光刻设备制造技术,荷兰芯片光刻机光刻机为什么厉害专利

荷兰光刻机为什么厉害_为何光刻机不卖给中国
什么是光刻机?
光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。
在高端光刻机上,除了龙头老大ASML,尼康和佳能也曾做过光刻机,而且尼康还曾经得到过Inl的订单。但是近些年,尼康在ASML面前被打的毫无还手之力,高端光刻机市场基本被ASML占据&&即便是尼康最新的Ar-F immeion 630卖价还不到ASML Ar-F immeion 1980D平均售价的一半,也无法挽回败局。
原因何在?一方面是Intel新CEO上台后,不再延续与尼康的620D合同,这使得尼康失去了一个大客户。另一方面,也和尼康自身技术实力不足有关,尼康的光刻机相对于ASML有不少瑕疵,在操作系统上设计的架构有缺陷,而且尼康的光刻机的实际性能和尼康官方宣传的有不小差距,这使得台积电、Intel、、格罗方德等晶圆大厂不可能为了省一点钱去卖有瑕疵的产品。
目前,尼康的高端光刻机基本被ASML吊打,主流半导体产线中只有少数低阶老机龄的光刻机还是尼康或者佳能,其他基本都是ASML的天下。某种程度上,尼康的光刻机也只能用卖的超级便宜来抢市场了。那么,卖的到底有多便宜呢?
用数据来说话,ASML的 EUV NXE 3350B 单价超过1亿美元,ArF Immersion售价大约在7000万美元左右。相比之下,尼康光刻机的单价只相当于ASML价格的三分之一。
中国的光刻机发展水平
2016年,清华大学召开了&光刻机双工件台系统样机研发&项目验收会,专家组对项目任务完成情况予以高度评价,并一致同意该项目通过验收。
工件台系统是光刻机的重要子系统,工件台系统的运行速度、加速度、系统稳定性和系统的定位建立时间对光刻机的生产精度和效率起着至关重要的作用。本次&光刻机双工件台系统样机研发&项目验收,标志中国在双工件台系统上取得技术突破,但这仅仅是实现光刻机国产化万里长征的一部分,距离打破ASML的技术垄断还有很长的路要走。
日前,&极大规模集成电路制造装备及成套工艺&国家科技重大专项实施管理办公室组织专家,在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所召开了&极紫外光刻关键技术研究&项目验收会。评审专家组充分肯定了项目取得的一系列成果,一致同意项目通过验收,认为该项目的顺利实施将我国极紫外光刻技术研发向前推进了重要一步。
极紫外光刻光学技术代表了当前应用光学发展最高水平,作为前瞻性EUV光刻关键技术研究,项目指标要求高,技术难度大、瓶颈多,创新性高,同时国外技术封锁严重。
因此我们看到,中国也是取得了很大的进步的。但是中国想要赶上,绝不是一朝一夕的事,需要各类基础领域扎实的人才,这也是最难的。
中外光刻机的巨大差距
光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠,研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此,能生产高端光刻机的厂商非常少,到最先进的14nm光刻机就只剩下ASML,日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发。
相比之下,国内光刻机厂商则显得非常寒酸,处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机,制程上的差距就很大&&国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
这不仅使国内晶圆厂要耗费巨资购买设备,对产业发展和自主技术的成长也带来很大不利影响--ASML在向国内晶圆厂出售光刻机时有保留条款,那就是禁止用ASML出售给国内的光刻机给国内自主CPU做代工--只要中芯国际、华力微等晶圆厂采购的ASML光刻机,虽然不影响给ARM芯片做代工,但却不可能给龙芯、申威等自主CPU做代工、商业化量产。即便是用于科研和国防领域的小批量生产,也存在一定风险--采用陶瓷加固封装、专供军用的龙芯3A1500和在党政军市场使用的龙芯3A2000,只能是小批量生产,而且在宣传上 也只能含糊其辞的说明是境内流片&&这很大程度上影响了自主技术和中国集成电路产业的发展。
高端光刻机完全依赖进口
目前,光刻机领域的龙头老大是荷兰ASML,并已经占据了高达80%的市场份额,垄断了高端光刻机市场。日本尼康在高端光刻机上完全被ASML击败,即便尼康的ArF光刻机售价仅仅不到ASML的一半也无补于事。Intel、台积电、三星用来加工14/16nm芯片的光刻机都是买自ASML,格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机主要也是来自ASML。
更关键的是,最先进的EUV光刻机全球仅仅ASML能够生产,ASML在今年第三季度和第四季度出售的两台EUV光刻机售价都超过1亿美元,落后EUV一代的ArF光刻机平均售价也在4000万至5000万欧元左右,从高企的报价和EUV光刻机全球仅此一家出售可以看出,光刻机的技术门槛极高,是人类智慧集大成的产物。
