通过经典案例分析来讲解MEMS结构和工艺的可靠性问题。
大纲：
（1）MEMS可靠性导论；
（2）MEMS材料力学性能评价及评价标准；
（3）常见MEMS失效模式及失效机理；
（4）MEMS可靠性测试及分析技术；
（5）MEMS结构和工艺的可靠性问题；
（6）MEMS可靠性分析案例，如加速度计、陀螺仪、微镜。
六、师资介绍
王跃林，麦姆斯咨询2019年度“最受欢迎讲师”，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员。他生于1959年，江西省南昌人，1978年3月参加工作，博士研究生毕业。1978年3月至1978年10月南昌市新建县松湖公社港北大队知青。1978年10月至1982年7月浙江大学无线电系半导体专业就读本科。1982年9月至1985年7月哈尔滨工业大学控制系半导体专业硕士研究生。1985年8月至1998年1月浙江大学信电系讲师、副教授、教授、博士生导师，其中1986年3月至1989年10月在清华大学微电子所读博士学位，1995年3月至1995年12月赴香港科技大学访问学者，1996年1月至1996年12月赴日本东北大学访问学者。1998年1月起历任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员、博导、室副主任、主任、“微光机电系统”项目经理、“973”计划“集成微光机电系统研究”项目首席科学家。1999年10月起任上海微系统所所长助理。2003年6月起兼任上海微系统所学术委员会主任。2003年3月任上海市政协委员、长宁区政协副主席。2009年4月起任上海微系统所副所长。
焦继伟，麦姆斯咨询2019年度“最受欢迎讲师”，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员。他生于1968年，江苏无锡人。1989年毕业于浙江大学物理系，1994年于中科院上海冶金所（现上海微系统所）获半导体物理与器件专业博士学位。作为主要成员参与国家“八五”攻关项目等课题的科研工作，在低温硅固相键合技术上取得突出成果，处于当时国际先进水平。1996年至2002年，分别于荷兰Delft Univ. of Technology、日本三菱电机株式会社先端技术研究所工作，主要从事MEMS技术、车用微型惯性传感器（角速度和加速度）的开发和量产化工作，以及面向机载APAA的RF MEMS模块的研究。开发出硅－玻璃键合衬底上高深宽比的微机械结构的无损释放技术，实现高成品率的微惯性器件；研制出全单面工艺的Grounded Cavity结构的低插损RF MEMS器件和模块。2002年回国，任中科院上海微系统所研究员、博导，自2008年起任传感技术国家重点实验室副主任。目前，主要从事惯性器件、MEMS/NEMS技术等相关研究，回国后先后承担多项国家863、973课题等。已发表SCI/EI论文50余篇，申请及获得授权国际、国家发明专利10余项。
陶继方，麦姆斯咨询2019年度“杰出讲师”，博士，山东大学教授、博士生导师。他在北京邮电大学信息光子学与光通信国家重点实验室获得工学博士学位，从事硅基微纳光电子器件的设计、加工和封装工艺的研究，以及该器件在智能传感领域中的应用。2012至2013年，在新加坡南洋理工大学担任博士后研究员；2013至2014年，在歌尔股份中央研究院任职高级工程师、副总裁助理；2014年至2018年，先后获得新加坡国立研究基金（NRF）、科技局-宝洁公司联合基金、科技局前沿研究项目、德国博世集团等机构的资助。近年来在Advanced Materials、Scientific Reports、Applied Physics Letters、IEEE-MEMS、Transducers、IEDM等国际权威期刊和国际会议上，发表学术论文40余篇，申请国际专利12项，已授权美国专利2项。目前担任Nanoscale、Optics Express、Journal of Selected Topics in Quantum Electronics、Optics Communications、Photonics Journal等期刊审稿人。
