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扫描电镜（SEM）和能谱仪(EDS)的使用技巧
主办单位： 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心& &
培训时间： 预订2009年9月中旬
培训证书： 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心证书& &
培训地点： 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心5楼会议室
培训费用： 4000元/人.四天（含培训费、证书费、资料费、中餐费、晚餐费）
(每单位两人以上有折扣优惠)
参课对象： 电镜操作工程师& &失效分析工程师&&电子工艺工程师&&质检和质量管理工程师等有关方面的工程技术人员
咨询报名： 电话：020－& && &Email:& &&&联系人：熊娥英
讲师简介：
施明哲 中国赛宝实验室(工信部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师，中国电子显微镜学会电子光学委员会委员。三十年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。是当前扫描电镜行业广泛知名的专家,在电子光学和真空技术方面有丰富的理论知识和实际工作经验，在会议和刊物上发表了二十多篇专业水平较高的文章，并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。
日程安排：
日期& & & & 时间& & & & 授课内容
第一天& & & & 8:30-12:00& & & & 扫描电镜理论学习
& & & & 14:00-17:00& & & &
第二天& & & & 8:30-12:00& & & &
& & & & 14:00-17:00& & & & 扫描电镜演示与答疑
第三天& & & & 8:30-12:00& & & & 能谱仪理论学习
& & & & 14:00-17:00& & & &
第四天& & & & 8:30-12:00& & & &
& & & & 14:00-17:00& & & & 能谱仪演示与答疑
课程提纲：
第一部分：扫描电镜
第一章、扫描电镜
第二章、高分辨扫描电子显微镜
第三章、扫描电子显微镜的实践
第四章、电镜图像演示及答疑
第二部分：能谱分析
第一章、引&&言
第二章、EDS系统的工作原理
第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用
第四章、X射线测量
第五章、能谱定性分析
第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择
第七章、定量分析
第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤
第九章、能谱失真与杂散幅射
第十章、能谱的验收与维护
第三部分：实际操作及答疑
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一般买了SEM和EDS之后厂家会派技术人员来给我们做很详细的培训，售后现在时做的相当不错，不知道施老师与仪表厂商的研发人员在工程应用中优势在哪里，请赐教
回复 2楼 xiaoxie 的帖子
不好意思，我一直没上，今天才看到你的问题。
厂家的工程师所做的培训应该都是针对仪器本身操作界面来进行的。
而我们的培训是结合仪器的原理，及针对样品而进行的仪器操作。
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共有&7&人回复了该问答如何进行SEM-EDS取样以及仪器选择？
本人微观检测小白，最近需要进行混凝土氯盐侵蚀的SEM-EDS微观检测，想请教下，怎样取样？
回复于： 14:39:10我觉得敲下一块就可以，如果需要观察到纳米尺度，并且在亚微米尺度打能谱，最好使用场发射扫描电镜。
快速回复【花三五分钟，帮别人解决一个问题，快乐自己一天！】
回复于： 9:15:18
根据您扫描电镜样品大小要求取样，保持要观察表面无损坏，表面尽量平整
回复于： 11:35:29
原文由srd2009发表： 根据您扫描电镜样品大小要求取样，保持要观察表面无损坏，表面尽量平整请问是从侵蚀表面直接敲一小块进行检测还是从腐蚀面切取厚度0.75cm，大小1.2cm＊1.2cm的试件？另外实验室中有S-4800Ⅱ场发射扫描电镜和XL-30ESEM 环境扫描电镜，选择哪个比较好些呢？
回复于： 14:39:10
我觉得敲下一块就可以，如果需要观察到纳米尺度，并且在亚微米尺度打能谱，最好使用场发射扫描电镜。
回复于： 15:31:21
原文由srd2009发表： 我觉得敲下一块就可以，如果需要观察到纳米尺度，并且在亚微米尺度打能谱，最好使用场发射扫描电镜。我是想做SEM扫描的时候打下能谱进行元素分析，这样试件是不是平整些好？
回复于： 16:22:20
原文由 飘然若失(v2726235) 发表:原文由srd2009发表： 我觉得敲下一块就可以，如果需要观察到纳米尺度，并且在亚微米尺度打能谱，最好使用场发射扫描电镜。我是想做SEM扫描的时候打下能谱进行元素分析，这样试件是不是平整些好？越平越好。
回复于： 20:39:28
原文由 驰奔(srd2009) 发表:原文由 飘然若失(v2726235) 发表:原文由srd2009发表： 我觉得敲下一块就可以，如果需要观察到纳米尺度，并且在亚微米尺度打能谱，最好使用场发射扫描电镜。我是想做SEM扫描的时候打下能谱进行元素分析，这样试件是不是平整些好？越平越好。好的，十分感谢。那您的意思就是切割我上面说的那样的小试件是吧？
回复于： 20:51:17
原文由 飘然若失(v2726235) 发表:原文由 驰奔(srd2009) 发表:原文由 飘然若失(v2726235) 发表:[quote]原文由srd2009发表： 我觉得敲下一块就可以，如果需要观察到纳米尺度，并且在亚微米尺度打能谱，最好使用场发射扫描电镜。我是想做SEM扫描的时候打下能谱进行元素分析，这样试件是不是平整些好？越平越好。好的，十分感谢。那您的意思就是切割我上面说的那样的小试件是吧？[/quote]问题是我不知道怎么切割，用什么工具，如果可以的话，当然切成或者做成标准的小试样最好了。
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