相比之下,国内光刻机厂商则显得非常寒酸,处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中,性能最好的是能用来加工90nm芯片的光刻机,技术差距说是鸿沟都不为过。正是因此,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次从荷兰空运至厦门机场的ASML光刻机,就是用于芯片生产制造的高端光刻机,由于是厦门的一家公司申报进口的,笔者猜测,这台设备很有可能是厦门当地政府与台湾联华电子合资的晶圆厂从荷兰ASML采购的。不过,由于西方瓦森纳协议的限制,中国只能买到ASML的中低产品,这一点从厦门当地企业进口的光刻机报价仅1亿人民币就可以看出来了。
荷兰光刻机为什么厉害
光刻机,是芯片制造的核心设备之一。在世界上,能生产光刻机的国家不多,目前,光刻机领域的龙头老大是荷兰ASML,美国、日本虽然也能生产光刻机,但都是荷兰授权的技术,且相当一部分还是从荷兰原装进口的,比如日本的尼康,也能生产光刻机,但是同类型产品即使售价只有ASML光刻机的一半,也鲜有人问津,无济于事。ASML过去五年的股价,已涨了249%。让这家业界之外籍籍无名的专业设备厂,成为仅次于皇家壳牌石油以及联合利华的荷兰市值第三大公司。
荷兰国家小,封建统治力量相对薄弱,资产阶级革命最早取得成就,建立了为资产阶级服务的政权和强大的海军。社会制度是主要原因。
光荷兰ASML牛到什么地步?他已经占据了高达80%的市场份额,垄断了高端光刻机市场,而且世界主要芯片制造商,三星和台积电都是ASML的股东,它们用来加工14/16nm芯片的光刻机都是买自ASML,而格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机主要也是来自ASML,ASML可谓独步天下,独孤求败。而在我国国内,晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
这就是ASML售价超过1亿美金,世界最先进的光刻机:EUV NXE 3350B(EUV极紫外线光刻机),号称半导体业的终极武器,台积电、英特尔都寄望,这台史上最昂贵的「工具机」,会在2017年开始试产的七奈米制程大发神威,成为主力机种。
相比之下,国内光刻机厂商则显得非常寒酸,处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中,性能最好的是能用来加工90nm芯片的光刻机,技术差距说是鸿沟都不为过。正是因此,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,但是由于西方瓦森纳协议的限制,中国只能买到ASML的中低产品,这一点从2016年厦门当地企业进口的光刻机报价仅1亿人民币就可以看出来了。
荷兰光刻机为什么不卖给中国?
作为集成电路制造过程中最核心的设备,光刻机至关重要,芯片厂商想要提升工艺制程,没有它万万不行,中国半导体工艺为啥提升不上去,光刻机被禁售是一个主要因素。
这么昂贵的设备,为什么不卖给中国呢?这就要提到《瓦森纳协定》。
《瓦森纳协定》又称瓦森纳安排机制,全称为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳安排》,目前共有包括美国、日本、英国、俄罗斯等40个成员国(注:没有中国)。尽管&瓦森纳安排&规定成员国自行决定是否发放敏感产品和技术的出口许可证,并在自愿基础上向&安排&其他成员国通报有关信息。但&安排&实际上完全受美国控制。当&瓦森纳安排& 某一国家拟向中国出口某项高技术时,美国甚至直接出面干涉,如捷克拟向中国出口&无源雷达设备&时,美便向捷克施加压力,迫使捷克停止这项交易。
不过据说这个协定对中国也不是完全禁售,只是禁售最新的几代设备。瓦森纳协议每过几年都会更新禁售列表,比如2010年90nm以下的设备都是不允许销售的,到2015年就改成65nm以下的了。
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为什么只有荷兰才能制造出“顶级光刻机”?说出来你不相信
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然而目前我国全自主研发生产的光刻机设备最先进的也仅仅是90纳米,而国外荷兰ASML已经达到了十几纳米。通过对比,我国在光刻机这方面的核心技术与国外的差距如此之大;研发步伐也晚了很多步。不过全世界也就只有荷兰ASML公司才能够制造出顶级的光刻机,其中最主要的原因是以下这些。
荷兰ASML公司有着强大的背景,也就是它从飞利浦独立出来的一家公司。早在几十年代时候就已经开始大量投入时间、经济,人才等自主研发半导体核心技术,并且在独立之前就已经拥有这方面相关丰厚的技术经验。荷兰ASML公司技术实力在光刻机设备领域上遥遥领先,尤其在极紫外光(EUV)领域处于垄断地位。
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智能手机市场竞争激烈,这个激烈的战场中,只有掌握了核心科技,才能引领整个行业和市场,要不然就会一直受制于人。
通过之前的视频,我相信小伙伴已经大概了解了芯片行业的技术门槛,不仅需要大量的研发资金,更是需要人才,同时也需要先进的技术。
而之前我们也在节目中提到过,我们要自主发展我们的芯片行业。
除了需要人才之外,我们还需要一个东西,这就是我们之前提到过的光刻机。
曾经提到过,在光刻机领域几乎垄断这个行业的霸者——ASML。
即使是晶圆代工国际大厂,仍需要向这家公司购买新进的光刻机,才能完成芯片生产。
一台一亿美元,不讲价,爱要不要,更重要的,还不是现货,每年就卖那么几台,十分的傲娇。
可以说ASML在光刻机领域是无可争议的世界霸主。
那么为什么全世界只有赫连的ASML才能制造顶级的光刻机呢?