沈憧棐，麦姆斯咨询2019年度“杰出讲师”，博士，上海巨哥电子科技有限公司总经理。他1989年考入清华大学物理系，1996年赴美留学就读于普林斯顿大学电子工程系，并于2001年获得博士学位后留美工作。2008年回国创办上海巨哥电子科技有限公司，致力于推动红外热成像技术的民用化，在红外成像精确测温、低成本红外探测器等方向上具有众多前瞻性的研发成果和丰富的行业应用经验。
王玮，麦姆斯咨询2019年度“最受欢迎讲师”，博士，北京大学教授。1999年于清华大学航天航空学院获博士学位，师从过增元院士；之后加入北京大学信息科学技术学院和微米/纳米加工技术国家级重点实验室，现任微米/纳米加工技术国家级重点实验室常务副主任；北京大学微纳电子学院研究院副院长；北京大学集成微纳系统（MEMS）研究所所长。主要开展集成微系统与热管理、聚合物微纳加工方法、临床微纳系统相关研究，发表SCI检索期刊论文50余篇，领域顶级国际会议50余篇，授权、申请发明专利及软件著作权20余项，包括美国专利1项、PCT专利1项。担任微机电系统领域顶级国际会议IEEE MEMS 2015、2016、Transducers 2019的执行技术委员会委员，微纳流体前沿国际会议2015共同主席；担任多个应用中心、重点实验室学术委员会主任或委员。作为负责人承担探索转化应用项目（射频转接板，1050万元）、预研项目（IPD、TGV等）、自然基金等多项国家级项目，并作为骨干研究人员参与了自然基金集成项目、973等重大项目。
王云翔，麦姆斯咨询2019年度“最受欢迎讲师”，硕士，中科院微电子所攻读硕士期间从事先进光刻机技术的研究，承担多项国家科研项目，包括国家自然科学基金项目“纳米电子束曝光中的散射参数模型研究”项目主要成员，批准号60276019；国家973重大基础研究项目“20-50纳米器件的关键工艺技术基础研究和器件制备”电子束光刻工艺承担人；国家863计划“新一代无线通信用SAW器件及材料研究”器件制备工艺承担人。曾先后担任上海微电子装备有限公司技术经理、德国SUSS MicroTec公司销售经理、美国Ziptronix公司中国区首席代表。2012年创办苏州美图半导体技术有限公司，研发并商业化中国第一台晶圆级键合设备。
王磊，博士，2012年获东南大学电子科学与工程学院工学博士，现任东南大学副研究员。他长期从事MEMS器件可靠性工作，承担和参与了多项国家科研项目，包括“十一五”、“十二五”、“十三五”的装发预研项目，“十二五”重大专项，国家自然科学基金项目，以及多项企业横向合作项目。主持制定了多项企业MEMS可靠性标准，并牵头协同了国内11家企事业单位共同起草了GB/T 38341-2019“微机电系统（MEMS）技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法”国家标准。
七、费用和报名方式咨询
请发送电子邮件至PENGLin#MEMSConsulting.com（#换成@），邮件题目格式为：报名+MEMS技术进阶培训+单位名称+人数。返回搜狐，查看更多
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麦姆斯咨询　｜　2019-04-26至2019-04-28　｜　中国物联网国际创新园
自动驾驶技术正在将汽车产业推进一个全新的时代。本课程围绕毫米波雷达、激光雷达和车载摄像头三大核心环境感知传感器展开，并深入讲解其核心元器件（VCSEL、APD、SPAD、MEMS微镜、车载镜头）等技术及车规级要求。主办单位：麦姆斯咨询协办单位：华强电子网、上海传感信息科技有限公司支持单位：无锡微纳产业发展有限公司、创星咖啡一、课程简介当前，自动驾驶汽车的演进可谓进入了群雄争霸的“战国时代”，无论科技巨头、主流车企，还是Uber、特斯拉等新创公司，莫不投入庞大的人力物力。自动驾驶技术正在将汽车产业推入一个全新时代，谁能掌握最新的技术，谁就能在这场汽车科技大战中成为最具影响力的玩家。实现自动驾驶主要包括“环境感知——智能决策——控制执行”三个关键环节，其中环境感知是实现自动驾驶的硬件核心基础。人在行走时，依靠眼观六路，耳听八方，而自动驾驶的“眼”和“耳”就是安装在车上的各种传感器。汽车通过传感器实现对周围环境和车辆状态的感测和信息收集，其中毫米波雷达（RADAR）、激光雷达（LiDAR）、车载摄像头（Camera）是实现自动驾驶环境感知最重要的三种传感器。毫米波雷达、激光雷达和摄像头为汽车自动驾驶实现360度的环境感知在环境感知中，每一种传感器都有独特的优势和劣势。例如，毫米波雷达可靠性高，可以探测物体距离与速度，不受天气影响可全天候全天时工作，但分辨率不高，不能区分人和物；而摄像头很高的分辨率，能够识别颜色和字体，有助于检测道路标志、交通信号灯以及行人，但受黑夜、强光影响较大；激光雷达则能够提供三维感知信息，对环境的重构能力强，可进行实时定位和高精度障碍物的分类和检测，但受天气环境影响大。这三种传感器各有优劣，既难以互相替代，又缺一不可。随着自动驾驶不断向更高智能化、自动化等级发展，集成在汽车上传感器数量和种类将不断增加，业界普遍认为“传感器融合（sensor fusion）”可显著提高系统的冗余度和容错性，从而保证决策的快速性和正确性，是实现高度自动化驾驶安全性的关键。自动驾驶发展进程驱动传感器需求增加根据Yole报告预测，2032年自动驾驶汽车生产相关的总体营收将达到3000亿美元，未来15年内该市场的复合年增长率（CAGR）高达58%。这意味着未来15年内整个行业将围绕自动驾驶汽车技术进行构建，相应地，自动驾驶对传感器的需求也是水涨船高。根据目前汽车行业情况，Yole预计2032年自动驾驶激光雷达市场营收将达到315亿美元，自动驾驶毫米波雷达市场营收将达到17亿美元，自动驾驶摄像头市场营收将达到210亿美元。这对于现有传感器技术厂商而言无疑是巨大的机遇。为推动自动驾驶产业发展，提升从业人员技术水平，麦姆斯咨询特开设《自动驾驶传感技术培训课程》，课程围绕毫米波雷达、激光雷达和车载摄像头三大核心环境感知传感器展开，从核心元器件到系统进行深入讲解，主要包括：（1）毫米波雷达技术及应用；（2）毫米波雷达核心MMIC芯片技术；（3）激光雷达技术及应用；（4）激光雷达核心元器件：垂直腔面发射激光器（VCSEL）；（5）激光雷达核心元器件：MEMS微镜；（6）激光雷达核心元器件：光电探测器（以APD/SPAD为主）；（7）车载摄像头及3D视觉技术；（8）车载镜头技术及应用。二、培训对象本课程主要面向汽车、自动驾驶及传感器企业，包括各类车载传感器及核心元器件厂商、自动驾驶系统集成方案以及整车厂的技术研发人员、高校师生，同时也欢迎其他希望了解自动驾驶产业的非技术背景人员参加，如销售和市场人员、投融资机构人员、政府管理人员等。三、培训时间培训时间：2019年4月26日~4月28日。授课结束后，为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。四、培训地点无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园五、课程内容课程一：毫米波雷达技术及应用讲师：苏州豪米波技术有限公司 董事长 白杰授课内容：车载毫米波雷达由于可以全天候全天时工作，而且成本较低、技术比较成熟，已率先成为自动驾驶高级驾驶辅助系统（ADAS）的主力传感器，被广泛应用于自适应巡航控制（ACC）、前向碰撞预警（FCW）、盲点监测（BSD）、自动紧急制动（AEB）等功能。本课程将详解毫米波雷达知识，重点介绍面向自动驾驶的毫米波雷达设计与测评、基于毫米波雷达的ACC系统设计，以及自动驾驶系统的构成、决策与控制，并探讨毫米波雷达的技术发展趋势以及产业链分布等。