ASML是一家荷兰公司,又叫阿斯麦,是一家专门生产光刻机的企业。
而光刻机是生产芯片的最为关键的设备之一,具体是用来干什么的,可以看看之前的视频文章。
这家公司可以说是世界上最顶尖的光刻机生产商,你也可以理解为世界唯一一家的高端光刻机制造商。
因为世界第二也已经它被远远甩在了后面,现在最先进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7nm以下制程的芯片了。
在结合一下自己的封装技术,三星、台积电这些能买到这样先进光刻机的企业。
马上就宣布,自己可以代工7nm的芯片了,赶紧掏钱吧。
但是荷兰其实是小国,那么为什么这么小的一个国家可以拥有这么顶级的技术呢?
其实这样对别的国家也不好,技术垄断嘛,别的国家也不高兴,比如美国。
要了解这一些,还是要先了解一下这家荷兰的公司。
ASML并不是一家白手起家的公司,而是从著名电子制造商飞利浦独立出来的一个公司。
背后研发实力,还是经费实力一点也不差,可以说是出身名门,背后集中了无数资源和丰富的研发经验。
但是ASML的光刻机中超过90%的零件都是向外采购的,这与他原来的对手,尼康和佳能是完全不同的。
正是因为这样的政策,使得他们能够在整个设备的不同部位同时获得世界上最先进的技术
而他们自身也可以腾出手来在部件整合和客户需求上做文章,从而在日新月异的芯片制造行业取得竞争优势。
而这种高新技术行业马太效应特别明显,一旦有一点差距,很快就会迅速拉大。
但即便是零件多数都是向外采购,核心技术人家是有的。
这是任何一个企业的立命之本,没有两把刷子怎么能垄断全球市场?
最先进的EUV光刻技术,ASML拥有世界第二的专利申请量,这直接说明核心技术仍然是最重要的。
其次独特的合作模式,也是ASML的成功原因之一。
ASML有一个非常奇特的规定,那就是只有投资ASML,才能够获得优先供货权,意思就是要求他自己的客户要先投资自己才行。
这样奇特的合作模式使得ASML获得了大量的资金。
包括英特尔、三星、台积电、海力士都在ASML中有相当可观的股份,可以说大半个半导体行业都是ASML一家的合作伙伴。
这样会发生什么?没错,就是抱团。
形成了庞大的利益共同体,就算是技术研发出现了失误,大家平摊风险就好了,各家也通过不同的资源来进行优化。
这是十分精明的合作模式,资源大家共享。
比如说刚刚提到了ASML在EUV光刻技术上拥有世界第二的专利申请量。
而世界第一是德国的蔡司公司,第三是韩国的海力士公司,而这两家公司都是ASML的合作伙伴。
这样它始终都能保持领先的地位,真出了问题,英特尔挤挤牙膏就好了,并不会威胁到ASML的市场占有率。
至上就是海思ASML一个大概的经营模式,希望中国在芯片行业努力发展!
终有一天,我们也能笑傲江湖!摆脱限制!
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中国科技!每一天都有一个重大的进步!央视新闻客户端的消息,上周五(5月25日)21时46分,探月工程嫦娥四号任务“鹊桥”中继星成功实施近月制动,顺利进入月球至地月拉格朗日L2点的转移轨道。嫦娥四号任务将进行国际首次月球背面软着陆和探测任务由于地球与月球背面无法
前不久,相声演员罗永浩在北京鸟巢正式发布了自以为是“革命性”的产品坚果R1和TNT工作站,结果发现大家果然还是更加喜欢听相声一点。对于锤子科技号称的革命性、改变世界等言论,也是广受网友的争(chao)议(feng),也有网友挖出了李开复在1992年,在苹果演示的一段语
《科技全知道》,每一天都有一段不一样的科普短视频,与您不见不散!智能手机市场竞争激烈,智能手机已经井喷了十年,这十年给我们带的变化是翻天覆地的通信标准升级、互联网爆发、消费升级等等,这都和智能手机分不开关系。如今的智能手机,早已经走进千家万户,是当下
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