课程大纲：（1）智能网联汽车技术发展现状与趋势；（2）毫米波雷达的基础知识；（3）面向自动驾驶的毫米波雷达设计与测评；（4）基于毫米波雷达的ACC系统设计；（5）自动驾驶系统的构成、决策与控制；（6）毫米波雷达面临的挑战和技术发展趋势；（7）毫米波雷达产业链及主要厂商。课程二：毫米波雷达核心MMIC芯片技术讲师：上海矽杰微电子有限公司 CEO 卢煜旻随着自动驾驶等级的提升，加载在汽车上的毫米波雷达数量不断增加，然而汽车的空间和成本有限，所以毫米波雷达必然朝着小型化、低成本、高分辨率方向发展。单片微波集成电路（MMIC）的出现大大简化了雷达系统结构，集成度高，有利于大规模生产。本课程主要将对毫米波雷达MMIC芯片设计及制造、MMIC芯片评估与参考设计、雷达信号处理及算法、典型应用方案及主要供应商等进行详细介绍。课程大纲：（1）毫米波雷达MMIC芯片设计及制造；（2）毫米波雷达MMIC芯片评估及参考设计；（3）毫米波雷达信号处理及算法；（4）典型毫米波雷达应用方案；（5）毫米波雷达MMIC芯片发展趋势；（6）毫米波雷达MMIC芯片主要供应商。课程三：激光雷达技术及应用讲师：深圳力策科技有限公司 总经理 张忠祥授课内容：激光雷达（LiDAR）由于能够实时地扫描周围环境并建立高精度3D模型，被视为是实现L3~L5级高级别自动驾驶最关键的传感器，将承担主要的中长距测距和环境感知任务，实时绘制出车辆周边的3D空间地图。本课程将对激光雷达的基本概念、工作原理、主要的技术路线、技术挑战和发展趋势以及产业链等进行详细介绍。课程大纲：（1）激光雷达基本概念及工作原理；（2）多种激光雷达技术路线分析：机械式激光雷达、MEMS激光雷达、纯固态激光雷达（相控阵、泛光面阵等）；（3）自动驾驶技术对激光雷达的要求；（4）激光雷达的技术挑战与发展趋势；（5）激光雷达产业链及主要厂商。课程四：激光雷达核心元器件：垂直腔面发射激光器（VCSEL）讲师：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 副研究员 张建伟授课内容：车载激光雷达需要足够远的探测距离，对激光的功率有较高的要求。相对功率而言，边发射激光器（EEL）目前有一定的优势。但是，随着高功率垂直腔面发射激光器（VCSEL）的研发进步，及相应波段的高灵敏度接收器的逐渐成熟，采用VCSEL的车载激光雷达已成为业界研发热点。本课程将对近红外波段半导体激光器（EEL和VCSEL）进行阐述，重点对高功率VCSEL激光技术及发展、制造关键技术和主要供应商等进行深入讲解。课程大纲：（1）近红外波段半导体激光光源介绍（EEL和VCSEL）；（2）激光雷达用高功率VCSEL激光技术及发展；（3）高功率VCSEL激光器制造、封装工艺流程及关键技术；（4）现阶段VCSEL产业链及主要供应商。课程五：激光雷达核心元器件：MEMS微镜讲师：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 博士生导师 沈文江授课内容：虽然目前大多数激光雷达产品仍以机械式扫描为主，不过以MEMS微镜为核心元器件的混合固态激光雷达有望成为汽车激光雷达最快落地的技术方向。MEMS微镜是光学MEMS执行器的典型器件，技术门槛高，对材料、工艺加工要求苛刻。本课程将对MEMS微镜的原理、设计、制造、封装和测试、应用和主要供应商等进行详细介绍。课程大纲：（1）MEMS微镜结构和应用前景；（2）MEMS微镜工作原理（静电、电热、电磁、压电）；（3）MEMS微镜在车载激光雷达中的应用；（4）MEMS微镜设计、制造、封装和测试的主要问题和解决方法；（5）MEMS微镜主要供应商。课程六：激光雷达核心元器件：光电探测器（以APD/SPAD为主）讲师：中国科学院上海技术物理研究所 副研究员 程正喜光电探测器是将光脉冲转换成电信号的元器件，在LiDAR系统中充当“眼睛”的角色，是关键的传感器。雪崩二极管（APD）是一种主要的光电探测器，其工作模式分为线性模式和盖革模式两种。工作在盖革模式下的APD又被称作SPAD。SPAD具有灵敏度高、响应快、探测距离远等特点，非常适合用在LiDAR。本课程将对光电探测器（以APD/SPAD为主）的发展、原理、应用、常见问题及解决方法、产业链进行深入讲解。课程大纲：（1）不同光电探测器类型介绍（PIN、APD、SPAD、SiPM等）；（2）APD/SPAD的工作原理及主要性能参数；（3）APD/SPAD在车载激光雷达中的应用及发展；（4）APD/SPAD设计、制造、封装和测试的主要问题和解决方法；（5）APD/SPAD主要供应商。课程七：车载摄像头及3D视觉技术讲师：上海爱观视觉科技有限公司 高级研发工程师 缪寅明授课内容：在自动驾驶技术中，利用摄像头来实现视觉感知的优势非常明显：分辨率高、成本低且算法成熟。传统的摄像头成像是二维的，缺乏深度和距离的信息。得益于深度学习算法的进步，具有三维（3D）视觉功能的单目和双目摄像头，能够实现道路状况的3D感知，做出更精确的道路识别和障碍物检测，已被应用于车道偏离预警（LDW）和前方碰撞预警（FCW）等ADAS功能中。本课程将详解视觉传感器的基本构成，重点介绍基于摄像头的3D视觉感知方案、车载摄像头在自动驾驶中的应用，并探讨车载摄像头的技术发展趋势以及产业链分布等。课程大纲：（1）视觉传感器的主要构成（镜头、图像传感器、图像信号处理器）；（2）基于摄像头的3D视觉感知方案（单目、双目、多目等）；（3）车载摄像头在自动驾驶中的应用；（4）车载摄像头的技术发展趋势；（5）车载摄像头产业链及主要厂商。课程八：车载镜头技术及应用讲师：舜宇车载光学技术有限公司 市场营销总监 谷春燕授课内容：自动驾驶汽车中，激光雷达、摄像头等光学传感器充当了“汽车之眼”。而镜头是这些光学传感器最核心的组件。车载镜头要做到“车规级”，需要考虑光学焦平面的稳定性、光学焦平面和相机的热补偿，以及部分产品可靠性的损伤等多方面的要求。因而，在设计、材料选择、工艺技术、检测、管理流程上，车规级镜头都比普通的消费级产品要求更为严苛和技术门槛更高。本课程将对车载镜头在自动驾驶中的应用进行分类介绍，将对车载镜头的设计、制造、封装和检测、技术发展以及主要供应商等进行详细讲解。课程大纲：（1）车载镜头在自动驾驶中应用及种类（摄像头、激光雷达、平视显示器、智能大灯等）；（2）不同应用中车载镜头的特性要求和主要性能；（3）车载镜头的设计、制造、封装和检测主要难点和解决方案；（4）车载镜头工艺技术发展趋势；（5）车载镜头主要供应商。六、师资介绍白杰，博士，苏州豪米波技术有限公司董事长。2010年入选第五批千人计划国家特聘专家。2014年至今任职同济大学教授，2016年起担任国家十三五重大专项“电动汽车智能辅助驾驶技术研发及产业化”项目总负责人，并作为研究骨干参与另一国家十三五重大专项“智能电动汽车的感知、决策与控制关键基础问题研究”项目。主要从事汽车环境感知与信息融合技术、高分辨率汽车毫米波雷达技术、雷达相机一体化及其智能汽车技术应用等方面的科研与教学工作。目前担任中国人工智能学会智能驾驶专业分会副主任委员，中国汽车工程学会智能交通分会秘书长。卢煜旻，博士，拥有复旦大学学士学位，美国俄亥俄州立大学硕士学位及密西根大学博士学位，第十批国家“千人计划（青年）”入选者。目前任上海矽杰微电子有限公司董事长兼总经理。卢博士在半导体、射频及微波集成电路设计领域拥有15年丰富的产品开发经验。曾先后任职于上海微技术工业研究院，恩智浦半导体（美国），M/A-COM及Autoliv Electronics 等公司担任技术及管理工作。卢博士拥有多项美国专利，并担任IEEE高级会员。张忠祥，博士，于2007和2011年分别获得中国科学技术大学学士学位和香港中文大学博士学位，先后访问美国哈佛大学、台湾清华大学等著名研究组，并且获得联发科-吴大猷学者奖学金、中国海洋石油（CNOOC）Global Excellent Researcher、深圳市海外高层次人才孔雀计划B类等荣誉奖励。博士毕业后任职于香港生产力促进局。2013年10月创办深圳力策科技有限公司并任总经理。公司致力于发展激光雷达技术在机器人、AGV、无人驾驶等领域的应用，2017年获得国家高新技术企业资质。沈文江，博士，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所博士生导师。本科和硕士毕业于清华大学材料科学与工程系；2004年博士毕业于加州大学洛杉矶分校（UCLA）机械工程系。博士毕业后，在California NanoSystem Institute （CNSI）进行一年半的博士后研究工作。2005年底，作为研发工程师加入MEMS公司Innovative Micro Technology，2008年被提拔为项目经理。沈文江博士有丰富的微机电系统器件的研发和产业化经验，领导的团队成功地把多个MEMS产品从研发阶段做到量产阶段。沈文江博士同时活跃在微机电系统研究的前沿领域。跟麻省理工学院（MIT）研究组合作，研发出世界上最灵敏的流体中的质量传感器，可以探测流体中单个细胞、病毒，成果发表在Nature杂志上。在此基础上，用了2年时间成功把这个尖端科技商业化，研发出用于测量液体中微纳颗粒、单细胞、病毒的检测系统，该系统获得2010年R&D 100 Awards和2010年Pittcon Editors’ Gold Award。2011年11月加入中科院苏州纳米所。研究兴趣主要集中在微米和纳米尺度制造，应用微纳制造技术来设计和制造微纳器件，并且把这些器件应用在能源、光学显示，以及生物等领域。张建伟，博士，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所副研究员，在垂直腔面发射激光器（VCSEL）研制领域有近十年的研究经验，目前主要开展窄脉冲、高功率VCSEL激光器以及高温工作VCSEL激光器的外延结构优化及工艺制备。实现980nm VCSEL串接列阵模块脉冲激光功率210W；实现910nm VCSEL串接列阵模块脉冲激光功率大于100W；实现VCSEL发光单元在高温（≥80℃）下的极低阈值电流（≤0.3mA），所报道的成果曾受国际知名同行杂志Semiconductor Today专题报道。作为项目负责人在VCSEL激光器研究方向承担了科技部重点研发计划项目、国家自然基金面上项目、吉林省重点科技研发计划等10余项国家级或省部级项目，发表论文20余篇，获授权发明专利5项，获得省部级奖项2项。程正喜，副研究员，硕士生导师。2007年加入上海技术物理研究所硅器件研究室，目前担任室主任助理。2012年从上海技术物理研究所获得博士学位，2015-2017年在东京大学进行博士后研究。2018年入选上海浦江人才计划。主要研究硅光电探测器（APD和SPAD）和光微机电系统器件。先后完成包括总装备部预研项目、国家自然科学基金、重大技改项目和所“十三五”重点培育方向性项目等多个重要预先研究项目。缪寅明，硕士，获得北京大学数学科学学院理学学士和日本东京工业大学信息处理专业工学硕士。留日期间在日本Bi2-Vision公司和同事利用人眼仿生的原理研制了世界上目前最先进的全自动3D拍摄系统，是软件核心算法的主要贡献人之一。同时参与了日本文部科学省的重大专项。现任职于上海爱观视觉科技有限公司高级研发工程师。参与研发了包括固定立体双目相机、可动仿生人眼、轨道交通视觉检测系统、多轴自动监视系统等产品。共同设计和实现了大量相关算法，包括稠密3D重建、人体识别、人脸识别和追踪、物体测量、3D障碍物检测、视觉SLAM等，其应用方向包括工业检测、智能安防、机器人自动导航、AR/VR等。有近10年计算机视觉相关开发经历，在理论研究和工业实现方面均有丰富的经验。谷春燕，宁波舜宇车载光学技术有限公司全球市场营销总监。十几年深耕于车载摄像头行业，并多年研究分析智能驾驶市场、光学在汽车上的应用及发展趋势，拥有丰富的车载摄像头市场营销经验。多次接受业内知名媒体专访，在国际性展会论坛上发表精彩演说。曾应邀作为业内智能驾驶相关微课程专场嘉宾开堂授课，500+汽车行业人士参与其中，受到广泛好评。}